【技术实现步骤摘要】
形状测定装置
本专利技术涉及一种形状测定装置,更详细地说,涉及一种用于测定对象物的表面的形状测定装置。
技术介绍
对于测定对象物的表面的形状、粗糙度的形状测定装置要求高分辨精度。因此,作为检测器,一般采用差动变压器或差动电感方式。在这样的形状测定装置中,用于测定的检测行程幅度约为1mm左右。因此,将检测器向对象物的测定开始点进行位置对准的作业是非常困难的。特别是,关于检测器的在Z轴方向(高度方向)上的定位,为了避免对象物、检测器损坏而需要谨慎地进行作业。从同时实现检测器的高速移动(粗动)与精细定位(微动)的观点出发,在专利文献1中公开了一种形状测定装置,该形状测定装置具备牵引螺母部,该牵引螺母部能够在扭轮与驱动轴摩擦接触的摩擦接触状态以及扭轮从驱动轴分离的分离状态之间切换。在该形状测定装置中,通过使牵引螺母部成为分离状态,能够使检测器沿着驱动轴进行粗动。另一方面,通过使牵引螺母部成为摩擦接触状态并使驱动轴旋转,能够按照扭轮的螺纹升角而使检测器沿着驱动轴进行微动。另外,在形状测定装置中,检测器的在Z轴方向上的定 ...
【技术保护点】
1.一种形状测定装置,具备:/n形状测定机,其具有检测器,该检测器用于检测对象物的表面的位置;以及/n进给机构部,其使所述形状测定机沿轴向移动,/n其中,所述形状测定装置的特征在于,/n所述进给机构部具有:/n驱动轴,其以能够绕轴旋转的方式设置;/n牵引螺母部,其以从与所述驱动轴的轴线正交的方向夹持所述驱动轴的方式设置,并且能够在摩擦接触状态与分离状态之间切换,该摩擦接触状态是所述牵引螺母部与所述驱动轴摩擦接触的状态,该分离状态是所述牵引螺母部从所述驱动轴分离的状态;以及/n支架,其将所述牵引螺母部与所述形状测定机进行连结,/n其中,在所述牵引螺母部设置有扭轮,该扭轮以在相 ...
【技术特征摘要】
20180806 JP 2018-1478791.一种形状测定装置,具备:
形状测定机,其具有检测器,该检测器用于检测对象物的表面的位置;以及
进给机构部,其使所述形状测定机沿轴向移动,
其中,所述形状测定装置的特征在于,
所述进给机构部具有:
驱动轴,其以能够绕轴旋转的方式设置;
牵引螺母部,其以从与所述驱动轴的轴线正交的方向夹持所述驱动轴的方式设置,并且能够在摩擦接触状态与分离状态之间切换,该摩擦接触状态是所述牵引螺母部与所述驱动轴摩擦接触的状态,该分离状态是所述牵引螺母部从所述驱动轴分离的状态;以及
支架,其将所述牵引螺母部与所述形状测定机进行连结,
其中,在所述牵引螺母部设置有扭轮,该扭轮以在相对于所述驱动轴的轴线具有相当于螺纹升角的倾斜角的状态下能够旋转的方式被轴支承,
构成为:在所述牵引螺母部与所述驱动轴摩擦接触的状态下,当使所述驱动轴旋转时,所述牵引螺母部按照所述螺纹升角而沿着所述驱动轴进行微动,
在所述牵引螺母部从所述...
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