【技术实现步骤摘要】
一种微型超高压力传感器动态标定装置
本专利技术属于压力传感器测试
，具体涉及一种微型超高压力传感器动态标定装置。
技术介绍
随着MEMS火工品、微纳米含能材料等的不断发展，微型超高压力传感器在微尺度装药输出性能表征中得到了广泛应用。为了保证一定的测试精度，微型超高压力传感器的动态标定已成为一项亟待解决的关键问题。在现有的超高压力传感器标定方法中，轻气炮加载是最常用的一种标定手段，它的基本原理是：轻气炮中的飞片在发射管中加速后撞击到靶板上，导致靶板中产生冲击波，从而使得一个压力作用在传感器上，同时，利用恒流源和示波器组成的测试系统测量超高压力传感器的输出电压相对变化值。通过改变飞片速度可以获得一系列压力值与其对应的电压相对变化值，经过数据处理即可获得传感器的动态标定曲线。但是该方法应用于微型超高压力传感器时存在一些缺点：第一，每批次超高压力传感器都应该进行抽样动态标定，而轻气炮的单批次标定成本是非常高的，这无疑增加了传感器的使用成本，进而限制了传感器的推广应用；第二，轻气炮的炮径(飞片直径、靶板尺寸与炮径相近)远...
【技术保护点】
1.一种微型超高压力传感器动态标定装置，包括靶板装置(4)，其特征在于：靶板装置(4)上固定有微型超高压力传感器(3)，微型超高压力传感器(3)上方设置有飞片驱动装置(2)，飞片驱动装置(2)的飞片输出口与微型超高压力传感器(3)的敏感元件对准，飞片驱动装置(2)与靶板装置(4)通过螺栓(1)连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种微型超高压力传感器动态标定装置，包括靶板装置(4)，其特征在于：靶板装置(4)上固定有微型超高压力传感器(3)，微型超高压力传感器(3)上方设置有飞片驱动装置(2)，飞片驱动装置(2)的飞片输出口与微型超高压力传感器(3)的敏感元件对准，飞片驱动装置(2)与靶板装置(4)通过螺栓(1)连接。
2.根据权利要求1所述的一种微型超高压力传感器动态标定装置，其特征在于：所述的飞片驱动装置(2)包括壳体(2-2)，壳体(2-2)通过限位孔结构从上到下依次固定有微雷管(2-4)、飞片(2-5)和加速膛(2-3)，微雷管引线(2-1)从引线口引出。
3.根据权利要求2所述的一种微型超高压力传感器动态标定装置，其特征在于：所述的壳体(2-2)上设有第一螺栓孔(2-2a)、引线口(2-2b)、微雷管限位孔(2-2c)和飞片限位孔(2-2d)，微雷管限位孔(2-2c)中固定有微雷管(2-4)，飞片限位孔(2-2d)中从上到下依次固定有飞片(2-5)和加速膛(2-3)。
4.根据权利要求2所述的一种微型超高压力传感器动态标定装置，其特征在于：所述的加速膛(2-3)采用硅材料通过MEMS工艺制成，或采用陶瓷材料通过激光加工制成，加速膛(2-3)直径为微型超高压力传感器(3)敏感元件最大尺寸的1.1倍。
5.根据权利要求2所述的一种微型超高压力传感器动态标定装置，其特征在于：所述的微...
【专利技术属性】
技术研发人员：张国栋，刘元，赵玉龙，韦学勇，张一中，王馨晨，李慧，任炜，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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