一种碳化硅晶片抛光用的固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板，所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构。本实用新型专利技术通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。

A fixing device for polishing silicon carbide wafer

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片抛光用的固定装置
本技术涉及碳化硅晶片
，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光用的固定装置。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm2。现有的碳化硅晶片在抛光过程中由于固定装置不能完全固定晶片，容易导致晶片在抛光过程中出现损伤抛光不均的问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板(2)，且隔板(2)顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆(3)，所述工作台(1)顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱(4)，所述抛光箱(4)底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆(3)的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆(3)输出轴通过螺栓固定有同一个安装板(5)，所述抛光箱(4)的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构(10)，所述工作台(1)顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机(9)，且减速电机(9)的输出轴通过联轴器...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板(2)，且隔板(2)顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆(3)，所述工作台(1)顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱(4)，所述抛光箱(4)底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆(3)的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆(3)输出轴通过螺栓固定有同一个安装板(5)，所述抛光箱(4)的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构(10)，所述工作台(1)顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机(9)，且减速电机(9)的输出轴通过联轴器连接在固定机构(10)的传动轴上，所述固定机构(10)包括固定框(14)，且固定框(14)的两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(16)，两个所述电动滑轨(16)的两侧内壁均滑动连接有夹紧板(15)。


2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，其特征在于，所述安装板(5)顶部外壁开设有固定槽，且固定槽底部内壁设置有三个弹簧(7)，所述固定槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静辉，曾昊，崔素杭，张乾，李帅，
申请(专利权)人：同辉电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13