防尘结构及其制作方法技术

本发明专利技术公开一种防尘结构及其制作方法，所述防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过激光打孔以使金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本发明专利技术技术方案旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。

Dustproof structure and its making method

【技术实现步骤摘要】
防尘结构及其制作方法
本专利技术涉及传感器
，特别涉及一种防尘结构及其制作方法。
技术介绍
开放式传感器(例如麦克风传感器、温湿度计等等)的传感器核心需要与外界环境相连通，才能够感知周围环境的变化。而为了便于传感器的核心与外部环境连通，一般会设置连通孔。当传感器的核心与外界环境相通时，环境的异物(如粉尘、脏污等固态污染物，水雾等液态污染物)容易通过连通孔进入传感器内部，干扰传感器检测灵敏度和测量的准确度。示例性技术中，通过在连通孔设置防尘结构，从而防止外部异物进入。但是由于传感器还需要与外部环境连通，一般的防尘结构仅具有防尘功能，并不能兼顾被防尘部件与外部环境的连通，如此，降低了传感器检测灵敏度和测量的准确度。以上仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认为现有技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提供一种防尘结构及其制作方法，旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。为实现上述目的，本专利技术提供一种的防尘结构的制作方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防尘结构的制作方法，所述防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，其特征在于，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：/n提供基板，在基板的一表面设置离型膜；/n在离型膜的表面沉积形成金属层；/n通过激光打孔以使金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；/n将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。/n

【技术特征摘要】
1.一种防尘结构的制作方法，所述防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，其特征在于，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：
提供基板，在基板的一表面设置离型膜；
在离型膜的表面沉积形成金属层；
通过激光打孔以使金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；
将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。


2.如权利要求1所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过激光打孔以使金属层形成多个防尘网孔的步骤包括：
预设激光器对金属层的加工路径；
将激光器以第一功率启动，形成第一激光束；
将第一激光束的激光焦点对焦于所述金属层背离离型膜的表面；
通过振镜扫描所述金属层，根据所述加工路径利用第一激光束烧蚀所述金属层，形成所述防尘网孔。


3.如权利要求2所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述激光器预设对金属层的加工路径的步骤包括：
获取待加工面上至少三标记点的图像信息；
根据至少三所述标记点的图像信息与预设标记点的图像信息确认所述标记点的偏移量；
根据所述标记点的偏移量，调整激光器的初始加工位置；
激光器根据调整后所述初始加工位置沿预设的加工路径对金属层进行加工。


4.如权利要求2所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过振镜扫描所述金属层，并利用第一激光束烧蚀所述金属层，形成所述防尘网孔的步骤之后还包括：
获取加工后的防尘部的防尘网孔孔口处的图像；
根据所述图像检测防尘网孔的孔口是否具有毛刺；
若具有，则清除所述毛刺。


5.如权利要求1所述的防尘结构的制作方法，其特征在于，所述通过激...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，
申请(专利权)人：青岛歌尔微电子研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37