【技术实现步骤摘要】
适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法及系统
本专利技术涉及光学零件抛光领域，具体地，涉及一种适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法及系统，尤其涉及一种薄壁环形非球面光学零件的高效抛光方法。
技术介绍
非球面光学零件是表面形状偏离球面的光学元件，比传统平面、球面光学元件具有更大的自由度和灵活性，且形状多样。因而能有效地校正各种像差，改善像质，并减少系统所需光学元件的数量，减小系统外形尺寸，减轻系统重量等。非球面光学零件的加工一般经过铣磨、研磨、抛光加工，其加工流程依次包括：(1)加工准备；(2)铣磨；(3)研磨；(4)抛光；(5)清洗；(6)检查。准备工序是为准备非球面光学零件加工中所需的毛坯料、砂轮、工装、辅料等；铣磨工序是为将毛坯铣磨成所需的非球面，在此工序中将产生较大的亚表面损伤层，零件表面粗糙度较大；研磨工序是为将铣磨工序中产生的损伤层去除，并进一步提高零件面形精度和表面质量，该工序一般采用数控机床采用循轨法加工，所采用的辅料可选择为金刚石微粉、碳化硅、氧化铝等；抛光工序是在研磨工序的基础上进一步降低零件损伤...
【技术保护点】
1.一种适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法，其特征在于，包括：/n上盘工装粘接步骤：将铣磨完毕的零件粘接在上盘工装上；/n零件最接近球面计算步骤：计算出零件最接近球曲率半径，获取零件最接近球曲率半径信息；/n抛光垫选择步骤：设置抛光垫厚度为预定厚度，设置抛光垫形状为设定形状，获取抛光垫厚度信息；/n磨具加工步骤：根据抛光垫厚度信息、零件最接近球曲率半径信息，计算模具曲率半径，加工设定曲率半径的磨具；/n光顺加工步骤：使用设定曲率半径的磨具，通过抛光垫对零件进行光顺加工，获取预定表面粗糙度、预定面形精度的零件。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法，其特征在于，包括：
上盘工装粘接步骤：将铣磨完毕的零件粘接在上盘工装上；
零件最接近球面计算步骤：计算出零件最接近球曲率半径，获取零件最接近球曲率半径信息；
抛光垫选择步骤：设置抛光垫厚度为预定厚度，设置抛光垫形状为设定形状，获取抛光垫厚度信息；
磨具加工步骤：根据抛光垫厚度信息、零件最接近球曲率半径信息，计算模具曲率半径，加工设定曲率半径的磨具；
光顺加工步骤：使用设定曲率半径的磨具，通过抛光垫对零件进行光顺加工，获取预定表面粗糙度、预定面形精度的零件。
2.根据权利要求1所述的适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法，其特征在于，抛光垫选择步骤包括：
具体厚度选择步骤：选择厚度为0.2mm-3mm的聚氨酯作为抛光垫；
具体形状选择步骤：设置抛光垫形状为以下任一种形状：
-五角星形状；
-玫瑰花形状。
3.根据权利要求1所述的适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法，其特征在于，还包括：
抛光液配置步骤：抛光液采用以下任一种原料配制：
-氧化铈；
-氧化铝；
-氧化锆；
-金刚石；
-氧化铁；
配制抛光液浓度为2％-10％。
4.根据权利要求1所述的适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法，其特征在于，还包括：
误差快速收敛步骤：采用以下任一种或者任多种设备快速实现零件面形误差快速收敛：
-古典二轴机；
-四轴机；
-弧摆机；
-高速研磨抛光机。
5.根据权利要求1所述的适用于薄壁环形非球面光学零件的抛光方法，其特征在于，所述光顺加工步骤包括：
加工压力设定步骤：设定加工压力的取值范围为0.05MPa-1MPa；
主轴转速设定步骤：设定抛光盘转速的取值范围为150rpm-600rpm；
抛光液流量设定步骤：设定抛光液流量的取值范围为0.2L/min-2L/min；
光顺时间设定步骤：设定光顺时间的取值范围为5min-40min。
技术研发人员：陆波，墨洪磊，周如好，兰洁，陈勰，申振丰，朱力敏，袁航，左宇杰，
申请(专利权)人：上海航天控制技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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