【技术实现步骤摘要】
真空腔体连接管道
本技术涉及一种真空腔体连接管道。
技术介绍
随着科技的发展，真空技术应用的领域越来越广。半导体、电子、医疗、食品等行业都离不开真空技术，其中尤以高真空蒸发设备的应用最为广泛。高真空蒸发设备在使用过程中比较常见的问题是真空漏率随着使用时间延长而逐渐升高，这其中有一些是人为非常规操作导致的，但更多的是设备老化、零部件缺乏保养所引起的故障。如何在真空设备中找出真空组件存在的漏孔，并采取相应措施，使每台真空设备的漏率达到技术要求，是摆在真空检漏技术人员面前的迫切任务。真空检漏就是用适当的方法，迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内，找出漏孔的位置、测定漏率大小，以便进行修补。本行业普通使用质谱检漏技术，该技术已在科研和工业部门得到广泛应用,其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测,且其检漏分辨率高、测量范围广,特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备因其气密性的要求，造成其真空腔体开合步骤繁琐，且不便于待测箱体的放入与取出。现有技术的真空腔体难以同时满足气密性和开合的快捷...
【技术保护点】
1.真空腔体连接管道，其特征在于，包括由弹性橡胶制成的管道体以及位于管道体两端的管道连接法兰，管道体固定连接在管道连接法兰上，管道体上套设管径调节机构。/n
【技术特征摘要】
1.真空腔体连接管道，其特征在于，包括由弹性橡胶制成的管道体以及位于管道体两端的管道连接法兰，管道体固定连接在管道连接法兰上，管道体上套设管径调节机构。
2.根据权利要求1所述的真空腔体连接管道，其特征在于，所述管道体与管道连接法兰固定粘接或焊接；所述管径调节机构包括套设在管道体外的张紧环。
3.根据权利要求2所述的真空腔体连接管道，其特征在于，所述张紧环为由塑料材质制成的条带，条带的一端设置弹性夹，弹性夹的一端固定在条带上，另一端卡设在条带上。
4.根据权利要求3所述的真空腔体连接管道，其特征在于，所述管道体外表面设有上下对称的卡柱槽，卡柱槽沿管道体外表面向管道旋转轴线方向延伸设置，卡柱槽内设置圆柱体形的卡柱，卡柱的直径大于卡柱槽的槽深，卡柱的长度与卡柱槽的槽长相适配，卡柱槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，钱拥军，
申请(专利权)人：光科真空科技泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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