一种保护籽晶的结构制造技术

技术编号:23247310 阅读:40 留言:0更新日期:2020-02-05 00:10
本实用新型专利技术公开了一种保护籽晶的结构,包括阻尼件和活塞杆,阻尼件顶面的中心位置焊接有螺纹颈,螺纹颈螺纹连接上连接件的底部,阻尼件顶部的外壳内开设有安装腔,安装腔内部安装有定位杆,阻尼件内部的中间位置密封焊接有隔板,隔板将阻尼件内部的上侧分隔为密封的缸体,本实用新型专利技术,利用阻尼件内部油缸内的磁流变液通过励磁线圈的控制改变粘稠度以控制磁流变液通过活塞片内部过流孔的速度,改变阻尼件的阻尼,调整保护结构连接的模具上移的速度,控制模具下压籽晶的力,保护籽晶不被模具压坏,同时可以提高籽晶的处理效率。

A structure for protecting seed crystal

【技术实现步骤摘要】
一种保护籽晶的结构
本技术涉及半导体
,具体为一种保护籽晶的结构。
技术介绍
所谓单晶,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。单晶整个晶格是连续的,具有重要的工业应用。单晶生长制备方法大致可以分为气相生长、溶液生长、水热生长、熔盐法、熔体法。最常见的技术有提拉法、坩埚下降法、区熔法、定向凝固法等。现籽晶在引晶阶段时,模具下压籽晶容易使籽晶折断或者模具被压出凹痕,影响籽晶的处理效率。为此,本技术提出一种保护籽晶的结构用于解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种保护籽晶的结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种保护籽晶的结构,包括阻尼件和活塞杆,所述阻尼件顶面的中心位置焊接有螺纹颈,所述螺纹颈螺纹连接上连接件的底部,所述阻尼件顶部的外壳内开设有安装腔,所述安装腔内部安装有定位杆,所述阻尼件内部的中间位置密封焊接有隔板,所述隔板将阻尼件内部的上侧分隔为密封的缸体,所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保护籽晶的结构,包括阻尼件(1)和活塞杆(2),其特征在于:所述阻尼件(1)顶面的中心位置焊接有螺纹颈(6),所述螺纹颈(6)螺纹连接上连接件(4)的底部,所述阻尼件(1)顶部的外壳内开设有安装腔(7),所述安装腔(7)内部安装有定位杆(8),所述阻尼件(1)内部的中间位置密封焊接有隔板(11),所述隔板(11)将阻尼件(1)内部的上侧分隔为密封的缸体(12),所述缸体(12)内部填充有磁流变液,所述缸体(12)内部嵌合安装有活塞片(16),所述活塞片(16)顶面的中部安装有励磁线圈(17),所述活塞片(16)底面的中心位置焊接于活塞杆(2)的顶端,所述活塞杆(2)穿过隔板(11),所...

【技术特征摘要】
1.一种保护籽晶的结构,包括阻尼件(1)和活塞杆(2),其特征在于:所述阻尼件(1)顶面的中心位置焊接有螺纹颈(6),所述螺纹颈(6)螺纹连接上连接件(4)的底部,所述阻尼件(1)顶部的外壳内开设有安装腔(7),所述安装腔(7)内部安装有定位杆(8),所述阻尼件(1)内部的中间位置密封焊接有隔板(11),所述隔板(11)将阻尼件(1)内部的上侧分隔为密封的缸体(12),所述缸体(12)内部填充有磁流变液,所述缸体(12)内部嵌合安装有活塞片(16),所述活塞片(16)顶面的中部安装有励磁线圈(17),所述活塞片(16)底面的中心位置焊接于活塞杆(2)的顶端,所述活塞杆(2)穿过隔板(11),所述活塞杆(2)的底端连接限位座(3)顶面的中间位置,所述限位座(3)底面的中间位置螺纹连接下连接件(5)的上端。


2.根据权利要求1所述的一种保护籽晶的结构,其特征在于:所述活塞杆(2)内部在其轴线位置开设的通道内部安装有电源线(19),所述电源线(19)的一端电性连接励磁线圈(17)的一端,所述电源线(19)的另一端连接装置外部直流电源。


3.根据权利要求1所述的一种保护籽晶的结构,其特征在于:所述阻尼件(1)内部在隔板(11)下方的两...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁会宁杨定勇黄辉朱庆龙宋江
申请(专利权)人:扬州晶樱光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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