信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法制造方法及图纸

提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。根据信息处理装置(1)，分析部(11A)基于阀(30)的使用信息来创建表示适合阀(30)的合适规格的合适规格信息，规格比较部(11B)将合适规格信息与表示预定规格的规格信息进行比较，规格更新部(11C)基于规格比较部(11B)所做的比较结果更新阀(30)的规格信息，制造条件创建装置(制造条件创建部(11D)、制造条件更新部(11E))基于通过规格更新部(11C)所更新的规格信息来创建阀(30)的制造条件，指示信息创建部(11G)基于通过制造条件确定装置所确定的制造条件创建用于在显示设备(3)上显示的有关阀的制造的指示信息。

Assembly method and equipment replacement method of information processing device, manufacturing auxiliary system and valve

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法
本专利技术涉及信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法。
技术介绍
半导体工艺中会使用各种配方(レシピ)，若各配方不同则对于半导体工艺中使用的阀所要求的性能也不同。因此，期望制造适于各半导体工艺的阀。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题但是，为了制造适于各半导体工艺的阀，需要为每一个阀准备纸质制造手册，而这会将大量的纸带进无尘室内，因此并不实际。因此，量产高规格的阀而用于半导体工艺，但是导致了由超规格造成的阀的高价化。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。(二)技术方案为解决上述目的，本专利技术的一实施方式的信息处理装置具备：合适规格创建装置，基于根据制造条件所制造出的设备的使用信息，创建表示适于设备的合适规格的合适规格信息，其中，所述制造条件基于规格信息；以及制造条件确定装置，基于通过所述合适规格创建装置所创建的所述合适规格信息，确定设备的制造条件。还可以具备：规格比较装置，将所述合适规格信息和表示预定规格的所述规格信息进行比较；规格更新装置，基于由所述规格比较装置所做出的比较结果，更新设备的所述规格信息；及指示信息创建装置，基于通过所述制造条件确定装置所确定的制造条件，创建用于在显示设备上显示的、有关所述设备的制造的指示信息。此外，所述合适规格创建装置也可以基于表示所述预定规格的所述规格信息和/或所述合适规格信息、及有关所述规格信息的累积信息，创建所述合适规格信息。本专利技术的一实施方式的制造辅助系统，具备：上述的信息处理装置；及显示设备，显示通过所述指示信息创建装置所创建的所述指示信息。所述显示设备也可以与拍摄装置一体构成。本专利技术一实施方式的使用了上述制造辅助系统的阀的组装方法中，所述设备是阀，所述制造条件包含所述阀的阀体的物性值、所述阀体的尺寸、所述阀在制造时的周围的温度范围中的任一个、及所述阀的泄漏检测方法。所述制造条件也可以包含所述阀的行程量。本专利技术一实施方式的设备更换方法，基于通过信息处理装置中的制造条件确定装置所确定的制造条件来制造设备，用制造出的设备更换获得了使用信息的设备。(三)有益效果根据本专利技术，可提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。附图说明图1表示具备本专利技术实施方式的制造指示信息创建装置的制造辅助系统的构成图。图2表示流体控制装置的外观立体图。图3表示阀的前视图。图4是表示使用信息表的构成例的图。图5是表示规格信息表的构成例的图。图6是表示合适规格信息表的构成例的图。图7是表示制造条件表的构成例的图。图8是表示指示信息创建处理的步骤的流程图。图9表示头戴式显示器的外观图。具体实施方式参考附图说明本专利技术实施方式的信息处理装置1。图1表示具备本实施方式的信息处理装置1的制造辅助系统10的构成图。本专利技术实施方式的信息处理装置1是创建有关设于流体控制装置20的阀30的制造指示信息的装置。流体控制装置20是设于半导体制造装置的装置。阀30是设备的一个例子。首先，说明流体控制装置20及阀30。图2表示流体控制装置20的外观立体图。图3表示阀30的前视图。如图2所示，流体控制装置20具备基座21、多个(3管线)气体管线22、及气体排出歧管23。各气体管线22的结构相同，因此以下仅针对多个气体管线22当中的一个气体管线22进行说明。如图2所示，气体管线22具备多个接头24、25、及多个流体控制设备27～30。多个接头24、25由作为工艺气体的入口的入口接头24、及配置于入口接头24与气体排出歧管23之间的多个块状的接头25构成。多个接头24、25设置为在基座21上排成一列，被固定于基座21。在气体排出歧管23连接有出口配管26。多个流体控制设备27～30由手动式的调节器(减压阀)27、过滤器28、流量控制设备(例如质量流量控制器(MFC：MassFlowController))29、及自动阀(例如流体驱动式的自动阀)30构成。各流体控制设备27～30分别连接于接头24、25。而且，从入口接头24流入的气体通过流体控制设备27～30、多个接头25及气体排出歧管23，被供给至腔室(未图示)。此外，在调节器27或质量流量控制器29设有检测气体的流量的流量传感器(未图示)。图3表示阀30的正面图。如图3所示，阀30具备本体31、致动器32、连接本体31与致动器32并通过扭矩扳手(省略图示)而旋转的阀盖33、及通过本体31与阀盖33而外周缘部受到夹压的隔膜34。此外，阀30是通过从外部向致动器32供给的驱动流体而进行开闭的阀。此外，在阀30设有传感器部35。传感器部35由检测气体的压力的压力传感器、检测气体的温度的温度传感器、检测隔膜34的动作的位移传感器构成。隔膜34相当于阀体。接下来，参照图1说明具备信息处理装置1的制造辅助系统10的结构。如图1所示，制造辅助系统10具备信息处理装置1、相机2、及显示设备3，它们能够通过有线或无线进行通信。相机2例如为可拍摄影片的摄影机，拍摄制造中的阀30，将拍摄出的影片发送给信息处理装置1。显示设备3具有显示器，显示从信息处理装置1发送的有关阀30的制造的指示信息。信息处理装置1具备CPU(CentralProcessingUnit，中央处理单元)11、存储部12、及通信部13，它们通过总线相互连接。CPU11通过读出并执行存储于存储部12的程序，控制信息处理装置1及制造辅助系统10。存储部12存储有关后述的指示信息创建处理的程序，通过由CPU11读出并执行该程序，实现CPU11的各处理部11A～11G的功能。此外，存储部12存储有关于阀30的使用信息、规格(规范)信息、合适规格(规范)信息、制造条件、累积信息的各种表。图4是表示使用信息表100的构成例的图。使用信息表100例如存储有位于流体控制装置20的各气体管线22的最上游及最下游的阀30的使用信息，对应于各阀30而设有多个使用阀表101。在各使用阀表101标有对应的阀30的批次号。使用阀表101存储气体种类102、环境温度103、流体温度104、开闭频率105、流量106、压力107、驱动压108作为使用信息的项目。气体种类102表示在阀30中使用的气体的种类。环境温度103表示阀30的周围的平均温度(℃)。流体温度104表示流过阀30的气体的平均温度(℃)。开闭频率105表示在使用期间阀30的开闭次数(开闭的合计值)。流量106表示在使用期间流过阀30的气体的流量(m3/s)。压力107表示阀30中流动的气体的平均压力(MPa)。驱动压108表示为了将阀30开闭而向致动器32供给的驱动流体的平均驱动压(MPa)。通过设于阀30的传感器部35、设于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种信息处理装置，具备：/n合适规格创建装置，基于根据制造条件所制造出的设备的使用信息，创建表示适于设备的合适规格的合适规格信息，其中，所述制造条件基于规格信息；以及/n制造条件确定装置，基于通过所述合适规格创建装置所创建的所述合适规格信息，确定设备的制造条件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170731 JP 2017-1473281.一种信息处理装置，具备：
合适规格创建装置，基于根据制造条件所制造出的设备的使用信息，创建表示适于设备的合适规格的合适规格信息，其中，所述制造条件基于规格信息；以及
制造条件确定装置，基于通过所述合适规格创建装置所创建的所述合适规格信息，确定设备的制造条件。


2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，具备：
规格比较装置，将所述合适规格信息和表示预定规格的所述规格信息进行比较；
规格更新装置，基于由所述规格比较装置所做出的比较结果，更新设备的所述规格信息；及
指示信息创建装置，基于通过所述制造条件确定装置所确定的制造条件，创建用于在显示设备上显示的、有关所述设备的制造的指示信息。


3.根据权利要求1或2所述的信息处理装置，其特征在于，所述合适规格创建装置基于表示所述预定规格的所述规格信息和/或所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤龙彦，中田知宏，佐藤秀信，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP