一种强吸收的外尔半金属光电探测器制造技术

技术编号:23181639 阅读:61 留言:0更新日期:2020-01-22 05:00
本实用新型专利技术涉及一种强吸收的外尔半金属光电探测器,该器件包括电极、外尔半金属材料、电压源、电流表,外尔半金属材料置于两电极间,并与两电极欧姆接触,电压源、电流表、电极、外尔半金属材料通过导线连接成回路,在外尔半金属材料的顶部设有凹槽。外尔半金属材料上的凹槽扩大了其与光的接触面积,光会被耦合到凹槽中,提高了外尔半金属材料对光的吸收效率,进而提高了探测灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种强吸收的外尔半金属光电探测器
本技术涉及光电探测领域,具体涉及一种强吸收的外尔半金属光电探测器。
技术介绍
基于外尔半金属的光电探测器能够实现300K温度以下的响应,而不需要运行在低温的环境,这一特性使得外尔半金属在光电探测领域具有很好的应用前景。专利技术专利CN107068785B公布了一种基于外尔半金属的光电探测结构,但是,光与外尔半金属的作用面积下,对光的吸收少,进而光的利用效率低。
技术实现思路
为提高外尔半金属材料对光的吸收能力,从而提高探测灵敏度,本技术提供了一种强吸收的外尔半金属光电探测器,该探测器包括电极、外尔半金属材料、电压源、电流表,外尔半金属材料置于两电极间,并与两电极欧姆接触,电压源、电流表、电极、外尔半金属材料通过导线连接成回路,在外尔半金属材料的顶部设有凹槽。更进一步地,外尔半金属材料为TaAs或NbAs。更进一步地,电极材料为铜、金、银、铂。更进一步地,凹槽为矩形。更进一步地,凹槽为楔形。更进一步地,凹槽的深度大于1微米。更进一步地,在外尔半金属材料的内部设有多于一个的空腔,空腔与凹槽连接。更进一步地,空腔的尺寸不一致。更进一步地,空腔的深度不一致。更进一步地,空腔的底部为粗糙的。本技术的有益效果:本技术提供了一种强吸收的外尔半金属光电探测器,外尔半金属材料上的凹槽扩大了其与光的接触面积,光会被耦合到凹槽中,提高了外尔半金属材料对光的吸收效率,进而提高了探测灵敏度。以下将结合附图对本技术做进一步详细说明。附图说明图1是强吸收的外尔半金属光电探测器的示意图。图2是强吸收的外尔半金属光电探测器的示意图。图中:1、电极;2、外尔半金属材料;3、凹槽;4、空腔。具体实施方式为进一步阐述本技术达成预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及实施例对本技术的具体实施方式、结构特征及其功效,详细说明如下。实施例1本技术提供了一种如图1所示的强吸收的外尔半金属光电探测器,该器件包括电极1、外尔半金属材料2、电压源、电流表,外尔半金属材料2置于两电极1间,并与两电极1欧姆接触,电压源、电流表、电极1、外尔半金属材料2通过导线连接成回路,外尔半金属材料为TaAs或NbAs,电极材料为铜、金、银、铂,在外尔半金属材料2的顶部设有凹槽3,凹槽3为矩形。外尔半金属材料2上的凹槽3扩大了其与光的接触面积,光会被耦合到凹槽3中,提高了外尔半金属材料2对光的吸收效率,进而提高了探测灵敏度。另外,凹槽3也可以为楔形,如此一来,光会沿着楔形的边界往凹槽3的底部传播,最终聚集在楔形凹槽3的底部,增强了光的吸收效率。在以上光电探测结构中,凹槽3的深度大于1微米,以致于大于所探测的光波的波长,对光具有更好的吸收效果。实施例2在实施例1的基础上,如图2所示,在外尔半金属材料2的内部设有多于一个的空腔4,空腔4与凹槽3连接,如此一来,入射光通过凹槽3耦合到空腔4中,进一步提高了外尔半金属材料2对入射光的吸收效率,提高探测灵敏度。此外,空腔4的尺寸不一致,深度也不一致,这样一来,对入射光的有效谐振空间的尺寸就不同,以便于对不同波长的入射光产生很好的吸收效果。更进一步地,空腔4的底部还为粗糙的,粗糙的底面对吸收到空腔4中的光具有很好的散射性能和吸收性能,所以,这样的底部具有更好的吸收效果,进一步提高探测灵敏度。以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所作的进一步详细说明,不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说,在不脱离本技术构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本技术的保护范围。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种强吸收的外尔半金属光电探测器,包括电极、外尔半金属材料、电压源、电流表,外尔半金属材料置于两电极间,并与两电极欧姆接触,电压源、电流表、电极、外尔半金属材料通过导线连接成回路,其特征在于:在所述外尔半金属材料的顶部设有凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种强吸收的外尔半金属光电探测器,包括电极、外尔半金属材料、电压源、电流表,外尔半金属材料置于两电极间,并与两电极欧姆接触,电压源、电流表、电极、外尔半金属材料通过导线连接成回路,其特征在于:在所述外尔半金属材料的顶部设有凹槽。


2.如权利要求1所述的强吸收的外尔半金属光电探测器,其特征在于:所述外尔半金属材料为TaAs或NbAs。


3.如权利要求2所述的强吸收的外尔半金属光电探测器,其特征在于:所述电极材料为铜、金、银、铂。


4.如权利要求3所述的强吸收的外尔半金属光电探测器,其特征在于:所述凹槽为矩形。


5.如权利要求3所述的强吸收的外尔半金属光电探...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:金华伏安光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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