光学器件制造技术

光学器件中，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件。一对杆和第1联接部件划定光通过开口。一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧。第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学器件
本专利技术涉及光学器件。
技术介绍
已知有根据MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))技术在SOI(SiliconOnInsulator(绝缘体上硅))基板形成有干涉光学系统的光学器件(例如，参照专利文献1)。这样的光学器件由于能够提供实现了高精度的光学配置的FTIR(傅立叶变换红外分光仪)而受到瞩目。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012-524295号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述那样的光学器件，构成干涉光学系统的可动镜沿SOI基板的主面移动。相对于此，考虑采用如下结构：可动镜由弹性支承部支承，以使得可动镜能够沿着垂直于SOI基板的主面的方向移动。这种光学器件中，为了提高可动部的控制特性，要求提高弹性支承部的外力耐性。另外，还要求装置整体的小型化和光学性能的确保。本公开的一个方面的目的在于提供一种实现了装置整体的小型化、弹性支承部的外力耐性的提高、和光学性能的确保的光学器件。解决问题的技术手段本专利技术的一个方面的光学器件包括：具有主面的底座；可动部；配置在可动部上的光学功能部；和弹性支承部，其连接在底座与可动部之间，并且以可动部能够沿垂直于主面的第1方向移动的方式支承可动部，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件，一对杆和第1联接部件划定光通过开口，一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧，第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。在该光学器件中，在一对杆之间架设有第1联接部件，光通过开口由一对杆和第1联接部件划定。由此，能够以通过光通过开口的方式设定光路，与例如以通过光学器件的外侧的方式设定光路的情况相比，能够使装置整体小型化。另外，由于第1联接部件架设在一对杆之间，所以能够提高弹性支承部的外力耐性。再有，一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧，第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。由此，能够确保光通过开口的大小，能够确保光学性能。因此，根据该光学器件，可实现装置整体的小型化、弹性支承部的外力耐性的提高、和光学性能的确保。也可以是弹性支承部还具有架设于一对杆之间的第2联接部件，光通过开口由一对杆、第1联接部件和第2联接部件划定。在这种情况下，能够进一步提高弹性支承部的外力耐性。也可以是弹性支承部还具有分别架设于一对杆与第1联接部件之间的一对梁部件。在这种情况下，能够更进一步提高弹性支承部的外力耐性。也可以是一对第1扭转支承部分别与一对杆的第1端部连接，一对第2扭转支承部分别与一对杆的第2端部连接。在这种情况下，能够更适当地确保光通过开口的大小。也可以是第2方向上的光通过开口的最大宽度比第2方向上的可动部与一对第2扭转支承部的连接位置之间的距离大。在这种情况下，能够更适当地确保第2方向上的光通过开口的大小。也可以是可动部具有：配置有光学功能部的配置部、和在从第1方向看时包围配置部的框部，第2方向上的光通过开口的最大宽度比第2方向上的框部与一对第2扭转支承部的连接位置之间的距离大。在这种情况下，能够更适当地确保第2方向上的光通过开口的大小。也可以是一对杆的各个中，从与第1联接部件的连接位置至与一对第2扭转支承部的连接位置的第3方向上的距离比从与第1联接部件的连接位置至与一对第1扭转支承部的连接位置的第3方向上的距离长。在这种情况下，能够更适当地确保沿一对杆的方向上的光通过开口的大小。也可以是光学功能部是镜面，从第1方向看时，光通过开口的面积为镜面的面积的50％以上。在这种情况下，能够更适当地确保光通过开口的大小。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种实现了装置整体的小型化、弹性支承部的外力耐性的提高、和光学性能的确保的光学器件。附图说明图1是一个实施方式的光模块的截面图。图2是图1所示的镜单元的俯视图。图3是沿图2所示的III-III线的镜单元的截面图。图4是沿图2所示的IV-IV线的镜单元的截面图。图5是沿图2所示的V-V线的镜器件的示意性的截面图。图6是图2所示的镜器件的部分放大图。图7是图2所示的光学功能部件的俯视图。图8是沿图1所示的VIII-VIII线的光模块的截面图。图9是沿图1所示的IX-IX线的光模块的截面图。图10是图1所示的镜单元和分束器单元的示意性的截面图。图11是第1变形例的镜器件的俯视图。图12是第2变形例的镜器件的俯视图。图13(a)是第3变形例的弹性支承部的示意性的俯视图，图13(b)是第4变形例的弹性支承部的示意性的俯视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细的说明。另外，在各图中对同一或相当部分标注相同的符号，省略重复的部分。[光模块的结构]如图1所示，光模块1包括镜单元2、分束器单元3、光入射部4、第1光检测器6、第2光源7、第2光检测器8、支承体9、第1支承结构11和第2支承结构12。镜单元2配置于Z轴方向(第1方向)上的支承体9的一侧，例如通过粘接剂安装于支承体9。支承体9例如由铜钨形成，例如呈矩形板状。镜单元2包括沿Z轴方向移动的可动镜22和位置被固定的固定镜16(详细情况后面叙述)。另外，Z轴方向例如为铅垂方向，Z轴方向上的一侧例如为上侧。分束器单元3在Z轴方向上的镜单元2的一侧配置，由第1支承结构11支承。第1支承结构11例如通过粘接剂，安装于支承体9。光入射部4在X轴方向(与第1方向垂直的第3方向)上的分束器单元3的一侧配置，由第2支承结构12支承。第1光检测器6、第2光源7和第2光检测器8在Z轴方向上的分束器单元3的一侧配置，由第2支承结构12支承。第2支承结构12例如通过螺栓安装于支承体9。在光模块1中，由分束器单元3、可动镜22和固定镜16对于测量光L0和激光L10的各个构成干涉光学系统。对于测量光L0和激光L10的各个构成的干涉光学系统例如是迈克尔逊干涉光学系统。对于测量光L0，如下述那样检测测量光的干涉光L1。即，当从第1光源(省略图示)经由测量对象(省略图示)入射的测量光L0或从测量对象发出的测量光L0(例如，测量对象自身的发光等)从光入射部4向分束器单元3入射时，该测量光L0在分束器单元3被分割为一部分和剩余部分。然后，测量光L0的一部分在沿Z轴方向往复移动的可动镜22被反射而返回分束器单元3。另一方面，测量光L0的剩余部分在固定镜16被反射而返回分束器单元3。返回分束器单元3后的测量光L0本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学器件，其特征在于，/n包括：/n具有主面的底座；/n可动部；/n配置在所述可动部上的光学功能部；和/n弹性支承部，其连接在所述底座与所述可动部之间，并且以所述可动部能够沿垂直于所述主面的第1方向移动的方式支承所述可动部，/n所述弹性支承部具有：/n在垂直于所述第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；/n沿所述第2方向延伸，且分别连接在所述一对杆与所述底座之间的一对第1扭转支承部；/n沿所述第2方向延伸，且分别连接在所述一对杆与所述可动部之间的一对第2扭转支承部；和/n架设于所述一对杆之间的第1联接部件，/n所述一对杆和所述第1联接部件划定光通过开口，/n所述一对杆与所述一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于所述第1方向和所述第2方向的第3方向上相对于所述光通过开口的中心位于所述可动部的相反侧，/n所述第2方向上的所述光通过开口的最大宽度由所述第2方向上的所述一对杆之间的间隔规定。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170706 JP 2017-1330891.一种光学器件，其特征在于，
包括：
具有主面的底座；
可动部；
配置在所述可动部上的光学功能部；和
弹性支承部，其连接在所述底座与所述可动部之间，并且以所述可动部能够沿垂直于所述主面的第1方向移动的方式支承所述可动部，
所述弹性支承部具有：
在垂直于所述第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；
沿所述第2方向延伸，且分别连接在所述一对杆与所述底座之间的一对第1扭转支承部；
沿所述第2方向延伸，且分别连接在所述一对杆与所述可动部之间的一对第2扭转支承部；和
架设于所述一对杆之间的第1联接部件，
所述一对杆和所述第1联接部件划定光通过开口，
所述一对杆与所述一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于所述第1方向和所述第2方向的第3方向上相对于所述光通过开口的中心位于所述可动部的相反侧，
所述第2方向上的所述光通过开口的最大宽度由所述第2方向上的所述一对杆之间的间隔规定。


2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于：
所述弹性支承部还具有架设于所述一对杆之间的第2联接部件，
所述光通过开口由所述一对杆、所述第1联接部件和所述第2联接部件划定。


3.如权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于：
所述弹性支承部...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智史，港谷恭辅，杉本达哉，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP