一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置，包括硅基衬底、通量引导器、四个相同的磁敏电阻以及信号反馈线圈、运算放大器和功率放大器，本发明专利技术通过在推拉式垂直灵敏的磁传感器芯片设置芯上在位信号反馈线圈，当通有反馈电流时信号反馈线圈上方的两对磁敏电阻敏感轴方向上产生大小相等方向相反的磁场信号，分别抵消原信号磁场，而形成闭环式反馈结构，该芯上在位反馈装置设计能够有效改善传感器输出线性度，提高测量精度，降低功耗，具有重要的应用价值。

A vertical sensitive magnetic sensor closed-loop on core feedback device

【技术实现步骤摘要】
一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置
本专利技术属于磁传感器
，涉及一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置。
技术介绍
随着磁传感器领域的迅速发展，其应用越来越广泛，目前的垂直磁传感器大量应用于消费电子领域例如手机等以及电子罗盘移动设备中，该类产品要求较小的封装尺寸以及较高的测量稳定性。现有的垂直灵敏的磁传感器多为Z轴封装式设计，Z轴封装是将传感芯片的灵敏轴垂直水平面封装，例如专利CN102426344A，名称为一种三轴磁场传感器的专利技术专利，其采用三个传感器封装集成的方法，其中Z轴的传感器采用垂直平面放置来测量垂直方向的磁场。该种办法制成传感器体积大，封装成本大，工艺复杂，稳定性低且封装易断裂等。尽管存在单芯集成的垂直灵敏的磁传感器，但目前均采用开环式设计，例如申请号为201820341886.X的名称为一种推拉式垂直灵敏磁传感，其利用通量引导器将垂直方向的Z轴磁场转化成平面内的漏磁磁场分量，实现垂直方向上的磁场检测，但是该种设计在测量较大磁场的情况下磁敏电阻容易磁饱和而且在测量时磁滞较大，很大程度上影响传感器的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置，包括硅基衬底、通量引导器、四个相同的磁敏电阻、信号反馈线圈、运算放大器和功率放大器；/n其特征在于：所述的通量引导器为矩形空心结构，通量引导器与四个磁敏电阻均设置在同一硅基衬底上，四个磁敏电阻分为两对分别设置在矩形空心结构的通量引导器左右两侧的两相互平行的对边内侧，两对磁敏电阻关于矩形空心结构的通量引导器的中心竖轴线对称，四个磁敏电阻的敏感轴方向一致均垂直于通量引导器左右两侧对边；通量引导器将垂直磁场信号诱导到平面内方向，在磁敏电阻处产生一个面内磁场分量并且在两对磁敏电阻敏感轴方向上产生信号磁场的分量大小相等、方向相反；/n所述的信号反馈线圈为...

【技术特征摘要】
20190710 CN 20191062014541.一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置，包括硅基衬底、通量引导器、四个相同的磁敏电阻、信号反馈线圈、运算放大器和功率放大器；
其特征在于：所述的通量引导器为矩形空心结构，通量引导器与四个磁敏电阻均设置在同一硅基衬底上，四个磁敏电阻分为两对分别设置在矩形空心结构的通量引导器左右两侧的两相互平行的对边内侧，两对磁敏电阻关于矩形空心结构的通量引导器的中心竖轴线对称，四个磁敏电阻的敏感轴方向一致均垂直于通量引导器左右两侧对边；通量引导器将垂直磁场信号诱导到平面内方向，在磁敏电阻处产生一个面内磁场分量并且在两对磁敏电阻敏感轴方向上产生信号磁场的分量大小相等、方向相反；
所述的信号反馈线圈为两边相互平行的U型结构，信号反馈线圈设置在磁敏电阻下方的硅基衬底上，信号反馈线圈的两平行边分别设置在两对磁敏电阻的正下方，通反馈电流时的信号反馈线圈在两对磁敏电阻敏感轴方向上产生大小相等、方向相反的反馈...

【专利技术属性】
技术研发人员：白茹，王志强，钱正洪，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33