干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供干燥装置，能够简化整体的构造，减少部件的种类和数量而降低制造成本并且快速地对对象物的被干燥面进行干燥。干燥装置与对象物的被干燥面对置地配置，使被干燥面干燥，其中，该干燥装置构成为：具有气体喷出头部，该气体喷出头部与被干燥面对置地配置，具有朝向被干燥面喷出从气体提供源提供的气体的喷出口，气体喷出头部具有隔板，该隔板设置在从气体提供源提供的气体的至喷出口的流路内，遮挡流路内的气体的流动，在隔板形成有节流孔，在流路内流动并通过隔板的节流孔的气体从喷出口喷出。

【技术实现步骤摘要】
干燥装置
本专利技术涉及使玻璃基板或金属制基板、树脂制薄膜、立体物等干燥对象物的被干燥面干燥的干燥装置。
技术介绍
在专利文献1中公开了具有超声波产生装置的干燥系统。例如，在专利文献1的段落【0009】中记载了如下内容：“超声波产生装置7以最高效率对混合于被通常加热后的空气中的干燥对象物5进行照射。在超声波产生装置7的细孔7a中，诱导加热后的空气10，在间隔壁11进行混合并暂时返回而从出口8吹出。超声波优选具有18000赫兹以上的频率，这有助于缩短干燥时间”。专利文献1：日本特开平7-91827号公报专利文献1所记载的干燥系统以具有超声波产生装置7为前提，采用使超声波从外部与在流路中流动的空气混合的结构。而且，采用从形成于喷嘴3的前端的出口8吹出空气的结构。因此，吹出空气的面积较窄，为了使对象物的被干燥面整体干燥，必须使对象物二维地移动，因而花费工夫。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于这样的情况而完成的，提供能够通过简单的构造利用超声波进行干燥的干燥装置。本专利技术的干燥装置与干燥对象物的被干燥面对置地配置，使所述被干燥面干燥，其中，该干燥装置构成为：具有气体喷出头部，该气体喷出头部与所述被干燥面对置地配置，具有朝向所述被干燥面喷出从气体提供源提供的气体的喷出口，所述气体喷出头部具有隔板，该隔板设置在从所述气体提供源提供的气体的至所述喷出口的流路内，遮挡所述流路内的气体的流动，在所述隔板形成有节流孔，在所述流路内流动并通过所述隔板的所述节流孔的气体从所述喷出口喷出。根据这样的结构，通过在气体喷出头部的流路内设置形成有节流孔的隔板，在所述流路内流动的气体在通过节流孔之后，到达喷出口，从该喷出口朝向干燥对象物的被干燥面喷出。在该过程中，通过所述气体的流动的节流孔的前、中、后的节流和扩展，可以使所述气体乱流化而产生超声波振动。因此能够向所述干燥对象物的被干燥面吹出超声波振动状态的气体。通过该超声波振动状态的气体对所述干燥对象物的所述被干燥面进行干燥。在本专利技术的干燥装置中，可以构成为，使节流孔的开口最大宽度比喷出口的开口最大宽度小。根据这样的结构，在气体喷射头部的流路内，被隔板节流后的气体的流动一边朝向喷出口扩展一边前进，通过该气体的流动的节流和扩展，能够使所述气体处于超声波振动状态。在本专利技术的干燥装置中，可以构成为，设置在所述气体喷出头部的所述流路内的所述隔板的所述节流孔的面与所述喷出口的面平行。根据这样的结构，在气体喷出头部中，由于隔板的节流孔的面与喷出口的面平行，因此能够使气体喷出头部的构造更加简单。在本专利技术的干燥装置中，可以构成为，该干燥装置具有吸气头部，该吸气头部与所述被干燥面对置地配置并且与所述气体喷出头部相邻地设置，与吸引机构结合，所述吸气头部具有吸引孔，该吸引孔向朝向从所述气体喷出头部的所述喷出口喷出的气体的方向倾斜，利用所述吸引机构的吸气作用，通过所述吸引孔对所述被干燥面上的气体进行吸引。根据这样的结构，与气体喷出头部相邻地设置的吸气头部具有吸气孔，该吸气孔向朝向从所述气体喷出头部的所述喷出口喷出的气体的方向倾斜，因此在从所述喷出口向干燥对象物的被干燥面喷出超声波振动状态的气体的状态下，能够通过所述吸气头部的所述吸引孔高效地对从所述喷出口喷出的气体进行吸引。其结果为，能够有效地使所述被干燥面的与所述气体喷出头部的所述喷出口对置的部分干燥。在本专利技术的干燥装置中，可以构成为，该干燥装置具有第1吸气头部和第2吸气头部，该第1吸气头部和该第2吸气头部分别与吸引机构结合，设置为与所述被干燥面对置地配置并且夹着所述气体喷出头部，所述第1吸气头部具有第1吸引孔，该第1吸引孔向朝向从所述气体喷出头部的所述喷出口喷出的气体的方向倾斜，所述第2吸气头部具有第2吸引孔，该第2吸引孔向朝向从所述气体喷出头部的所述喷出口喷出的气体的方向倾斜，并且该第2吸引孔的倾斜方向与所述第1吸引孔的倾斜方向相反，利用所述吸引机构的吸气作用，通过所述第1吸引孔和所述第2吸引孔对所述被干燥面上的气体进行吸引。根据这样的结构，以夹着气体喷出头部的方式设置的第1吸气头部和第2吸气头部具有第1吸气孔和第2吸气孔，该第1吸气孔和该第2吸气孔向朝向从所述气体喷出头部的所述喷出口喷出的气体的方向倾斜，因此在从所述喷出口向干燥对象物的被干燥面喷出超声波振动状态的气体的状态下，能够分别通过所述第1吸气头部和第2吸气头部的所述第1吸引孔和第2吸引孔更高效地对从所述喷出口喷出的气体进行吸引。其结果为，能够更高效地使所述被干燥面的与所述气体喷出头部的所述喷出口对置的部分干燥。根据本专利技术，在气体喷出头部中，在流路内流动的气体在通过节流孔之后到达喷出口，从该喷出口进一步朝向干燥对象物的被干燥面喷出的过程中，通过所述气体的流动的节流孔的前、中、后的节流和扩展，可以使所述气体乱流化而产生超声波振动，因此能够通过简单的构造利用超声波进行干燥。附图说明图1是示出具有本专利技术的实施方式的干燥装置500的干燥系统1000的概略结构的结构图。图2是示出本专利技术的实施方式的干燥装置的图，图2的(a)是下罩的俯视图，图2的(b)是整体的主视图。图3是图2的(b)的A-A放大剖视图。图4是图3的局部放大剖视图。标号说明100：供气风管；110：下罩；120：顶板；121、122、123、124：排气口；130：侧板；131：突起；150：内部风管；151、152：突起；153：隔板；153a：节流孔；154：底板；154a：第1吸引孔；154b：第2吸引孔；155：流路；156：喷出口；161、162：滑动引导部；170：空气喷射室；180：空气吸引室；200：排气风管；210：上罩；220：空气积存部；310、320：端部罩；500：干燥装置；501：气体喷出头部；502a：第1吸气头部；502b：第2吸气头部；600：风机；700：HEPA过滤器；800：加热器单元；801：温度控制器；900：气体分离单元；G：干燥对象物；G1：被干燥面。具体实施方式以下，沿着附图对本专利技术的实施方式进行说明。首先，图1是示出具有本专利技术的实施方式的干燥装置500的干燥系统1000的概略结构的结构图。另外，图2～图4是示出本专利技术的实施方式的干燥装置500的图，图2的(a)是下罩的俯视图，图2的(b)是整体的主视图，图3是图2的(b)的A-A放大剖视图，图4是图3的局部放大剖视图。如图1所示，干燥系统1000具有风机600、HEPA过滤器700、加热器单元800以及气体分离单元。风机600向干燥装置500提供空气(气体)。HEPA过滤器700从由风机600提供的空气中去除尘埃。由风机600和HEPA过滤器700构成气体提供源。另外，加热器单元800有可能产生尘埃，在对干燥空气要求清洁度的情况下，也可以在加热器单元800与干燥装置500之间配置HEPA过滤器700。加热器单元800对从风机600提供的空气进行加热。另外，在加热器单元800本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干燥装置，与干燥对象物的被干燥面对置地配置，使所述被干燥面干燥，其中，/n该干燥装置具有气体喷出头部，该气体喷出头部与所述被干燥面对置地配置，具有朝向所述被干燥面喷出从气体提供源提供的气体的喷出口，/n所述气体喷出头部具有隔板，该隔板设置在从所述气体提供源提供的气体的至所述喷出口的流路内，遮挡所述流路内的气体的流动，/n在所述隔板上形成有节流孔，/n在所述流路内流动并通过所述隔板的所述节流孔的气体从所述喷出口喷出。/n

【技术特征摘要】
20180711 JP 2018-1315061.一种干燥装置，与干燥对象物的被干燥面对置地配置，使所述被干燥面干燥，其中，
该干燥装置具有气体喷出头部，该气体喷出头部与所述被干燥面对置地配置，具有朝向所述被干燥面喷出从气体提供源提供的气体的喷出口，
所述气体喷出头部具有隔板，该隔板设置在从所述气体提供源提供的气体的至所述喷出口的流路内，遮挡所述流路内的气体的流动，
在所述隔板上形成有节流孔，
在所述流路内流动并通过所述隔板的所述节流孔的气体从所述喷出口喷出。


2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，
所述节流孔的开口最大宽度比所述喷出口的开口最大宽度小。


3.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，
设置在所述气体喷出头部的所述流路内的所述隔板的所述节流孔的面与所述喷出口的面平行。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的干燥装置，其中，

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤孝宏，秋田靖浩，
申请(专利权)人：修谷鲁开发股份有限公司，丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP