一种用于去除尾气中硅粉的系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于去除尾气中硅粉的系统，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管连通，所述连通管上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述连通管的导通和截止。在本发明专利技术中，使包含有氯硅烷、氯化氢以及氢气的尾气通入过滤装置中，过滤装置将尾气中的硅粉过滤出，从而实现硅粉与氯硅烷、氯化氢以及氢气的分离。之后开启连通管上的第一阀门，从而使过滤出的硅粉通过连通管进入到收集装置中，从而实现了对硅粉的收集。本发明专利技术中的系统不仅能够将尾气中的硅粉过滤出，而且还能够将过滤出的硅粉进行收集。

A system for removing silica powder from tail gas

【技术实现步骤摘要】
一种用于去除尾气中硅粉的系统
本专利技术涉及多晶硅生产领域，更具体地说，涉及一种用于去除尾气中硅粉的系统。
技术介绍
在多晶硅的生产中会产生掺杂有硅粉的尾气。该尾气的成份包括：氯硅烷、氯化氢以及氢气。如果硅粉随着尾气进入到后续的尾气处理系统，那么硅粉很可能会堵塞尾气管道，从而导致生产效率下降。另外，硅粉直接被排出会造成硅粉的浪费。因此，如何设计一种用于去除尾气中硅粉的系统，该系统能够去除尾气中的硅粉，同时能够将硅粉收集起来，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于去除尾气中硅粉的系统，该系统能够去除尾气中的硅粉，同时能够将硅粉收集起来。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于去除尾气中硅粉的系统，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管连通，所述连通管上设置有第一阀门，所述第一阀门用于控制所述连通管的导通和截止。优选地，所述第一阀门受控于控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管(5)连通，所述连通管(5)上设置有第一阀门(4)，所述第一阀门(4)用于控制所述连通管(5)的导通和截止。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，包括过滤装置和收集装置，所述过滤装置用于将尾气中的硅粉过滤出，所述收集装置用于收集所述过滤装置过滤出的硅粉；所述过滤装置和所述收集装置之间通过连通管(5)连通，所述连通管(5)上设置有第一阀门(4)，所述第一阀门(4)用于控制所述连通管(5)的导通和截止。


2.根据权利要求1所述的用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，所述第一阀门(4)受控于控制器，所述控制器根据设定的时间值来控制所述第一阀门(4)的启闭。


3.根据权利要求1所述的用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，所述过滤装置包括第一壳体(1)，所述第一壳体(1)中设置有第一滤芯(2)，所述第一滤芯(2)用于阻拦硅粉；
所述第一壳体(1)上设置有进口和出口(3)，所述进口位于所述第一滤芯(2)的下方，所述出口(3)位于所述第一滤芯(2)的上方，尾气从所述进口进入所述第一壳体(1)，经过所述第一滤芯(2)的过滤后从所述出口(3)流出。


4.根据权利要求3所述的用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，所述过滤装置还包括吹扫设备，所述吹扫设备用于将所述第一滤芯(2)上的硅粉吹落，所述吹扫设备的吹扫口位于所述第一滤芯(2)的上方。


5.根据权利要求4所述的用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，经所述第一滤芯(2)过滤后的尾气再经过冷凝器冷凝，分离出的氢气进入到所述吹扫设备中。


6.根据权利要求4所述的用于去除尾气中硅粉的系统，其特征在于，所述第一壳体(1)的底部为锥状，该锥状的底部供...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗周，向春林，明勇，宋垒，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51