【技术实现步骤摘要】
一种侧线采出回收DCS的反应精馏塔
本专利技术属于多晶硅生产的
,涉及一种改良西门子法生产多晶硅中,利用侧线采出、塔顶物料全回流的方法处理二氯二氢硅,具体而言,涉及一种侧线采出回收DCS的反应精馏塔。
技术介绍
现有技术中多晶硅生产90%都是使用改良西门子法,在利用三氯氢硅(SiHCL3,TCS)在化学气相沉积反应器内沉积生成多晶硅,同时会产生大量的四氯化硅(SiCL4,STC)以及少量的二氯二氢硅(SiH2CL2,DCS),目前使用的冷氢化技术生产TCS时,也会有一定量的DCS产生,其中DCS物料沸点低,易燃易爆,十分危险,目前已经有很多处理DCS的办法。传统的DCS处理方法都是利用碱液吸收,将其作为废料处理,增加了环境污染,同时又增加了物料消耗。目前常规的处理方法,将利用固定床反应器或者反应精馏塔,使STC与DCS按照一定比例混合后,通过催化剂发生反歧化反应生成TCS,但是上述方法中,所使用的催化剂寿命比较短,随着运行时间的变长,DCS一次转化率会逐渐降低,反应器出口及精馏塔塔顶馏出中的DC ...
【技术保护点】
1.一种侧线采出回收DCS的反应精馏塔,包括精馏塔和设于该精馏塔内部的提馏段、反应段和精馏段,其特征在于,所述反应段的顶部和底部分别设有四氯化硅进料管和二氯二氢硅进料管,精馏段设有三氯氢硅侧线采出管;所述精馏塔的塔顶通过第一冷凝管路分别回流至精馏塔的塔顶和反应段的底部;所述精馏塔的塔底通过第二冷凝管路回流至反应段的顶部。/n
【技术特征摘要】
1.一种侧线采出回收DCS的反应精馏塔,包括精馏塔和设于该精馏塔内部的提馏段、反应段和精馏段,其特征在于,所述反应段的顶部和底部分别设有四氯化硅进料管和二氯二氢硅进料管,精馏段设有三氯氢硅侧线采出管;所述精馏塔的塔顶通过第一冷凝管路分别回流至精馏塔的塔顶和反应段的底部;所述精馏塔的塔底通过第二冷凝管路回流至反应段的顶部。
2.根据权利要求1所述的侧线采出回收DCS的反应精馏塔,其特征在于,还包括塔釜再沸器,该塔釜再沸器的进口管与所述精馏塔的塔底连通,塔釜再沸器的出口管连通至所述提馏段的底部。
3.根据权利要求1所述的侧线采出回收DC...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐东昌,罗建军,易军,胡宗堂,陈文欣,赵小飞,简凤麟,
申请(专利权)人:新疆东方希望新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:新疆;65
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