【技术实现步骤摘要】
一种调节气氛炉微压压力用炉顶堵头
本技术涉及一种堵头，特别涉及一种调节气氛炉微压压力用炉顶堵头。
技术介绍
目前，国内生产ITO靶材厂家多使用压力烧结的方式进行，不仅对设备的要求高，而且生产出的ITO靶材在使用过程中结瘤比较严重。日韩最早专利技术了常压烧结技术，但在烧结过程中也需要根据不同的产品进行炉内烧结压强的微调，范围在0～500pa之间。中国专利201610329366.2公开高温升降炉在炉压控制及气体流动控制中存在以下问题：虽然可以通过调节进气流量来控制炉内压力，但单靠增大进气量不仅无法保证炉内有合适的气体流动，同时又会浪费资源，故而需要对排气口的大小进行控制，方可在保证一定气体流量的同时，保证炉内压强在合格范围内。故需要研发一种结构简单、使用方便的用于调节炉顶排气口大小的装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种结构简单、使用方便的调节气氛炉微压压力用炉顶堵头，采用该堵头能够简便的对气氛炉内压力进行微调，满足常压烧结过程中不同产品对炉内烧结压力的不同需求。解决上述技...
【技术保护点】
1.一种调节气氛炉微压压力用炉顶堵头，其特征在于：包括多个截面形状为T形的堵头主体（1），该堵头主体是由用于支撑在炉顶排气通道外侧的支撑块（13）和用于卡紧在炉顶排气通道内的堵块（12）构成，堵块固定在支撑块的一侧端面上，该堵头主体上开有贯穿支撑块和堵块的通气口（11），各个堵头主体的通气口大小不同。/n
【技术特征摘要】
1.一种调节气氛炉微压压力用炉顶堵头，其特征在于：包括多个截面形状为T形的堵头主体（1），该堵头主体是由用于支撑在炉顶排气通道外侧的支撑块（13）和用于卡紧在炉顶排气通道内的堵块（12）构成，堵块固定在支撑块的一侧端面上，该堵头主体上开有贯穿支撑块和堵块的通气口（11），各个堵头主体的通气口大小不同。
2.根据权利要求1所述的一种调节气...
【专利技术属性】
技术研发人员：马超宁，姚远，史海月，陈标，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。