超声波影像系统技术方案

提供即使在探测器的移动速度是高速时也能够抑制波动的超声波影像系统。超声波影像系统具备超声波影像装置和水槽(10)，在水槽(10)的端部，配设有使在超声波影像装置的超声波探测器(20)扫描时产生的作为超声波的传播介质的液状物质的波的端部处的反射波衰减的反射波衰减单元(30)。反射波衰减单元(30)具有多个突起(32)，在超声波影像装置的超声波探测器(20)在X轴方向上扫描时，在X轴方向的水槽(10)的两端部配设有反射波衰减单元(30)。

Ultrasonic image system

【技术实现步骤摘要】
超声波影像系统
本专利技术涉及超声波影像系统。
技术介绍
超声波影像系统使用超声波影像装置，将多层构造的半导体等被检体载置到试样载置台而浸渍到在水槽等液体存积槽中积蓄的作为超声波的传播介质的液状物质，从设置于超声波影像装置的探测器对该被检体照射超声波，接收其反射波或者透射波而使对象界面影像化。该探测器一边对该被检体照射超声波，一边以预定的速度在X轴方向上从该被检体的始点(一方端点)扫描至终点(另一方端点)。在探测器到达终点后，使探测器在Y轴方向上移动预定量，在X轴方向上以预定的速度在相反方向上从始点扫描至终点。在使该探测器扫描时，产生泡、产生波动。在专利文献1中，公开了“一种超声波检查装置，具备：超声波探测器，对被检体经由水放射超声波并接收其反射波；以及扫描仪，使该超声波探测器在预定轴方向上移动来进行超声波扫描，其特征在于，设置有：水位检测器，检测水的水平面；运算单元，根据该水位检测器的检测值和超声波探测器的位置，运算探测器的淹没量；存储部，存储利用扫描仪的移动速度和淹没量的关系；以及水平面调整单元，调整水的水平面，以使在移动速度被决定时由运算单元得到的淹没量与从存储部得到的淹没量一致”。现有技术文献专利文献1：日本特开平8-136518号公报
技术实现思路
在所述专利文献1中，在该探测器的移动速度是低速时有效果，但随着成为高速，需要进一步的波动对策。在探测器在X轴方向上扫描时，其移动速度虽然还基于被检体的大小，但达到2000mm/秒(基于申请人的产品)。该探测器在水槽中积蓄的液状物质中移动，所以当然由于该移动，在液状物质表面，在探测器部前进的方向上产生波(行波)。行波碰撞到水槽的X轴方向的壁而产生反射波。反射波与该行波合成。通过反复进行该过程，形成振幅更大的驻波。其结果，在探测器部的X轴位置与驻波的变位成为最小的位置(或者附近位置)符合时，存在探测器部从液状物质向外露出的担心。在探测器部的超声波照射部从液状物质露出时，产生无法取得对象界面的影像的问题。本专利技术是鉴于所述课题而完成的，其目的在于提供一种即使在探测器的移动速度是高速时也能够抑制波动的超声波影像系统。为了达成所述目的，本专利技术的超声波影像系统的特征在于，具备超声波影像装置和水槽，在水槽的X轴方向的端部，配设有反射波衰减单元，能够使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设，使在超声波影像装置的探测器扫描的情况下产生的作为超声波的传播介质的液状物质的波在端部处的反射波衰减，反射波衰减单元包括方形形状且板状的基体和配设于该基体的单面的多个突起物，朝向探测器侧配设有突起物，在水槽的端部配设有空隙位置变更单元，该空隙位置变更单元具有使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设反射波衰减单元的插入槽。关于本专利技术的其它方案，在后记的实施方式中说明。根据本专利技术，即使在探测器的移动速度是高速时也能够抑制波动。附图说明图1是示出具有反射波衰减单元的超声波影像系统的结构的外观图。图2是示出空隙位置变更单元的结构的说明图，(a)是示出配设反射波衰减单元的方法的图，(b)是空隙位置变更单元的侧面图。图3是示出水槽内的反射波衰减单元的配设位置的俯视图。图4是示出超声波影像系统的控制系统以及信号处理系统的结构的框图。图5是示出实施例1所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的立体图。图6是示出实施例2所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的分解立体图。图7是示出实施例3所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的立体图。图8是示出实施例4所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的立体图。图9是示出实施例5所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的立体图。图10是示出实施例6所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的立体图。图11是示出实施例7所涉及的反射波衰减单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是反射波衰减单元的立体图。图12是示出实施例8所涉及的水槽侧壁顶部返回单元的构造示意图，(a)是配设于水槽时的侧面图，(b)是水槽侧壁顶部返回单元的立体图。图13是示出透射法的超声波影像装置的结构的图。图14是示出在透射法的超声波影像装置中应用实施例1所涉及的反射波衰减单元的情况的说明图。(符号说明)1：坐标系；10：水槽；11：水；11A：液状物质；12：试样载置台；15：被检体；17：检查对象保持器；20：超声波探测器；30、30A、30B、30C、30D、30E、30F、30G：反射波衰减单元；31：基体；32：突起(突起物)；37：水槽侧壁顶部返回单元；40：空隙位置变更单元；41：插入槽；50：影像显示装置；70：扫描仪装置；71：X轴扫描仪；72：Y轴扫描仪；81：第1超声波探触部(上方探测器)；82：第2超声波探触部(下方探测器)；90：超声波影像装置；100：超声波影像系统。具体实施方式适宜地参照附图，详细说明用于实施本专利技术的实施方式。图1是示出具有反射波衰减单元30的超声波影像系统100的结构的外观图。在图1中，符号1表示X、Y、Z的正交3轴的坐标系。超声波影像系统100构成为包括超声波影像装置90和水槽10。超声波影像装置90具备：超声波探测器20，进行超声波的发送接收；影像显示装置50，总体控制该超声波影像装置90而显示超声波影像；发送接收装置60(参照图4)，在与超声波探测器20之间输入输出电信号；X轴扫描仪71及Y轴扫描仪72，使超声波探测器20机械性地扫描；以及机械控制装置77(参照图4)，控制X轴扫描仪71及Y轴扫描仪72。超声波探测器20被X轴扫描仪71以及Y轴扫描仪72支承，浸渍到在水槽10中盛满的水11，以与被检体15相向的方式配置。此外，超声波探测器20的Z轴扫描仪省略。在水槽10内注入有水11，在该水11中以淹没状态放置被检体15。水槽10内的水11是作为为了使从超声波探测器20(超声波探头)的下端的开口面放射的超声波在被检体15的内部高效地传播而所需的传播介质的液状物质。被检体15是包括例如晶片、多层构造(或者层叠构造)等的半导体封装。超声波探测器20是用保持器73支持而设置的。保持器73安装于X轴扫描仪71。超声波探测器20被浸渍到在水槽10中充满的水11，以在被检体120的上部Z方向上隔开预定的距离而相向的方式配置。臂状的X轴扫描仪71具有使保持器18在X轴方向上移动的功能，Y轴扫描仪72具有使X轴扫描仪71在Y轴方向上移动的功能。由X轴扫描仪71和Y轴扫描仪72构成扫描仪装置70。能够通过该扫描仪本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波影像系统，其特征在于，/n具备超声波影像装置和水槽，/n在所述水槽的X轴方向的端部配设有反射波衰减单元，该反射波衰减单元能够使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设，使在所述超声波影像装置的探测器扫描的情况下产生的作为超声波的传播介质的液状物质的波在所述端部处的反射波衰减，/n所述反射波衰减单元包括方形形状且板状的基体和配设于该基体的单面的多个突起物，所述突起物朝向所述探测器侧配设，/n在所述水槽的端部配设有空隙位置变更单元，该空隙位置变更单元具有使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设所述反射波衰减单元的插入槽。/n

【技术特征摘要】
20180702 JP 2018-1258011.一种超声波影像系统，其特征在于，
具备超声波影像装置和水槽，
在所述水槽的X轴方向的端部配设有反射波衰减单元，该反射波衰减单元能够使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设，使在所述超声波影像装置的探测器扫描的情况下产生的作为超声波的传播介质的液状物质的波在所述端部处的反射波衰减，
所述反射波衰减单元包括方形形状且板状的基体和配设于该基体的单面的多个突起物，所述突起物朝向所述探测器侧配设，
在所述水槽的端部配设有空隙位置变更单元，该空隙位置变更单元具有使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设所述反射波衰减单元的插入槽。


2.一种超声波影像系统，其特征在于，
具备超声波影像装置和水槽，
在所述水槽的X轴方向的端部配设有反射波衰减单元，该反射波衰减单元能够使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设，使在所述超声波影像装置的探测器扫描的情况下产生的作为超声波的传播介质的液状物质的波在所述端部处的反射波衰减，
所述反射波衰减单元包括方形形状且板状的基体和配设于该基体的单面的多个突起物，在所述基体中具有成为流路的多个开口，
所述突起物朝向所述水槽的端部侧配设，
在所述水槽的端部配设有空隙位置变更单元，该空隙位置变更单元具有使与X轴方向的两侧内壁面的空隙位置变化地配设所述反射波衰减单元的插入槽。


3.根据权利要求1或者2所述的超声波影像系统，其特征在于，
在所述探测器在X轴方向上扫描1行线的量之后在Y轴方向上在扫描位置扫描的情况下，在所述反射波衰减单元中，所述突起物中的至少一个比作为影像取得对象的被检体在Y轴方向的始点位置处于更外侧，所述突起物中的至少一个比所述被检体在Y轴方向的终点位置处于更外侧。


4.根据权利要求3所述的超声波影像系统，其特征在于，
在所述反射波衰减单元中，在铅直方向上，所述突起物中的至少一个比所述水槽内的液状物质的表面处于更上侧的高度位置。


5.根据权利要求3所述的超声波影像系统，其特征在于，
在所述反射波衰减单元中，
在所述超声波影像装置的测定模式是反射法时，在铅直方向上，所述突起物中的至少一个比被检体的载置台的下侧表面处于更下侧的高度位置，
在所述超声波影像装置的测定模式是透射法时，在铅直方向上，所述突起物中的至少一个比下侧探测器部的下端部处于更下侧的高度位置。


6.根据权利要求4所述的超声波影像系统，其特征在于，
在所述反射波衰减单元中，
在所述超声波影像装置的测定模式是反射法时，在铅直方向上，所述突起物中的至少一个比被检体的载置台的下侧表面处于更下侧的高度位置，
在所述超声波影像装置的测定模式是透射法时，在铅直方向上，所述突起物中的至少一个比下侧探测器部的下端部处于更下侧的高度位置。


7.根据权利要求1或者2所述的超声波影像系统，其特征在于，
所述超声波影像系统具有将所述探测器在X轴方向上扫描1行线的量之后在Y轴方向上在扫描位置扫描的扫描仪，
在Y轴方向上，所述反射波衰减单元的一方端边至少比作为影像取...

【专利技术属性】
技术研发人员：富田隆，北见薰，菅谷夏树，伊藤正一，
申请(专利权)人：株式会社日立电力解决方案，
类型：发明
国别省市：日本;JP