一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；镜面设置在测量腔内；镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分，影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温，减少气路管道内壁材料吸附水份的含量，提高露点测量速度。

A gas path system for the rapid measurement of very low dew point by cold mirror method

【技术实现步骤摘要】
一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统
本专利技术涉及冷镜法气体露点检测领域，尤其是一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统。
技术介绍
气体的露点温度是指气体在水汽含量和气压都不改变的条件下，冷却到饱和时的温度。现有的露点检测技术中，常用的自调节气路装置中主要是用MFC（气体质量流量计）自动控制各种清洁干燥气体的流量，质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成，能方便准确地监测管道中流动的各种气体，使用方便，目前计量系统在露点检测系统中，一般在露点检测设备气路的上游安装MFC控制气体流量，MFC在其承受压力指标范围内，气体压力波动时，可快速自调节其阀门开度，调整气体流量至设定流量，保证下游气体压力和流量平稳。气路管道和附件（接头、阀门等）内表面材料吸附的水分会随着气流通过时逐渐缓慢释放，可能会影响气体真实露点的测量。计量机构的测量工作一般是在恒温恒湿的实验室内进行，该工况下，对-80℃左右露点温度的气源进行检测，一般计量系统要求对气路管道吹除24小时以上，避免由于其内表面材料吸附的水分释放、影响露点检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，其特征是：包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；所述镜面设置在测量腔内；所述镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；所述不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；所述不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；所述质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，其特征是：包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口；所述镜面设置在测量腔内；所述镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接；所述不锈钢进气管道一端与进气口连接，另一端与测量腔连通；所述不锈钢出气管道一端与出气口连接，另一端与测量腔连通；所述质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。


2.根据权利要求1所述的一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统，其特征是：所述不锈钢进气管道靠近测量腔的一侧的末端外部安装有高效散热...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋巍巍，顾正华，盖文，刘向波，韩杰，梁文清，张文清，顾光武，曾星，
申请(专利权)人：中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所，江苏鸿源动力科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51