一种液态源的储存装置制造方法及图纸

一种液态源的储存装置，包括不锈钢源罐和放置于源罐内部的石英罐，源罐的顶部设有上盖，上盖上有进液管和出口管，石英罐的底部设有两个加厚部，加厚部之间为凹槽，补液管分别穿过源罐和石英罐设于凹槽内。本实用新型专利技术的优点是：在不锈钢源罐中内置石英罐，防止液态源对铁氟龙涂层的腐蚀，保证了液态源的清洁；石英罐表面平滑且附件少易清洗，补液管设于石英罐底部，可以减少补充液对石英罐内的液态源压力和温度的变化，保证液态源的储存环境。

【技术实现步骤摘要】
一种液态源的储存装置
本技术涉及储存装置领域，尤其涉及一种液态源的储存装置。
技术介绍
随着半导体行业的迅速发展，半导体硅片产能日趋扩大，半导体硅片生产用的源罐为不锈钢材质，内部镀有铁氟龙涂层，铁氟龙涂层一定时间后会产生收缩和脱落现象，对液态源造成污染，也会对硅片造成伤害；且源罐清洗频次较大，清洗过程中清洗剂的腐蚀和无尘布的反复擦拭，也会引起涂层的脱落，因此本专利技术提供一种液态源的储存装置，能够保证液态源的清洁和硅片的完整。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种液态源的储存装置。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种液态源的储存装置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的两端设有两个加厚部，所述加厚部之间的凹槽上设有补液管，所述源罐设有上盖，所述上盖上设有进液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。进一步地，所述石英罐内设有液位计，所述补液管上设有控制阀，所述液位计通过所述控制阀控制所述补液管开关。具体的，所述液位计为浮球液位计。进一步地，所述石英罐本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液态源的储存装置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的两端设有两个加厚部，所述加厚部之间的凹槽上设有补液管，所述源罐设有上盖，所述上盖上设有进液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种液态源的储存装置，其特征在于：包括源罐和放置于所述源罐中的石英罐，所述石英罐底部的两端设有两个加厚部，所述加厚部之间的凹槽上设有补液管，所述源罐设有上盖，所述上盖上设有进液管和出口管，所述出口管的底端延伸至所述凹槽。


2.根据权利要求1所述的一种液态源的储存装置，其特征在于：所述石英罐内设有液位计，所述补液管上设有控制阀，所述液位计通过所述控制阀控制所述补液...

【专利技术属性】
技术研发人员：史丽萍，徐长坡，陈澄，李亚哲，陈凯，谢依烨，陈春江，梁效峰，杨玉聪，王浩，
申请(专利权)人：天津环鑫科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12