用于硅片的吸片传动机构制造技术

技术编号:23012109 阅读:23 留言:0更新日期:2020-01-03 14:45
本申请公开了一种用于硅片的吸片传动机构,包括机架,机架内设有依次衔接的水平输送装置和第二输送装置,第二输送装置包括第二传动轴、第三传动轴和主动轴,第二传动轴上固定套设有底部从动轮,第三传动轴上固定套设有中部从动轮,主动轴上固定套设有主动轮,底部从动轮的外侧、中部从动轮的外侧以及主动轮的外侧绕设有第二传送带,底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带垂直设置且与水平输送装置衔接,中部从动轮与主动轮之间的第二传送带水平设置,中间传动轮为大直径齿轮。该机构通过大直径齿轮来增加硅片分片输送过程中角度变化时的行程,使得硅片平缓的进行角度转换,避免出现碎片的现象,减少碎片率,提高经济效益。

Driving mechanism for wafer suction

【技术实现步骤摘要】
用于硅片的吸片传动机构
本申请涉及硅片领域,特别是一种用于硅片的吸片传动机构。
技术介绍
在光伏或半导体领域,硅片的分片及输送通过配合的输送带进行,往往通过垂直的输送带将竖直状态的硅片转变为水平状态的硅片,在此过程中,硅片经过垂直的输送带进行角度转换时,由于输送带的角度趋向于垂直而容易导致硅片在变化角度的输送过程中丢失平衡,掉落至输送带上或者直接脱落,导致硅片产生碎片的现象,从而增加成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于硅片的吸片传动机构,以克服现有技术中的不足。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:本申请实施例公开了一种用于硅片的吸片传动机构,其特征在于:包括机架,所述机架内设有水平输送装置以及与水平输送装置衔接的第二输送装置,所述第二输送装置包括平行设置的第二传动轴、第三传动轴和主动轴,所述第二传动轴上固定套设有一对底部从动轮,所述第三传动轴上固定套设有一对中部从动轮,所述主动轴上固定套设有一对主动轮,一对所述底部从动轮的外侧、一对中部从动轮的外侧以及一对主动轮的外侧绕设有第二传送带,所述底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带垂直设置且与水平输送装置衔接,所述中部从动轮与主动轮之间的第二传送带水平设置,所述底部从动轮与中部从动轮之间设有吸片盒,所述吸片盒朝向底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带设置,所述中部从动轮设置在水平输送装置的正上方,所述主动轮设置在底部从动轮的右上方,所述中间传动轮为大直径齿轮。优选的,在上述的一种用于硅片的吸片传动机构中,所述第二传送带的背面设有配合中间传动轮的齿。优选的,在上述的一种用于硅片的吸片传动机构中,所述第二传送带上设有配合吸片盒的通孔。优选的,在上述的一种用于硅片的吸片传动机构中,所述主动轴的一端通过皮带和皮带轮与驱动电机连接。优选的,在上述的一种用于硅片的吸片传动机构中,所述水平输送装置包括一对第一传动轴,每个所述第一传动轴的两端设有第一传动轮,位于同侧的两个所述第一传动轮的外侧绕设有第一传送带,所述水平输送装置水平设置,所述底部从动轮的高度不高于第一传动轮,所述第二传送带设置在两根第一传送带之间,其中一根所述第一传动轴的端口连接有驱动装置。与现有技术相比,本专利技术的优点在于:该机构通过大直径齿轮来改变硅片分片输送过程中角度变化时的弧度,使得硅片平缓的沿着大直径齿轮的外圆周进行角度变换,坡度小,避免出现碎片的现象,减少碎片率,提高经济效益。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本专利技术具体实施例中用于硅片的吸片传动机构的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行详细的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。参图1示,本实施例中的用于硅片的吸片传动机构,包括机架1,机架1内设有水平输送装置2以及与水平输送装置2衔接的第二输送装置3,第二输送装置3包括平行设置的第二传动轴301、第三传动轴302和主动轴303,第二传动轴301上固定套设有一对底部从动轮304,第三传动轴302上固定套设有一对中部从动轮305,主动轴303上固定套设有一对主动轮306,一对底部从动轮304的外侧、一对中部从动轮305的外侧以及一对主动轮306的外侧绕设有第二传送带307,底部从动轮304与中部从动轮305之间的第二传送带307垂直设置且与水平输送装置2衔接,中部从动轮305与主动轮306之间的第二传送带307水平设置,底部从动轮304与中部从动轮305之间设有吸片盒4,吸片盒4朝向底部从动轮304与中部从动轮305之间的第二传送带307设置,中部从动轮305设置在水平输送装置2的正上方,主动轮306设置在底部从动轮304的右上方,中间传动轮305为大直径齿轮。进一步的,主动轴303的一端通过皮带和皮带轮与驱动电机(图中未画出)连接。进一步的,水平输送装置2包括一对第一传动轴201,每个第一传动轴201的两端设有第一传动轮202,位于同侧的两个第一传动轮202的外侧绕设有第一传送带203,水平输送装置2水平设置,底部从动轮304的高度不高于第一传动轮202,第二传送带307设置在两根第一传送带203之间,其中一根第一传动轴201的端口连接有驱动装置(图中未画出)。在该技术方案中,吸片盒为常规技术中用于吸附硅片的负压吸附装置,该机构通过大直径齿轮来改变硅片分片输送过程中角度变化时的弧度,使得硅片平缓的沿着大直径齿轮的外圆周进行角度变换,坡度小,避免出现碎片的现象,减少碎片率,提高经济效益在一实施例中,第二传送带307的背面设有配合中间传动轮的齿。在该技术方案中,通过齿与大直径齿轮相互啮合,避免输送带打滑。在一实施例中,第二传送带307上设有配合吸片盒的通孔。在该技术方案中,保证垂直输送时的吸片效果。需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。以上仅是本申请的具体实施方式,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种用于硅片的吸片传动机构,其特征在于:包括机架,所述机架内设有水平输送装置以及与水平输送装置衔接的第二输送装置,所述第二输送装置包括平行设置的第二传动轴、第三传动轴和主动轴,所述第二传动轴上固定套设有一对底部从动轮,所述第三传动轴上固定套设有一对中部从动轮,所述主动轴上固定套设有一对主动轮,一对所述底部从动轮的外侧、一对中部从动轮的外侧以及一对主动轮的外侧绕设有第二传送带,所述底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带垂直设置且与水平输送装置衔接,所述中部从动轮与主动轮之间的第二传送带水平设置,所述底部从动轮与中部从动轮之间设有吸片盒,所述吸片盒朝向底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带设置,所述中部从动轮设置在水平输送装置的正上方,所述主动轮设置在底部从动轮的右上方,所述中间传动轮为大直径齿轮。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片的吸片传动机构,其特征在于:包括机架,所述机架内设有水平输送装置以及与水平输送装置衔接的第二输送装置,所述第二输送装置包括平行设置的第二传动轴、第三传动轴和主动轴,所述第二传动轴上固定套设有一对底部从动轮,所述第三传动轴上固定套设有一对中部从动轮,所述主动轴上固定套设有一对主动轮,一对所述底部从动轮的外侧、一对中部从动轮的外侧以及一对主动轮的外侧绕设有第二传送带,所述底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带垂直设置且与水平输送装置衔接,所述中部从动轮与主动轮之间的第二传送带水平设置,所述底部从动轮与中部从动轮之间设有吸片盒,所述吸片盒朝向底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带设置,所述中部从动轮设置在水平输送装置的正上方,所述主动轮设置在底部从动轮的右上方,所述中间传动轮为大直径齿轮。


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【专利技术属性】
技术研发人员:陈宏
申请(专利权)人:张家港市超声电气有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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