一种氦气压缩净化系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种氦气压缩净化系统，属于氦气压缩技术领域，所述气路回路、冷却回路以及回油回路的涡旋式压缩机的进口端管路由三根管路合并为一根管路，并设于涡旋式压缩机的顶部非中心位置；所述冷却回路的涡旋式压缩机的出口端管路设于涡旋式压缩机底部；所述回油回路的油气分离器的进口端管路设于油气分离器顶部；所述回油回路的油气分离器的出口端管路设于油气分离器顶部，并伸入至油气分离器底部。本实用新型专利技术的一种氦气压缩净化系统，结构简单、制造成本低、散热优良、安全可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种氦气压缩净化系统
本技术属于氦气压缩
，具体地说涉及一种氦气压缩净化系统。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。作为低温泵的重要组成部分的氦气压缩设备，为制冷机提供纯净的氦气。如何使该氦气压缩设备结构简单、制造成本低、散热优良、安全可靠，仍亟待解决。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述不足之处提供一种氦气压缩净化系统，拟解决如何使氦气压缩设备结构简单、制造成本低、散热优良、安全可靠的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种氦气压缩净化系统，包括气路回路和双油路回路；所述气路回路至少由涡旋式压缩机1、换热器2、油气分离器3、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氦气压缩净化系统，其特征在于：包括气路回路和双油路回路；所述气路回路至少由涡旋式压缩机(1)、换热器(2)、油气分离器(3)、吸附器(4)、制冷机(5)、平衡罐(6)依次通过管路串联闭环而成；所述双油路回路包括冷却回路和回油回路；所述冷却回路至少由涡旋式压缩机(1)、换热器(2)依次通过管路串联闭环而成；所述回油回路至少由涡旋式压缩机(1)、换热器(2)、油气分离器(3)依次通过管路串联闭环而成；所述气路回路、冷却回路以及回油回路的涡旋式压缩机(1)的进口端管路由三根管路合并为一根管路，并设于涡旋式压缩机(1)的顶部非中心位置；所述冷却回路的涡旋式压缩机(1)的出口端管路设于涡旋式压缩...

【技术特征摘要】
1.一种氦气压缩净化系统，其特征在于：包括气路回路和双油路回路；所述气路回路至少由涡旋式压缩机(1)、换热器(2)、油气分离器(3)、吸附器(4)、制冷机(5)、平衡罐(6)依次通过管路串联闭环而成；所述双油路回路包括冷却回路和回油回路；所述冷却回路至少由涡旋式压缩机(1)、换热器(2)依次通过管路串联闭环而成；所述回油回路至少由涡旋式压缩机(1)、换热器(2)、油气分离器(3)依次通过管路串联闭环而成；所述气路回路、冷却回路以及回油回路的涡旋式压缩机(1)的进口端管路由三根管路合并为一根管路，并设于涡旋式压缩机(1)的顶部非中心位置；所述冷却回路的涡旋式压缩机(1)的出口端管路设于涡旋式压缩机(1)底部；所述回油回路的油气分离器(3)的进口端管路设于油气分离器(3)顶部；所述回油回路的油气分离器(3)的出口端管路设于油气分离器(3)顶部，并伸入至油气分离器(3)底部。


2.根据权利要求1所述的一种氦气压缩净化系统，其特征在于：所述平衡罐(6)和涡旋式压缩机(1)之间的管路上设有支路一(8)和支路二(9)；所述支路一(8)和支路二(9)连至油气分离器(3)和吸附器(4)之间的管路上；所述支路一(8)上设有电磁阀(81)；所述支路二(9)上设有溢流阀(91),所述油气分离器(3)上设有安全阀。


3.根据权利要求1所述的一种氦气压缩净化系统，其特征在于：所述冷却回路上设有油量控制器(11)和油过滤器(12)；所述回油回路中油气分离器(3)至涡旋式压缩机(1)的管路上也设有油量控制器(11),所述油量控制器(11)为带孔结构的阀门。

【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇，陈刚，
申请(专利权)人：成都黄金地真空技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51