【技术实现步骤摘要】
一种非直线互联真空管道间的样品中转装置
本技术涉及在真空互联管道中的样品转移装置，尤其是提出一种在非直线互联的管道中载样小车的引导和转向装置。
技术介绍
在物理、材料、化学的研究工作中，涉及大量薄膜的生长与表征。在真空生长腔内完成生长薄膜之后，为防止薄膜在转移到表征腔的过程中被污染，传统的方法是，在薄膜表面覆盖一层保护层，再在表征腔内用加热或离子溅射的方法去掉保护层。这种方法较为繁琐，而且很难保证处理后的薄膜不受到损伤。因此，将生长和表面表征需要的各个腔室通过超高真空管道连接起来成为一种高效的解决方案。它不仅能避免薄膜在各个真空腔室之间转移时与空气接触被氧化，减少薄膜表面杂质的吸附，还能免除传统方法带来的损失，从而保证薄膜表面的结构完整和性质一致，提高测试的可行性和准确性。现有的真空互联管道都是直通管道，管道中设有导轨，样品通过导轨上的载样小车进行传送。然而，在一个长的直线管道上连接上多个真空腔室，所占的面积大，空间利用度小，在室内空间有限时难以实现多个真空腔室的互联。例如本申请人的在先申请CN20181046441...
【技术保护点】
1.一种非直线互联真空管道间的样品中转装置，其特征是，设有一中转腔位于若干条不同直线上的真空直通管道的交叉点位置，此中转腔的侧面设有法兰将若干不都在同一直线上的真空直通管道连接到中转腔，中转腔的底部有一转盘，转盘的转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，旋钮能使转盘旋转，转盘上设有导轨；中转腔内靠近直通管道的位置有一齿轮，通过腔外旋钮使齿轮旋转；载样小车在直通管道内部导轨上运行，直通管道内部导轨与转盘上设有的导轨在同一平面上；在直通管道中载样小车是通过管道外部设有导轨上的磁铁引导移动。/n
【技术特征摘要】
1.一种非直线互联真空管道间的样品中转装置，其特征是，设有一中转腔位于若干条不同直线上的真空直通管道的交叉点位置，此中转腔的侧面设有法兰将若干不都在同一直线上的真空直通管道连接到中转腔，中转腔的底部有一转盘，转盘的转轴延伸到腔外，腔外设有与转轴固定的旋钮，旋钮能使转盘旋转，转盘上设有导轨；中转腔内靠近直通管道的位置有一齿轮，通过腔外旋钮使齿轮旋转；载样小车在直通管道内部导轨上运行，直通管道内部导轨与转盘上设有的导轨在同一平面上；在直通管道中载样小车是通过管道外部设有导轨上的磁铁引导移动。
2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：何亮，赖柏霖，杜强强，邹文琴，阮学忠，黎遥，刘文卿，徐高翔，徐永兵，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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