用于制造工具和其他设备的可调支撑件制造技术

一个可调支撑架（３０）支撑基底上方的设备。主体（５６）具有一个螺纹套管（５８）。轴（６０）具有一个支撑该设备的支撑端和一个拧入主体的螺纹套管来调节支撑件高度的螺纹端。隔离支承组件（７０）安置在轴的支撑端，提供该设备的隔离。四条腿（４６）连接到主体上。每条腿具有一个垂直的槽式元件（８０）和一个对角斜撑件（９０），该槽式元件（８０）与基底接触，该对角斜撑件（９０）将垂直槽式元件结合到主体。这些腿的长度是可以独立延伸的。腿伸长组件（１１６）可以用于伸长支撑架的高度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总的来说涉及设备支撑件，特别涉及用于制造工具和其他设备的可调支撑件。
技术介绍
半导体器件通常用在多种类型的电子产品和消费品的电路构造中。集成电路和半导体器件在使用高专用化和所有权的设备和加工过程的专门结构的工厂被制造。单独的半导体元件的小本质包括高集成电路，高可靠性以及它们对污染的敏感度的要求需要使用除尘室和专用的制造工具。用于半导体制造的工具和设备通常放在两个种类之一产生振动的工具和接收振动的工具。振动产生工具的例子包括化学机械抛光机(CMP)和其他转动或摆动机器。对振动敏感的工具的例子包括光学器件，例如燃烧工具和蚀刻器、扫描电子显微镜和检查工具。半导体除尘室通常设计具有升高的地板，该地板构造具有许多矩形板，这些矩形板悬置在混凝土基层、分级厚板或者其他坚实的基底之上。升高的地板设有电路、布线、管道、通风、管道支架和排水系统的通道，上述的电路、布线等沿基底并围绕基底延伸。在除尘室中的半导体制造工具和其他设备必须安装到工作台、底板、支架或者其他组件上，以稳定和牢固的方式在活地板之上支撑工具的质量，并使设备之间的任何振动的传递最小化。如果源于转动机器的任何振动被传递到振动敏感设备，由这种振动敏感设备进行的制造过程可能被损坏。例如，许多光学燃烧器或蚀刻器是纳米级的高精度工具。设备中的任何振动可以引起跳动或模糊光学焦点并产生集成电路中的缺陷。制造工具经常安装到由刚性支座或“象腿”支撑的工作台或底板，所述支座或“象腿”是位于工具工作台的每个角或支撑面积下的短支架。升起的地板安置在设备支撑件周围。现有技术的支座的一个例子如图1所示。制造工具10，如半导体除尘室中的CMP，由调平器支腿12支撑，每个支腿12具有脚14。调整螺母16转动以伸长和缩短支腿12，平衡制造工具10并为其提供支撑。另一个已知的工具支撑件使用了一个刚性的焊接框架组件来支撑重型设备，例如，在数百到数千磅的范围。工具支撑件使用一个相互连接的槽钢形成的框架结构，它们是被焊接或用螺栓固定到基底上。每个框架组件通常定制而建造，以便装配在基底上的现有结构中和其周围，例如管道、水渠和排水管。框架组件很重，而且修建和维修都很费时并昂贵，并且易于增加除尘室环境的污染。框架组件的刚性构造使得在设备和除尘室布置中的移动或改变变得困难和不灵活。如果需要移动设备，经常需要对于框架组件重要的计划和重新工作，以满足基底坡度和排水系统的要求，并避开在新区域内的已有结构和障碍。很多时候，框架组件必须完全重建。即使有仔细的测量和设计，由于许多商人进入和接触除尘室地板通道空间，也可以引起不可预见的复杂性。
技术实现思路
在一个实施例中，本专利技术是一个用于支撑基底上方的设备的支撑件，该支撑件包括具有一个螺纹套管的主体；轴，该轴具有一个支撑该设备的支撑端和一个拧入主体的螺纹套管来调节支撑架高度的螺纹端；以及结合到主体的第一、第二和第三腿，其中每条腿包括一个垂直的槽式元件和一个对角斜撑件，该槽式元件与基底接触，该对角斜撑件将垂直槽式元件结合到主体。在另一个实施例中，本专利技术是一个可调高度的设备支撑架，包括一个主体和结合到该主体的第一、第二和第三腿，该主体具有一个螺旋拧入主体中的可伸长的轴，其中每条腿具有一个垂直的槽式元件和一个将垂直槽式元件结合到主体的对角斜撑件。在又一个实施例中，本专利技术是用于支撑基底上方的设备的方法，包括提供一个用于支撑该设备的轴，转动穿过主体的轴的螺纹端以便升高和降低该设备，以及用第一、第二和第三腿支撑该主体，其中每条腿具有一个与基底相接触的垂直槽件和一个将垂直槽件结合到主体的对角斜撑件。附图说明图1示出了现有技术的制造工具的支撑件；图2示出了带有活地板和工具支座组件的半导体除尘室；图3a-3c示出了支撑半导体制造工具的四腿组件；图4a和图4b示出了四腿组件的特征；图5a和图5b示出了带有更短的腿的四腿组件；图6a和图6b示出了带有振动隔离支承组件和系紧杆的四腿组件；图7a和图7b示出了具有腿延长件的四腿组件；图8a和8b示出了四腿组件头部件；图9a和9b示出了带有垂直管状件和对角斜撑件的腿部件；图10a-10c示出了带有不同kick angle结构的对角斜撑件；图11a和11b示出了用于将管螺丝锁定在位的锁紧螺母；图12示出了用于减少四腿组件头部件的轮缘直径的接头圆盘；图13示出了用于四腿组件头部件的旋转头组件； 图14示出了电缆系紧组件；图15示出了钩环和链系紧组件；以及图16a和图16b示出了用于手动转动管螺丝的活动扳手。具体实施例方式半导体制造除尘室区域如图2所示。活地板20包括多个矩形板22，矩形板由支架24所支撑，支架24被搁在混凝土基层、分级厚板或者其他坚实的基底25上。板22可以是24平方英寸，由铝制造。活地板20围绕工具支座组件26。工具支座组件26包括一个底板或工作台28，在底板或工作台28上安装半导体制造工具或设备。底板28由四个支撑组件30(下文称为四腿组件)支撑，这些支撑组件30与基底25接触。底板28高出邻近的活地板面板22，或者与邻近的活地板面板22齐平。对角支杆32、直拉杆34和对角地板斜撑杆36通过将四腿组件30作为一个刚性的支柱结构的支撑框架系统保持在一起，为工具支座组件26提供了刚性。四腿组件30是负载的工具架或支撑件，适于在半导体设备上的除尘室安装，该半导体设施用于安装制造工具和其他设备。四腿组件30构造有除尘室相容材料和保护涂层。半导体制造工具包括已知的用于产生振动的设备如化学机械抛光机(CMP)和其他转动和摆动机器，以及对振动敏感的设备如光学燃烧工具和蚀刻器、扫描电子显微镜和检查工具。制造工具可以安装在刚性底板28上，底板28由一个或多个四腿组件30支撑。作为另一种选择，制造工具40可以直接安装到一个或多个四腿组件30上，如图3a所示。四腿组件30位于制造工具40的每个角或其他加载面下方，以保持工具在基底25上方的理想高度。图3b进一步表示支撑制造工具40的一个角的四腿组件30的细节。四腿组件30的高度可被调整为，制造工具40的底面位于活地板20之下、与其平齐或在其之上。活地板20可以容易地放置在制造工具40的所有侧，以便方便的接近该设备。图3c示出了位于活地板20上面的、带有四腿组件30的制造工具40，四腿组件30穿过一个活地板面板20中的切口延伸，以便支撑制造工具的一个角。图4a示出了四腿组件30的进一步的细节。四腿组件30包括四条腿46，每个都具有调平器螺丝和旋转角组件48。在其他实施例中，四腿组件30可能具有三条腿46或五条或更多的腿46。调平器螺丝的螺丝杆被旋入螺母50，该螺母50被焊接在每条腿46的底部上。地震夹或带52由螺母50锁定，在地震的情况下，或假如工具支座组件26震动或碰撞，它将四腿组件30稳固地锚固到基底25。旋转脚适合于基底上用于排水的坡度。腿46是焊接的钢管和管部件，具有一个垂直管或者槽式元件80和一个对角斜撑件90。腿46的对角斜撑件用销或插孔安装到头部或主体56。头部56具有一个螺纹套管58。管螺丝60是外螺纹插孔螺丝轴，用于支撑、提升和使制造工具40和/或底板28水平。管螺丝60拧入具有内螺纹的套管58中。为了在重载下升高容易，车缧纹为方形轮廓、小螺距并有特富龙(tefl本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于支撑基底上的设备的支撑件，包括：一个具有螺纹套管的主体；一根轴，该轴具有一个支撑该设备的支撑端和一个拧入主体的螺纹套管来调节支撑件高度的螺纹端；以及结合到主体的第一、第二和第三腿，其中每条腿包括一个垂直的槽式 元件和一个对角斜撑件，该槽式元件与基底接触，该对角斜撑件将垂直槽式元件结合到主体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐尔塔A凯梅尼，
申请(专利权)人：曲格莱维蒂事业有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]