一种多角度观测辅助装置制造方法及图纸

技术编号:22865113 阅读:51 留言:0更新日期:2019-12-18 04:39
本实用新型专利技术公开了一种多角度观测辅助装置,包括底板(9)和固定在底板(9)上的X向导向块(1)、Y向导向块(3)和角度块(7);产品载台(2)通过转轴及轴承(8)与X向导向块(1)和Y向导向块(3)滑动连接,小角度调节旋钮(4)通过小角度调节丝杆(5)与固定在底板(9)一侧的第一节丝杆安装座(6)连接,第一节丝杆安装座(6)与角度块(7)紧靠,大角度调节旋钮(12)通过大角度调节丝杆(11)与固定在底板(9)另一侧上方的第二节丝杆安装座(10)连接,从第二节丝杆安装座(10)伸出去的部分与产品载台(2)紧靠。本实用新型专利技术能够通过调节丝杆改变载台角度,实现多角度的观测,方便灵活,通用性强。

An auxiliary device for multi angle observation

【技术实现步骤摘要】
一种多角度观测辅助装置
本技术涉及石英晶片观察不同角度侧面形貌领域,尤其是涉及一种多角度观测辅助装置。
技术介绍
石英晶体加工过程中,要判断wafer侧面形貌的,或者说看被观察物的切口/断口情况,传统的观察方法是固定的角度块配合显微镜来完成,所以无法适应产品角度的变化,使用不方便,不同角度要做不同的角度块,且需要频繁跟换,这种操作麻烦,灵活定差,角度块不便管理,且成本较高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种多角度观测辅助装置,在底板上各安装一组X和Y方向的导向块,产品载台通过转轴及轴承安装在两组导向块的导向槽内,使载台在两组导向槽内可以移动,旋转固定在丝杠上的旋钮,丝杠通过固定的丝杆座,左右移动,丝杆前段作用在载台上,使载台角度发生变化,从而达到产品不同角度的观测,方便灵活,通用性强。大角度调节丝杆实现大角度调节,小角度调节丝杆通过固定在上面的角度块来实现小角度的调节。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种多角度观测辅助装置,包括底板和固定在底板上的X向导向块、Y向导向块和角度块;产品本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多角度观测辅助装置,其特征在于:包括底板(9)和固定在底板(9)上的X向导向块(1)、Y向导向块(3)和角度块(7);产品载台(2)通过转轴及轴承(8)与X向导向块(1)和Y向导向块(3)滑动连接,小角度调节旋钮(4)通过小角度调节丝杆(5)与固定在底板(9)一侧的第一节丝杆安装座(6)连接,第一节丝杆安装座(6)与角度块(7)紧靠,大角度调节旋钮(12)通过大角度调节丝杆(11)与固定在底板(9)另一侧上方的第二节丝杆安装座(10)连接,从第二节丝杆安装座(10)伸出去的部分与产品载台(2)紧靠。/n

【技术特征摘要】
1.一种多角度观测辅助装置,其特征在于:包括底板(9)和固定在底板(9)上的X向导向块(1)、Y向导向块(3)和角度块(7);产品载台(2)通过转轴及轴承(8)与X向导向块(1)和Y向导向块(3)滑动连接,小角度调节旋钮(4)通过小角度调节丝杆(5)与固定在底板(9)一侧的第一节丝杆安装座(6)连接,第一节丝杆安装座(6)与...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖小明李辉宋嵩
申请(专利权)人:成都泰美克晶体技术有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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