【技术实现步骤摘要】
一种调整磁悬浮涡轮分子泵动平衡的新方法
本专利技术涉及真空设备
,具体为一种调整磁悬浮涡轮分子泵动平衡的新方法。
技术介绍
随着现代工业的飞速发展,对旋转机械提出了越来越苛刻的性能要求,主要表现在作为机械核心部件的转子要求旋转速度和精度越来越高。由于磁悬浮涡轮分子泵不仅是高精密设备,而且涡轮转子要求在高速下工作,其转子的不平衡引起的振动十分显著,将会影响分子泵的性能和工作环境,严重时可引起破坏,给用户带来极大的安全危害和经济损失。因此,必须对磁悬浮涡轮分子泵的转子进行严格的动平衡。随着计算机技术、高精度传感技术和精密控制技术的发展,磁悬浮涡轮分子泵动平衡的方法多种多样,但不管采用哪种动平衡方法,都必须包含整机动平衡的方法。国际标准ISO1940-1973(E)“刚体旋转体的平衡精度”中规定,要求平衡精度为G0.4及以上精度的精密转子,必须使用现场动平衡,否则平衡毫无意义。转子现场动平衡又称整机动平衡。整机动平衡是对转子在其工作状态或接近工作状态下的振动进行检测和分析,推断它在平衡面上的等效不平衡量幅值和 ...
【技术保护点】
1.一种调整磁悬浮涡轮分子泵动平衡的新方法,包括以下步骤:其特征在于:/n步骤A:启动电机升速至预定的平衡转速ω并稳定后,分别记录第一平衡面和第二平衡面处的初始不平衡量幅值和相位;/n步骤B:关机,在第一平衡面上加试重m;/n步骤C:启动电机升速至预定的平衡转速ω并稳定后,分别记录第一平衡面和第二平衡面处加试重m后的不平衡量幅值和相位;/n步骤D:包括以下步骤:/n1)分别计算出第一平衡面和第二平衡面处所需的平衡质量和相位;/n2)将第二平衡面处的平衡质量和相位等效到第一平衡面,再与第一平衡面处的平衡质量和相位进行矢量合成和分解后,计算出顶部第一平衡面处所需的平衡质量和相位。/n
【技术特征摘要】
1.一种调整磁悬浮涡轮分子泵动平衡的新方法,包括以下步骤:其特征在于:
步骤A:启动电机升速至预定的平衡转速ω并稳定后,分别记录第一平衡面和第二平衡面处的初始不平衡量幅值和相位;
步骤B:关机,在第一平衡面上加试重m;
步骤C:启动电机升速至预定的平衡转速ω并稳定后,分别记录第一平衡面和第二平衡面处加试重m后的不平衡量幅值和相位;
步骤D:包括以下步骤:
1)分别计算出第一平衡面和第二平衡面处所需的平衡质量和相位;
2)将第二平衡面处的平衡质量和相位等效到第一平衡面,再与第一平衡面处的平衡质量和相位进行矢量合成和分解后,计算出顶部第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:梅彬,刘建雄,张志锋,刘卫林,
申请(专利权)人:深圳市柏英特电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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