A method for producing ultrapure steam without trace impurities from purified water with trace impurities includes: introducing the purified water with trace impurities into the water inlet sleeve of the chamber of the steam generator, the chamber includes the outer wall and inner wall of the chamber made of fused quartz, and the heated porous fused quartz piece which divides the chamber into the lower chamber area and the upper chamber area. The porous fused quartz piece is heated to the steam formation temperature and the impurity containing purified water guided through the fused quartz piece from the lower chamber is converted into steam with reduced trace impurities. The steam is delivered from the upper chamber to the steam saturated shell.
【技术实现步骤摘要】
在超纯蒸汽生产中除去痕量杂质的方法
本专利技术涉及蒸汽发生，并且尤其涉及在超纯蒸汽生产中除去痕量杂质的方法。
技术介绍
在由JonathanL.Stone转让给大学研究玻璃器皿公司(UniversityResearchGlasswareCorporation)的美国专利号9,631,807中公开了一种用于生产超纯蒸汽的蒸汽发生器。其描述了由对水和蒸汽惰性的玻璃材料制成的烧结玻璃，例如烧结硼硅酸盐(有时以派莱克斯Pyrex商标出售)，用于在腔室中的烧结耐火玻璃板的相对两侧上将注入的纯水转化成纯蒸汽。烧结玻璃件或板将形成在腔室内的增压室分成下腔室区和上腔室区。喷嘴将纯化水供给至烧结玻璃件，该烧结玻璃件通过包围腔室外侧上的玻璃件的电加热线圈来加热。公开了纯化水通过烧结玻璃板中的间隙向上迁移，由于玻璃件的温度升高而蒸发。蒸发水移入上腔室区，蒸发水在该上腔室区处被导引至腔室的、连接至饱和壳体的蒸汽排出套管。增压空气在蒸汽排出套管中形成朝向饱和壳体的蒸汽递送口的超纯蒸汽射流。所有接触水和蒸汽的部件都由高温玻璃制成，基本上是化学惰性材料，...
【技术保护点】
1.一种产生已除去痕量杂质的蒸汽的方法，包括：/n将具有痕量杂质的纯化水导入蒸汽发生器的腔室的进水套管中，所述腔室包括由熔融石英制成的腔室内壁和腔室外壁和多孔熔融石英件，所述多孔熔融石英件将所述腔室分隔成下腔室区和上腔室区；/n加热所述多孔熔融石英件至蒸汽形成温度；/n导引所述纯化水通过已加热的所述多孔熔融石英件，从而由所述纯化水产生蒸汽，其中产生的蒸汽已经除去了痕量杂质；以及/n将产生的已除去痕量杂质的蒸汽导引至蒸汽饱和壳体。/n
【技术特征摘要】
20180604 US 62/6800951.一种产生已除去痕量杂质的蒸汽的方法，包括：
将具有痕量杂质的纯化水导入蒸汽发生器的腔室的进水套管中，所述腔室包括由熔融石英制成的腔室内壁和腔室外壁和多孔熔融石英件，所述多孔熔融石英件将所述腔室分隔成下腔室区和上腔室区；
加热所述多孔熔融石英件至蒸汽形成温度；
导引所述纯化水通过已加热的所述多孔熔融石英件，从而由所述纯化水产生蒸汽，其中产生的蒸汽已经除去了痕量杂质；以及
将产生的已除去痕量杂质的蒸汽导引至蒸汽饱和壳体。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征是，除去的痕量杂质是钠和钾。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征是，所述多孔熔融石英件是烧结玻璃。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征是，将水导入进水套管包括持续地将水供给至水注射器。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征是，所述腔室呈圆柱形，所述多孔熔融石英材料呈盘形。
6.一种从用于超纯蒸汽制备的纯化水中除去杂质的方法，包括：
提供蒸汽发生器，其包括：
腔室，该腔室...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·L·斯通，
申请(专利权)人：大学研究玻璃器皿公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。