一种大功率微波自动匹配结制造技术

本实用新型专利技术涉及一种大功率微波自动匹配结，包括波导腔和动态负载，所述波导腔的一侧设置有检测模块，所述检测模块与匹配模块位于波导腔的同一侧，所述动态负载连接有波导腔远离检测模块的垂面，所述波导腔远离动态负载的一端设置有微波源，所述波导腔包括波导盖板，所述波导盖板设置于检测模块的下方，所述波导盖板远离检测模块的一侧设置有波导底座。该大功率微波自动匹配结，固定腔体与伺服电机之间构成驱动机构，固定腔体是用于安装和支撑固定伺服电机，且每个伺服电机前段的螺杆上嵌套着一个传动垫片，支撑整体伺服电机的稳定，方便伺服电机工作，将调节杆和波导盖板隔离，以增加匹配结的功率容量，直接实现增加微波系统效率的目的。

A high power microwave automatic matching junction

The utility model relates to a high-power microwave automatic matching junction, which comprises a waveguide cavity and a dynamic load, one side of the waveguide cavity is provided with a detection module, the detection module and the matching module are located on the same side of the waveguide cavity, the dynamic load is connected with a waveguide cavity which is far from the vertical surface of the detection module, the end of the waveguide cavity which is far from the dynamic load is provided with a microwave source, and the waveguide cavity is far from the vertical surface of the detection module The waveguide cover plate is arranged under the detection module, and a waveguide base is arranged on the side of the waveguide cover plate far away from the detection module. The high-power microwave automatic matching junction forms a driving mechanism between the fixed cavity and the servo motor. The fixed cavity is used to install and support the fixed servo motor, and a drive gasket is nested on the screw in the front section of each servo motor to support the stability of the overall servo motor, so that the servo motor works, and the regulating rod and the waveguide cover plate are isolated to increase the power capacity of the matching junction It can directly increase the efficiency of microwave system.

【技术实现步骤摘要】
一种大功率微波自动匹配结
本专利技术涉及大功率微波
，具体为一种大功率微波自动匹配结。
技术介绍
微波能量的利用率很大程度上取决于微波的阻抗匹配情况，传统微波阻抗匹配技术很难对动态负载做到实时、快速并且稳定的匹配，限制了微波系统在很多领域的应用，使用匹配结将大大的促进微波系统在很多领域的应用，比如在微波等离子体系统中，微波等离子体源可等效为微波传输线的负载。而微波等离子体的物理和化学性质的变化可通过其阻抗的变化体现出来，由于等离子体负载阻抗的动态特性，手动建立固定匹配网络的方法不太合适，这时采用自动阻抗调配器就能在极短的时间内实现阻抗的匹配，使得系统的反射系数满足工程理想值，而在建立等离子体时，就需要用到阻抗调配器，鉴于等离子体阻抗的动态特性，需要使用自动阻抗调配器，以保证对等离子体负载变化的实时匹配。在微波系统中，为保证功率的最佳传输，需要信号源与负载之间阻抗匹配，从而使系统工作在行波状态，传统微波阻抗匹配技术，通常采用手动调节的方式，对固定的负载阻抗进行调节匹配，无法做到对动态负载的实时、快速且稳定的匹配，这就使很多应用领域，特别是大功率微波能应用领域的微波系统效率极低，本专利技术专利通过设计一种大功率微波自动匹配结，结构简单可靠，稳定性高，在1KW-75KW的不同大功率微波系统中，可快速实时地自动匹配动态负载，很好地解决了上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种大功率微波自动匹配结，以解决上述
技术介绍
提出的微波系统效率极低的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种大功率微波自动匹配结，包括波导腔(1)和动态负载(4)，所述波导腔(1)的一侧设置有检测模块(2)，所述检测模块(2)与匹配模块(3)位于波导腔(1)的同一侧，所述动态负载(4)连接有波导腔(1)远离检测模块(2)的垂面，所述波导腔(1)远离动态负载(4)的一端设置有微波源(5)。进一步的，所述波导腔(1)包括波导盖板(102)，所述波导盖板(102)设置于检测模块(2)的下方，所述波导盖板(102)远离检测模块(2)的一侧设置有波导底座(101)，所述波导底座(101)和波导盖板(102)的连接处设置有中空矩形结构。进一步的，所述检测模块(2)包括检波模块(202)，所述检波模块(202)设置于波导盖板(102)远离波导底座(101)的一侧，所述检波模块(202)远离波导盖板(102)的一侧设置有控制模块(201)。进一步的，所述匹配模块(3)包括调节杆(301)，所述调节杆(301)设置于金属压块(304)的内侧，所述金属压块(304)与检波模块(202)位于波导盖板(102)的同一侧，所述金属压块(304)远离波导盖板(102)的一侧设置有固定腔体(305)，所述固定腔体(305)远离金属压块(304)的一侧设置有伺服电机(306)，所述调节杆(301)靠近波导盖板(102)的一侧设置有介质块(302)，所述金属压块(304)与固定腔体(305)的连接处设置有传动垫片(303)，所述传动垫片(303)设置于金属压块(304)的内侧。进一步的，所述波导腔(1)可以是标准或非标矩形波导。进一步的，所述波导盖板(102)上均匀设置有穿孔，且波导盖板(102)的穿孔数量与调节杆(301)数量相同，并且一个穿孔对应设置一个调节杆(301)以及一个连接调节杆(301)的传动垫片(303)和一个伺服电机(306)。进一步的，所述调节杆(301)的内侧为中空结构，且调节杆(301)的前端螺杆贯穿于伺服电机(306)的内侧，并且调节杆(301)底部为封闭平面，边缘倒角，而且调节杆(301)中部设置有一定长度的销钉。进一步的，所述介质块(302)的内侧开设有竖槽，且竖槽与调节杆(301)的销钉构成卡合结构。进一步的，所述传动垫片(303)中间设置有内螺纹，传动垫片(303)的内螺纹与伺服电机(306)前段的螺杆螺纹匹配。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该一种大功率微波自动匹配结设置有。1.当伺服电机轴向旋转时，与之连接的传动垫片以及与传动垫片固定的调节杆有随之旋转趋势，但调节杆上的销钉卡在介质块的竖槽内，阻止了调节杆的旋转，通过伺服电机前端的螺杆旋转挤压传动垫片，带动调节杆做竖直方向的运动，调节伺服电机转动的方向，可实现调节杆插入或抽离波导腔，以改变调节杆在波导腔中的长度，方便改变调节杆在波导腔中的长度。2.固定腔体与伺服电机之间构成驱动机构，固定腔体是用于用于安装和支撑固定伺服电机，且每个伺服电机前段的螺杆上嵌套这一个传动垫片，支撑整体伺服电机的稳定，方便伺服电机工作。3.将调节杆和波导盖板隔离，以增加匹配结的功率容量，直接实现增加微波系统效率的目的。4.检波模块与控制模块之间为电性连接，检波模块通过在波导腔内提取的若干功率信号，可检测处波导腔端面处的复反射系数，方便该装置的顺利运行。5.利用匹配结检测->运算->控制调节->检测的工作步骤，可在很短的时间内再次完成自动匹配，从而达到实时的全自动匹配，实现高效率匹配。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术工作传递结构示意图；图3为本专利技术立体结构示意图；图4为本专利技术工作流程结构示意图。图中：1、波导腔，101、波导底座，102、波导盖板，2、检测模块，201、控制模块，202、检波模块，3、匹配模块，301、调节杆，302、介质块，303、传动垫片，304、金属压块，305、固定腔体，306、伺服电机、4、动态负载，5、微波源。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-4，本专利技术提供一种技术方案：一种大功率微波自动匹配结，包括波导腔1、检测模块2、匹配模块3、动态负载4和微波源5，所述波导腔1的一侧设置有检测模块2，所述检测模块2与匹配模块3位于波导腔1的同一侧，所述动态负载4连接有波导腔1远离检测模块2的垂面，所述波导腔1远离动态负载4的一端设置有微波源5。优选的，所述波导腔1包括波导底座101和波导盖板102，所述波导盖板102设置于检测模块2的下方，所述波导盖板102远离检测模块2的一侧设置有波导底座101，所述波导底座101和波导盖板102的连接处设置有中空矩形结构。优选的，所述检测模块2包括控制模块201和检波模块202，所述检波模块202设置于波导盖板102远离波导底座101的一侧，所述检波模块202远离波导盖板102的一侧设置有控制模块201。优选的，所述匹配模块3包括调节杆301、介质块302、传动垫片303、金属压块304、固定腔体305和伺服电机306，所述调节杆301设置于金属压块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大功率微波自动匹配结，包括波导腔(1)和动态负载(4)，其特征在于：所述波导腔(1)的一侧设置有检测模块(2)，所述检测模块(2)与匹配模块(3)位于波导腔(1)的同一侧，所述动态负载(4)连接有波导腔(1)远离检测模块(2)的垂面，所述波导腔(1)远离动态负载(4)的一端设置有微波源(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种大功率微波自动匹配结，包括波导腔(1)和动态负载(4)，其特征在于：所述波导腔(1)的一侧设置有检测模块(2)，所述检测模块(2)与匹配模块(3)位于波导腔(1)的同一侧，所述动态负载(4)连接有波导腔(1)远离检测模块(2)的垂面，所述波导腔(1)远离动态负载(4)的一端设置有微波源(5)。


2.根据权利要求1所述的一种大功率微波自动匹配结，其特征在于：所述波导腔(1)包括波导盖板(102)，所述波导盖板(102)设置于检测模块(2)的下方，所述波导盖板(102)远离检测模块(2)的一侧设置有波导底座(101)，所述波导底座(101)和波导盖板(102)的连接处设置有中空矩形结构。


3.根据权利要求2所述的一种大功率微波自动匹配结，其特征在于：所述检测模块(2)包括控制模块(201)和检波模块(202)，所述检波模块(202)设置于波导盖板(102)远离波导底座(101)的一侧，所述检波模块(202)远离波导盖板(102)的一侧设置有控制模块(201)。


4.根据权利要求2所述的一种大功率微波自动匹配结，其特征在于：所述匹配模块(3)包括调节杆(301)，所述调节杆(301)设置于金属压块(304)的内侧，所述金属压块(304)与检波模块(202)位于波导盖板(102)的同一侧，所述金属压块(304)远离波导盖板(102)的一侧设置有固定腔体(305)，所述固定腔体(305)远离金属压块(304)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：董鹭，
申请(专利权)人：成都迈频科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51