An on-line regulating device for gold plating bath is used to detect and regulate the bath solution in a composite plating bath. A gold salt adding machine is arranged above the composite plating bath. The on-line regulating device for the bath solution includes an on-line regulating unit, an X-ray fluorescence spectrometer and a controller. The on-line regulating unit includes a driving pump and a holding tank. The driving pump is used to drive the The bath solution in the composite plating bath circulates in the holding bath and the composite plating bath, the X-ray fluorescence spectrometer is used to continuously detect the concentration of gold ion in the bath solution in the holding bath, the controller is used to determine whether the current concentration of gold ion is less than a first preset concentration, if so, the gold salt adding machine is controlled to the composite plating bath Adding gold salt, when the current concentration of gold ion is greater than or equal to the first preset concentration and less than or equal to the second preset concentration, the controller controls the gold salt adding machine to stop adding gold salt.
【技术实现步骤摘要】
槽液在线调控装置
本专利技术涉及电镀领域，尤其涉及一种槽液在线调控装置。
技术介绍
金具有较高的抗氧化性、延展性、导电性以及耐磨性等特点，因此被广泛用于诸如晶圆、印刷电路板、发光二极管等电子元器件的表面以形成电镀层，从而使电子元器件具有较高的抗氧化性、导电性以及耐磨性。在电镀金时，通常需要用到电镀金液。而电镀金液的金离子的浓度直接影响电镀层的厚度，电镀层的厚度又直接影响电子元器件的性能。如，当电镀层较厚时则会产生催化问题，而电镀层较薄时效果又较差。因此，电镀金液的金离子的浓度对电子元器件的性能会有很大的影响。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种槽液在线调控装置，能够解决以上问题。一种槽液在线调控装置，用于检测并调控一复合式镀槽中的槽液，所述复合式镀槽的上方设有一金盐添加机，所述槽液在线调控装置包括一在线调控单元、一X射线荧光光谱仪以及一控制器，所述在线调控单元包括一驱动泵以及一容置槽，所述驱动泵用于驱动所述复合式镀槽中的槽液在所述容置槽以及所述复合式镀槽中循环流动，所述X射线荧光光谱仪用于连续...
【技术保护点】
1.一种槽液在线调控装置，用于检测并调控一复合式镀槽中的槽液，所述复合式镀槽的上方设有一金盐添加机，其特征在于，所述槽液在线调控装置包括一在线调控单元、一X射线荧光光谱仪以及一控制器，所述在线调控单元包括一驱动泵以及一容置槽，所述驱动泵用于驱动所述复合式镀槽中的槽液在所述容置槽以及所述复合式镀槽中循环流动，所述X射线荧光光谱仪用于连续检测所述容置槽中的所述槽液中金离子的浓度，所述控制器用于获取所述X射线荧光光谱仪当前所检测的槽液中金离子的浓度，并判断所获取的金离子的浓度是否小于一第一预设浓度，在判断所获取的金离子的浓度小于所述第一预设浓度时，所述控制器控制所述金盐添加机向所...
【技术特征摘要】
1.一种槽液在线调控装置，用于检测并调控一复合式镀槽中的槽液，所述复合式镀槽的上方设有一金盐添加机，其特征在于，所述槽液在线调控装置包括一在线调控单元、一X射线荧光光谱仪以及一控制器，所述在线调控单元包括一驱动泵以及一容置槽，所述驱动泵用于驱动所述复合式镀槽中的槽液在所述容置槽以及所述复合式镀槽中循环流动，所述X射线荧光光谱仪用于连续检测所述容置槽中的所述槽液中金离子的浓度，所述控制器用于获取所述X射线荧光光谱仪当前所检测的槽液中金离子的浓度，并判断所获取的金离子的浓度是否小于一第一预设浓度，在判断所获取的金离子的浓度小于所述第一预设浓度时，所述控制器控制所述金盐添加机向所述复合式镀槽中添加金盐，并继续获取所述X射线荧光光谱仪当前所检测的槽液中金离子的浓度，当所获取的金离子的浓度大于或等于所述第一预设浓度且小于或等于一第二预设浓度时，所述控制器控制所述金盐添加机停止添加金盐，其中，所述第二预设浓度大于所述第一预设浓度。
2.如权利要求1所述的槽液在线调控装置，其特征在于，所述控制器进一步获取一电感耦合等离子光谱仪所检测的槽液中金离子的浓度，并根据所述X射线荧光光谱仪和所述电感耦合等离子光谱仪的检测结果校正所述X射线荧光光谱仪。
3.如权利要求1所述的槽液在线调控装置，其特征在于，所述复合式镀槽包括一预电镀金槽以及一电镀金槽，所述预电镀金槽与所述电镀金槽上方均设有一金盐添加机，所述在线调控单元的数量为两个且分别连接所述预电镀金槽以及所述电镀金槽，所述驱动泵设置于所述检测单元与所述预电镀金槽或所述电镀金槽之间，所述驱动泵用于驱动所述复合式镀槽中的槽液在所述容置槽、以及所述预电镀金槽或所述电镀金槽中循环流动。
4.如权利要求3所述的槽液在线调控装置，其特征在于，所述X射线荧光光谱仪在所述两个在线调控单元的所述容置槽之间往复移动，以使其与其中一待测的容置槽相对，所述驱动泵在所述X射线荧光光谱仪运作时停止循环。
5.如权利要求3所述的槽液在线调控装置，其特征在于，所述预电镀金槽以及所述电镀金槽还分别设有一加热单元，所述加热单元用于加热所述槽液，每一在线调控单元还包括一检测单元，所述检测单元设置于所述驱动泵以及所述容置槽之间，所述驱动泵用于驱动所述电镀金槽中的槽液在所述检测单元、所述容置槽、以及所述预电镀金槽或所述电镀金槽中循环流动，所述检测单元包括一检测槽以及设置于所述检测槽内的一温度计，过滤后的所述槽液流至所述检测槽内，所述温度计用于检测所述检测槽内的所述槽液的温度，所述控制器还用于获取所...
【专利技术属性】
技术研发人员：许方贤，郑增煌，林克凡，
申请(专利权)人：鹏鼎控股深圳股份有限公司，宏启胜精密电子秦皇岛有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。