The utility model relates to an inverse Hartmann optical path wafer surface roughness measuring device. The LCD display screen of the utility model is fixed at the bottom of the device, the total mirror and the spectroscope are fixed at the same height, and are respectively located at the top of the LCD display screen and the measured wafer. The image acquisition of the stripe image encoded by the light intensity and the image acquisition of the front small hole CMOS camera are controlled by the computer, and the image processing and error compensation are realized by the computer.
【技术实现步骤摘要】
逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置
本技术属于测量
，涉及一种基于逆哈特曼光路的晶圆表面粗糙度测量装置。主要用于晶圆表面粗糙度的测量工作。
技术介绍
随着信息技术的高速发展，半导体元件需求量不断增加，对半导体元件的种类及功能提出了更高的要求。晶圆作为制造半导体集成电路的原材料，其表面粗糙度的好坏直接影响着半导体产品质量。现有的晶圆表面粗糙度测量方法均存在装置复杂的问题，此外机械探针法易损伤被测表面；显微镜法和激光干涉法成本高昂。因此，弥补这些晶圆表面粗糙度测量装置的缺陷，显得至关重要。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提出了一种精度高、成本低、装置结构简单的测量装置。本技术包括LCD显示屏、全反射镜、分光镜、显微透镜、前置小孔CMOS相机和计算机。所述的LCD显示屏显示经光强编码的明暗条纹。所述的全反射镜反射LCD显示屏投射的条纹光束后向分光镜投射。所述的分光镜反射条纹光束后向显微透镜投射。所述的显微透镜会聚条纹光束后投射至被测晶圆表面。
【技术保护点】
1.逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置，包括LCD显示屏、全反射镜、分光镜、显微透镜、前置小孔CMOS相机和计算机，其特征在于：/n所述的LCD显示屏显示经光强编码的明暗条纹，/n所述的全反射镜反射LCD显示屏投射的条纹光束后向分光镜投射，/n所述的分光镜反射条纹光束后向显微透镜投射，/n所述的显微透镜会聚条纹光束后投射至被测晶圆表面，/n所述的前置小孔CMOS相机接收由晶圆表面反射后的条纹光束，/n所述的计算机控制LCD显示屏和前置小孔CMOS相机，通过图像采集、图像处理和误差补偿，实现高精度测量功能。/n
【技术特征摘要】
1.逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置，包括LCD显示屏、全反射镜、分光镜、显微透镜、前置小孔CMOS相机和计算机，其特征在于：
所述的LCD显示屏显示经光强编码的明暗条纹，
所述的全反射镜反射LCD显示屏投射的条纹光束后向分光镜投射，
所述的分光镜反射条纹光束后向显微透镜投射，
所述的显微透镜会聚条纹光束后投射至被测晶圆表面，
...
【专利技术属性】
技术研发人员：阮旸，邹典，沈芳沅，胡华威，徐昊学，史家琰，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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