用于颗粒物粒径测量的激光测径系统和质谱仪技术方案

本实用新型专利技术涉及一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，该激光测径系统包括激光器、分光装置、真空反射装置、基板、第一固定板以及第二固定板；激光器设在基板上，且激光器能够相对于基板移动；分光装置设在第一固定板上，用于将激光器发出的一束激光分成两束平行的激光束；真空反射装置设在第二固定板上，用于将分光装置分成的两束平行的激光束反射入质谱仪的真空腔。该激光测径系统利用反射的原理，将一束激光均匀的分成两束，避免了两个激光器能量衰减幅度不同，影响测径系统的准确性和灵敏度的问题。本实用新型专利技术涉及的质谱仪中的激光测径系统只需一个激光器，降低了激光测径系统的占用空间，使仪器结构更紧凑，同时降低了成本。

Laser system and mass spectrometer for particle size measurement

The utility model relates to a laser diameter measuring system for particle size measurement, which comprises a laser, a light dividing device, a vacuum reflecting device, a base plate, a first fixing plate and a second fixing plate; the laser is arranged on the base plate, and the laser can move relative to the base plate; the light dividing device is arranged on the first fixing plate, which is used to send out a laser beam The vacuum reflecting device is arranged on the second fixed plate, which is used to reflect the two parallel laser beams divided by the light dividing device into the vacuum cavity of the mass spectrometer. Using the principle of reflection, a laser beam is divided into two beams evenly, which avoids the problem of different energy attenuation amplitude of the two lasers, which affects the accuracy and sensitivity of the diameter measurement system. The laser diameter measuring system of the mass spectrometer of the utility model only needs one laser, which reduces the occupied space of the laser diameter measuring system, makes the instrument structure more compact and reduces the cost.

【技术实现步骤摘要】
用于颗粒物粒径测量的激光测径系统和质谱仪
本技术涉及检测
，特别涉及一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统和质谱仪。
技术介绍
众所周知，大气气溶胶对环境以及人体健康有着巨大的影响，因此人们对其研究也越来越重视和深入。由于大气气溶胶的来源、演变较为复杂，深入研究其来源、理化性质以及演变的机理变的困难。单颗粒气溶胶质谱仪作为一种新型的气溶胶分析仪器，能够从单个颗粒层面上测量颗粒尺寸大小和化学组成，对于研究大气气溶胶中颗粒物的种类、混合状态、来源以及演变过程具有重要的作用。单颗粒气溶胶质谱仪由进样系统、真空系统、激光测径系统、电离系统、质量分析器、电控系统以及软件分析系统等组成。仪器正常工作时，待测样品首先经过进样系统，将样品中的气溶胶颗粒物汇聚成穿过空气动力学透镜中心的颗粒束，并且不同粒径大小的颗粒具有不同的速度，随着粒径的增大其速度越小。汇聚好的颗粒经过多级真空系统后，被激光测径系统检测，并通过计算得到颗粒物的粒径以及速度等信息，同时记录下颗粒物经过测径系统时产生脉冲触发信号的时刻T1。根据以上信息，计算得到电离激光器的触发出光的T本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，其特征在于，包括激光器、分光装置、真空反射装置、基板、第一固定板以及第二固定板；/n所述激光器设在所述基板上，且所述激光器能够相对于所述基板移动；/n所述分光装置设在所述第一固定板上，用于将所述激光器发出的一束激光分成两束平行的激光束；/n所述真空反射装置设在所述第二固定板上，用于将所述分光装置分成的两束平行的激光束反射入质谱仪的真空腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，其特征在于，包括激光器、分光装置、真空反射装置、基板、第一固定板以及第二固定板；
所述激光器设在所述基板上，且所述激光器能够相对于所述基板移动；
所述分光装置设在所述第一固定板上，用于将所述激光器发出的一束激光分成两束平行的激光束；
所述真空反射装置设在所述第二固定板上，用于将所述分光装置分成的两束平行的激光束反射入质谱仪的真空腔。


2.根据权利要求1所述的用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，其特征在于，所述分光装置包括：分光半反射镜、分光全反射镜、第一分光反射镜架以及第二分光反射镜架；
所述分光半反射镜与所述分光全反射镜分别设在所述第一分光反射镜架和所述第二分光反射镜架上；
所述分光半反射镜将所述激光器发出的一束激光分成两束光，其中透过所述分光半反射镜的为第一光束，经过所述分光半反射镜反射到所述分光全反射镜的为第二光束；经所述分光全反射镜反射的光为第三光束，所述第一光束平行于所述第三光束；
所述真空反射装置用于将所述第一光束和所述第三光束反射入所述质谱仪的真空腔。


3.根据权利要求2所述的用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，其特征在于，所述真空反射装置包括真空反射镜以及真空反射镜架，所述真空反射镜设在所述真空反射镜架上；
所述第一光束与所述第三光束经所述真空反射镜的反射后进入所述质谱仪的真空腔。


4.根据权利要求3所述的用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，其特征在于，所述真空反射镜有两个，分别为第一真空反射镜和第二真空反射镜；
所述真空反射镜架有两个，分别为第一真空反射镜架与第二真空反射镜架；
所述第一真空反射镜和所述第二真空反射镜分别设在所述第一真空反射镜架与所述第二真空反射镜架...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓飞，杜绪兵，喻佳俊，朱星高，刘平，代新，黄凯彬，刘今朝，陈颖，
申请(专利权)人：广州禾信仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44