The invention discloses a device and a method for improving the drying ability of the brush machine after wet cleaning. The brush machine has a working chamber for wet cleaning the wafer, the working chamber is equipped with an isopropanol nozzle, the isopropanol nozzle is connected with the isopropanol supply source through an isopropanol transmission pipeline, and the working chamber is connected with a vacuum pumping device through an air flow pipeline. The invention also discloses a drying method. By spraying isopropanol on the cleaned wafer surface, the invention can effectively increase the surface tension of the wafer surface, enhance the ability to remove the water on the wafer surface, reduce the generation of defects and accelerate the drying of the wafer; during the drying process, a vacuum device is used to absorb the gas in the working cavity to form a vacuum environment, thereby accelerating the evaporation of the water on the wafer surface and isopropanol, and further It can improve the drying efficiency of wafer, improve the cleaning process, and increase the capacity of cleaning machine.
【技术实现步骤摘要】
提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置及方法
本专利技术涉及微电子及半导体集成电路制造领域,具体属于一种提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置及方法。
技术介绍
在半导体芯片的制造过程中,通常需要对晶圆表面用刷片机进行湿法清洗。湿法清洗是目前晶圆制程中非常重要的一个工艺环节,主要是利用刷片机上的刷片头去除晶圆的颗粒,从而保证晶圆的高平整度,因此提高清洗的效率对于整个晶圆制程的研发和量产都有着至关重要的作用。利用刷片机对晶圆完成湿法清洗后,还需要对清洗后的晶圆进行干燥,目前主要采用氮气冲刷的方式来达成使晶圆干燥的目的。但是,随着晶圆工艺制程的逐渐先进,晶圆的线宽不断减小,该方式无法完全地去除潜藏在晶圆表面线宽较小区域内的水,这就容易产生晶圆缺陷,进而影响良率。同时,上述干燥方法通常耗时很长,大大增加了湿法清洗的制程时间,影响整个晶圆生产的效率。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置及方法,可以解决现有湿法清洗的干燥过程耗时长以及无法完全去除潜藏在晶圆表面的水而导致晶圆产生缺陷的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供的提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置,所述刷片机具有对晶圆进行湿法清洗的工作腔,所述工作腔安装有异丙醇喷头,所述异丙醇喷头通过一异丙醇传输管道与异丙醇提供源相连接,且所述工作腔通过一气流管道与一抽真空装置相连接。进一步地,所述异丙醇喷头位于晶圆的上方。进一步地,所述异丙醇喷头喷出的是异丙醇蒸汽。进一步地,所述 ...
【技术保护点】
1.一种提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置,所述刷片机具有对晶圆进行湿法清洗的工作腔,其特征在于,所述工作腔安装有异丙醇喷头,所述异丙醇喷头通过一异丙醇传输管道与异丙醇提供源相连接,且所述工作腔通过一气流管道与一抽真空装置相连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置,所述刷片机具有对晶圆进行湿法清洗的工作腔,其特征在于,所述工作腔安装有异丙醇喷头,所述异丙醇喷头通过一异丙醇传输管道与异丙醇提供源相连接,且所述工作腔通过一气流管道与一抽真空装置相连接。
2.根据权利要求1所述的提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置,其特征在于,所述异丙醇喷头位于晶圆的上方。
3.根据权利要求1或2所述的提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置,其特征在于,所述异丙醇喷头喷出的是异丙醇蒸汽。
4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷海波,杭明光,
申请(专利权)人:上海华力集成电路制造有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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