一种MEMS硅麦克风自动测试的音源微型腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS硅麦克风自动测试的音源微型腔体，包括声腔，所述声腔下部开设长方体状的容纳腔，所述容纳腔内安装有微型喇叭，所述声腔顶部开有音孔，所述声腔的底部开有声压泄放孔，所述声腔上方设有导针板，所述导针板上方安装有导针座，所述导针座上方设有硅麦放置槽；该音源微型腔体通过在声腔内声腔下部开设长方体状的容纳腔，所述容纳腔内安装有微型喇叭，然后微型喇叭发出的声音穿过音孔，由放置在声腔上部的硅麦接收声信号并送到后面测量系统进行相关声学测试；与传统测量的大体积腔体相比近似为1:30，有效降低了工业自动化测量硅麦设备的设计与制造工艺以及硅麦测量的复杂度与难点，且测试效率提高了3倍以上。

A micro cavity of sound source for MEMS silicon microphone automatic test

The utility model discloses a sound source micro cavity for automatic testing of MEMS silicon microphone, which includes a sound cavity. A cuboid like accommodation cavity is arranged at the lower part of the sound cavity. The accommodation cavity is equipped with a micro speaker, a sound hole is arranged at the top of the sound cavity, a sound pressure relief hole is arranged at the bottom of the sound cavity, a needle guide plate is arranged above the sound cavity, a needle guide seat is arranged above the needle guide plate, and a needle guide seat is arranged above the needle guide plate A silicon microphone placement slot is arranged above the guide needle seat; the sound source micro cavity is provided with a rectangular accommodation cavity at the lower part of the sound cavity in the sound cavity, the accommodation cavity is equipped with a micro loudspeaker, and then the sound emitted by the micro loudspeaker passes through the sound hole, and the silicon microphone placed on the upper part of the sound cavity receives the sound signal and sends it to the rear measurement system for relevant acoustic test; the general volume cavity with the traditional measurement The volume ratio is approximately 1:30, which effectively reduces the design and manufacturing process of industrial automatic silicon wheat measuring equipment, as well as the complexity and difficulty of silicon wheat measurement, and improves the test efficiency by more than three times.

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS硅麦克风自动测试的音源微型腔体
本技术涉及硅麦克风测试装备
，特别涉及一种MEMS硅麦克风测试的音源微型腔体。
技术介绍
在自动化测试硅麦的过程有两个最重要的指标。一个是测量准确率或误差率(％)，另一个是测量速率(单个-自动测试)(单位：千个/小时)。现在市场上(国内外)硅麦克风自动测试的产品都是大腔体式的，该产品的缺点是大腔体(喇叭+音罐)喇叭直径至少3寸，再放入音罐，直径最少5寸，这样8个硅麦的同时测量时，要求安装多8个音罐，而硅麦尺寸圆形直径在3mm、矩形尺寸在2.8mm×1.9mm，按一对一的测量需要，一个硅麦对应一个音罐，显然自动化测试实现有很多困难的，且会带来设备尺寸和成本的几何增长。再者，闭箱的微型腔体从设计角度会遇到非常复杂的声学计算与工艺的问题(通常需要估算与后期校正)，还需要大量的实验验证与软件对测量结果的校正验证。此外，现行的国际与国内声学相关测量标准(音腔结构与有效体积的IEC60318标准)的语法规范只是给出的较大(直径5寸或稍大)音腔(人工嘴)的计算原则。而没有微型腔体设计的相应的标准。因此目前为止，韩国、日本、台湾，这些相对比较集中的先本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS硅麦克风自动测试的音源微型腔体，包括声腔，其特征在于：所述声腔下部开设长方体状的容纳腔，所述容纳腔内安装有微型喇叭，所述声腔顶部开有音孔，所述声腔的底部开有声压泄放孔，所述声腔上方设有导针板，所述导针板上方安装有导针座，所述导针座上方设有硅麦放置槽。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS硅麦克风自动测试的音源微型腔体，包括声腔，其特征在于：所述声腔下部开设长方体状的容纳腔，所述容纳腔内安装有微型喇叭，所述声腔顶部开有音孔，所述声腔的底部开有声压泄放孔，所述声腔上方设有导针板，所述导针板上方安装有导针座，所述导针座上方设有硅麦放置槽。2.根据权利要求1所述的音源微型腔体，其特征在于：所述微型喇叭安装在所述容纳腔整体高度的上部1/3位置，所述微型喇叭的振膜朝向所述音孔；所述容纳腔下部整体高度的2/3为后腔，后腔底部设有喇叭固定板，所述喇叭固定板下方设有底盖。3.根据权利要求1所述的音源微型腔体，其特征在于：所述导针板上开设有两个圆形的通孔。4.根据权利要求1所述的音源微型腔体，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯晓，曹永，谢明，
申请(专利权)人：南京思特倍自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32