一种导流筒防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种导流筒防护装置，包括筒状结构的防护罩，防护罩分为三段，自上而下包括上筒、可伸缩的金属波纹管、下筒，上筒上设有多组T型结构的卡接件，卡接件的竖端通过紧固件固定安装在上筒顶端外壁上并向上延伸，卡接件的横端上设有两组对称的通孔；下筒的末端依次设有向内延伸的支撑环以及向上并向内倾斜的内勾，支撑环、内勾与下筒为一体式结构，内勾与支撑环、下筒形成空腔。本实用新型专利技术通过上部的卡接件将将导流筒与上筒、外部设备固定住，使得导流筒更加稳定、不易脱落；同时下部设置支撑环将导流筒进行撑托可进一步防止其掉落，内勾与支撑环、下筒形成一个空腔，该空腔可收集导流筒破碎时的碎片，防止其落入熔化的硅料内。

A kind of protective device for guide cylinder

The utility model discloses a deflector protective device, which comprises a protective cover of a cylindrical structure, which is divided into three sections, from top to bottom, including an upper cylinder, a retractable metal bellows, and a lower cylinder. The upper cylinder is provided with a plurality of sets of T-shaped structure connectors, and the vertical end of the connectors is fixedly installed on the outer wall at the top of the upper cylinder through fasteners and extends upward. The horizontal end of the connectors is provided with two sets of symmetry The end of the lower cylinder is successively provided with an inward extending support ring and an upward and inward inclined internal hook. The support ring, the internal hook and the lower cylinder are integrated structures, and the internal hook and the support ring form a cavity with the lower cylinder. The utility model fixes the guide cylinder, the upper cylinder and the external equipment through the upper clamping piece, so that the guide cylinder is more stable and not easy to fall off; at the same time, the lower part is provided with a support ring to support the guide cylinder to further prevent it from falling off, and the inner hook forms a cavity with the support ring and the lower cylinder, which can collect the fragments of the guide cylinder when it is broken and prevent it from falling into the melted silicon material.

【技术实现步骤摘要】
一种导流筒防护装置
本技术属于单晶硅生长制造设备领域，具体涉及一种导流筒防护装置。
技术介绍
导流筒是单晶硅生长的关键设备之一，主要用于控制热场轴向温度梯度和引导惰性气体流向。在单晶拉制过程中，目前导流筒的材质大多为石墨，在高温反应中，单晶炉内硅料熔化时挥发大量的氧化物，其会与导流筒反应造成断裂形成细缝，且细缝被氧化物沾污及覆盖不易发现，降低导流筒自身的强度，导致导流筒容易掉落事故，从而导致单晶炉无法正常运行；此外导流筒掉落入熔化的硅料内，造成使硅料污染、导致单晶棒产品质量不合格，因此需要一种防护装置对单晶硅生长工序中使用的导流筒进行保护，防止导流筒易掉落。
技术实现思路
针对现有技术中的不足与难题，本技术旨在提供一种导流筒防护装置。本技术通过以下技术方案予以实现：一种导流筒防护装置，包括多段式的筒状结构的防护罩，防护罩分为三段，自上而下包括上筒、可伸缩的金属波纹管、下筒，上筒上设有多组T型结构的卡接件，卡接件的竖端通过紧固件固定安装在上筒顶端外壁上并向上延伸，卡接件的横端上设有两组对称的通孔；下筒的末端依次设有向内延伸的支撑环以及向上并向内倾斜的内勾，支撑环、内勾与下筒为一体式结构，内勾与支撑环、下筒形成空腔。进一步地，卡接件数量为3-6组，卡接件均匀环绕在上筒顶端外壁上。进一步地，下筒的底部设有密封垫。进一步地，上筒、下筒的内壁设有耐高温的软质内衬。进一步地，软质内衬为耐高温硅橡胶制成。与现有技术相比，本技术有益效果包括：(1)本技术通过上部的卡接件将将导流筒与上筒、外部设备固定住，使得导流筒更加稳定、不易脱落；同时下部设置支撑环将导流筒进行撑托可进一步防止其掉落，内勾与支撑环、下筒形成一个空腔，该空腔可收集导流筒破碎时的碎片，防止其落入熔化的硅料内。(2)本技术在上筒与下筒之间设置金属波纹管，利用其弹性特性可使得防护装置可适用于不同长度的导流筒。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术安装在导流筒上后的主视剖面图。图3为图2中A处的放大后的结构示意图。图示说明：1-防护罩，101-上筒，102-金属波纹管，103-下筒，104-软质内衬，105-支撑环，106-内勾，2-卡接件，3-导流筒，4-密封垫，5-通孔，6-连接件。在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“末”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接、可拆卸连接、一体地连接；可以是机械连接、电连接；可以是直接相连、中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。具体实施方式下面结合附图，对本技术作进一步地说明。如图1至图3所示，一种导流筒防护装置，包括多段式的筒状结构的防护罩1，防护罩1分为三段，自上而下包括上筒101、可伸缩的金属波纹管102、下筒103，上筒101与下筒103用于将导流筒3固定和支撑，金属波纹管102的弹性特性可使得防护装置可适用于不同长度的导流筒。上筒101上设有多组用于将导流筒3顶端与防护装置、外部装置固定的卡接件2，卡接件2为T型结构，卡接件2的竖端通过螺栓、铆钉等紧固件固定安装在上筒101顶端外壁上并向上延伸，卡接件2的横端上设有两组对称的通孔5，卡接件2的横端其中一端用于与导流筒3的顶表面相接并通过连接件6、通孔5组合固定，接件2的横端另一端用于与单晶炉、石英坩埚等外部设备固定相接，优选地卡接件2有3-6组并均匀环绕在上筒101顶端外壁上。卡接件2将导流筒3与上筒101、外部设备固定住，使得导流筒3更加稳定。下筒103的末端依次设有向内延伸的支撑环105、以及向上向内倾斜的内勾106，内勾106的一端与支撑环105的内壁相接，且二者相接处为圆弧倒角，支撑环105、内勾106与下筒103为一体式结构，具体实施中，导流筒3置于支撑环105上，内勾106与支撑环105、下筒103形成一个空腔，该空腔可收集导流筒3破碎时的碎片，防止其落入熔化的硅料内。具体实施中，支撑环105的长度大于导流筒3的厚度。为了使得防护装置与导流筒结合后与外部装置连接时更加紧密，下筒103的底部设有密封垫4。为了减少结合时防护装置对导流筒的磨损，上筒101、下筒103的内壁设有耐高温的软质内衬104，利用其软性材质对其表面进行缓冲保护，优选的软质内衬104为耐高温硅橡胶制成。在具体实施中，首先将导流筒3套在防护罩1内，导流筒3底部置于支撑环105上，然后将数组卡接件2均匀固定在上筒101顶端外壁上，再通过连接件6、通孔5组合将卡接件2与导流筒3固定。以上所述仅表达了本技术的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导流筒防护装置，包括筒状结构的防护罩，其特征在于：所述防护罩分为三段，自上而下包括上筒、可伸缩的金属波纹管、下筒，所述上筒上设有多组T型结构的卡接件，所述卡接件的竖端通过紧固件固定安装在所述上筒顶端外壁上并向上延伸，所述卡接件的横端上设有两组对称的通孔；所述下筒的末端依次设有向内延伸的支撑环以及向上并向内倾斜的内勾，所述支撑环、所述内勾与所述下筒为一体式结构，所述内勾与所述支撑环、所述下筒形成空腔。

【技术特征摘要】
1.一种导流筒防护装置，包括筒状结构的防护罩，其特征在于：所述防护罩分为三段，自上而下包括上筒、可伸缩的金属波纹管、下筒，所述上筒上设有多组T型结构的卡接件，所述卡接件的竖端通过紧固件固定安装在所述上筒顶端外壁上并向上延伸，所述卡接件的横端上设有两组对称的通孔；所述下筒的末端依次设有向内延伸的支撑环以及向上并向内倾斜的内勾，所述支撑环、所述内勾与所述下筒为一体式结构，所述内勾与所述支撑环、所述下筒形...

【专利技术属性】
技术研发人员：易本友，
申请(专利权)人：抚州市天和硅业有限责任公司，
类型：新型
国别省市：江西,36