显微镜制造技术

本实用新型专利技术提供一种显微镜，适于观测样品。显微镜包括载台，载台包括底座、上盖及凸状结构。上盖配置于底座上且具有观测区，样品适于在观测区被观测。底座与上盖之间形成第一流道，观测区位于第一流道内，第一流体适于沿第一流道流动而通过观测区。凸状结构连接于底座或上盖且位于第一流道内，凸状结构围绕观测区。

【技术实现步骤摘要】
显微镜
本技术是有关于一种观测装置，且特别是有关于一种显微镜。
技术介绍
一般而言，要观察物质的奈米几何形貌最常用的方法为使用原子力显微镜(atomicforcemicroscopy，AFM)及电子显微镜(electronmicroscope)等设备。使用原子力显微镜量测时，需藉由探针来量测待测物的几何形貌，此种量测方式不仅探针针尖容易损坏、量测时间长，且样品量测范围较小，电子显微镜则无上述问题。以扫描式电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)而言，其可用于观测液态样品或浸于液体中的固态样品。观测液态样品时需驱动液体流经用以承载样品之薄膜以带走样品的代谢物，或以此液体为媒介添加量测所需药剂至样品，其中，如何避免薄膜因液体之扰动而损坏，系为能否顺利观测液态样品之关键。此外，若浸于液体中的固态样品需通电以便于观测，则如何在用以容纳样品的流道中设置用以使样品通电的电极，系为其设计上的重要课题。
技术实现思路
本技术提供一种显微镜，可有效率地对样品进行稳流，或可在用以容纳样品的流道中使样品通电。本技术的一种显微镜适于观测样品。显微镜包括至少一载台，载台包括底座、上盖及凸状结构。上盖配置于底座上且具有观测区，样品适于在观测区被观测。底座与上盖之间形成第一流道，观测区位于第一流道内，第一流体适于沿第一流道流动而通过观测区。凸状结构连接于底座或上盖且位于第一流道内，凸状结构围绕观测区。在本技术的一实施例中，上述的至少一载台包括紧固组件，上盖藉由紧固组件而紧固于底座。在本技术的一实施例中，上述的显微镜包括两治具，其中上盖及底座适于分别嵌合于两治具，两治具适于相对转动以使上盖藉由紧固组件而紧固于底座。在本技术的一实施例中，上述的显微镜包括至少一治具，其中上盖适于嵌合于至少一治具，至少一治具具有导引贯孔，导引贯孔对位于观测区，针体适于插入导引贯孔并藉由导引贯孔的导引而对位于观测区，并将样品注入观测区。在本技术的一实施例中，上述的显微镜为电子显微镜且包括电子源，电子源适于提供电子束至观测区。在本技术的一实施例中，上述的凸状结构在观测区周围形成缓流路径。在本技术的一实施例中，上述的底座具有第二流道，第二流道内具有多个导热凸部，第一流道与第二流道彼此迭设，第二流体适于沿第二流道流动而调整第一流体的温度。在本技术的一实施例中，上述的至少一载台包括至少一弹性密封件，弹性密封件配置于底座与上盖之间且围绕第一流道。在本技术的一实施例中，上述的底座包括座体、可动件及至少一弹性件，弹性件连接于座体与可动件之间，观测区对位于可动件，凸状结构连接于上盖，可动件适于藉由弹性件的弹性力而抵靠于凸状结构。在本技术的一实施例中，上述的底座包括座体及导热件，座体围绕导热件，观测区对位于导热件，导热件的导热系数大于座体的导热系数。在本技术的一实施例中，上述的至少一载台包括半导体元件，半导体元件配置于上盖而形成观测区。在本技术的一实施例中，上述的至少一载台包括另一半导体元件，两半导体元件分别配置于底座及上盖且彼此对位。在本技术的一实施例中，上述的凸状结构形成于两半导体元件的其中之一且在两半导体元件之间构成导流路径。在本技术的一实施例中，上述的上盖包括上盖主体及卡合件，卡合件卡合于上盖主体，半导体元件被定位于卡合件与上盖主体之间。在本技术的一实施例中，上述的卡合件具有开口，开口对位于观测区。在本技术的一实施例中，上述的至少一载台包括至少一第一电极，第一电极配置于底座上且接触上盖，凸状结构包括至少一第二电极，第二电极配置于底座上，样品适于接触上盖而透过上盖电性连接于第一电极，且样品适于接触并电性连接于第二电极。在本技术的一实施例中，上述的上盖为抛弃式上盖。在本技术的一实施例中，上述的底座具有开口，第一流体适于透过开口而离开第一流道，以在观测区析出样品。在本技术的一实施例中，上述的底座具有承载部，凸状结构形成于承载部上，样品适于被承载于承载部并被凸状结构环绕。在本技术的一实施例中，上述的显微镜包括基座，其中至少一载台的数量为多个，基座适于承载这些载台。基于上述，在本技术的显微镜中，载台增设了凸状结构。所述凸状结构可为缓流结构，其在样品(例如生物细胞液态样品等)的观测区周围形成缓流路径，使进入第一流道的至少部分第一流体沿着缓流路径流动，以避免第一流体瞬间大量地通过样品的观测区，从而降低第一流体流经样品时的扰动程度，让使用者能够藉由显微镜顺利地观测样品。此外，所述凸状结构可为电极，此电极位于第一流道内而可接触样品(例如电池材料样品等)并使样品通电，以便于样品之观测。为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明图1是本技术一实施例的显微镜的立体图；图2是图1的显微镜的载台的分解图；图3是图2的上盖的下视图；图4是图2的底座于另一视角的部分结构立体图；图5是本技术另一实施例的显微镜的载台的分解图；图6是本技术另一实施例的显微镜的载台的立体图；图7是图6的载台的分解图；图8是图7的上盖于另一视角的立体图；图9是图6的载台的侧视图；图10是本技术另一实施例的显微镜的载台的立体图；图11是图10的载台的分解图；图12是图11的载台的分解图；图13是本技术一实施例的显微镜的操作方法流程图；图14是本技术另一实施例的显微镜的部分构件示意图；图15是图14的治具的立体图；图16是本技术另一实施例的显微镜的部分构件立体图；图17是本技术另一实施例的显微镜的局部示意图；图18是本专利技术另一实施例的上盖的立体图；图19是图18的上盖的分解图；图20是本技术另一实施例的显微镜的部分构件立体图；图21是本技术另一实施例的显微镜的部分构件示意图。附图标记说明：100：显微镜；110、210、310、410、510、610、710、910：底座；112、212：第一部分；112a、312a：座体；112b：导热件；114、214：第二部分；114a：导热凸部；120、220、320、420、520、720、820：上盖；120a、220a、320a、420a：观测区；122、222、322a、322b、422a、422b：半导体元件；130、930：凸状结构；140：电子源；150、350、450：紧固组件；160、260：弹性密封件；170a、170b、170c、170d、270a、270b、270c、270d：管线；230a、230b、630：电极；312b：可动件；312c：弹性件；352：柱体；354：导槽；354a：导引区段；354b：释放端；450a：锁附孔；580a、580b：治具；580a1：嵌合槽；580b1：导引贯孔；710a、824b：开口；822：上盖主体；822a：卡合槽；824：卡合件；824a：卡勾；912：承载部；B：基座；C：载台；E：电子束；F1、F1’、F1”：第一流道；F2、F2’：第二流道；H1、H1’：入口；H2、H2’：出口；P：缓流路径；S：样品。具体实施方式图1是本技术一实施例的显微镜的立体图。图2是图1的显微镜的载台本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微镜，适于观测样品，其特征在于，包括：所述显微镜包括至少一载台，所述至少一载台包括：底座；上盖，配置于所述底座上且具有观测区，其中所述样品适于在所述观测区被观测，所述底座与所述上盖之间形成第一流道，所述观测区位于所述第一流道内，第一流体适于沿所述第一流道流动而通过所述观测区；以及凸状结构，连接于所述底座或所述上盖且位于所述第一流道内，其中所述凸状结构围绕所述观测区。

【技术特征摘要】
2018.03.22 US 62/646,3721.一种显微镜，适于观测样品，其特征在于，包括：所述显微镜包括至少一载台，所述至少一载台包括：底座；上盖，配置于所述底座上且具有观测区，其中所述样品适于在所述观测区被观测，所述底座与所述上盖之间形成第一流道，所述观测区位于所述第一流道内，第一流体适于沿所述第一流道流动而通过所述观测区；以及凸状结构，连接于所述底座或所述上盖且位于所述第一流道内，其中所述凸状结构围绕所述观测区。2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述至少一载台包括紧固组件，所述上盖藉由所述紧固组件而紧固于所述底座。3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，包括两治具，其中所述上盖及所述底座适于分别嵌合于所述两治具，所述两治具适于相对转动以使所述上盖藉由所述紧固组件而紧固于所述底座。4.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，包括至少一治具，其中所述上盖适于嵌合于所述至少一治具，所述至少一治具具有导引贯孔，所述导引贯孔对位于所述观测区，针体适于插入所述导引贯孔并藉由所述导引贯孔的导引而对位于所述观测区，并将所述样品注入所述观测区。5.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜为电子显微镜且包括电子源，所述电子源适于提供电子束至所述观测区。6.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述凸状结构在所述观测区周围形成缓流路径。7.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述底座具有第二流道，所述第二流道内具有多个导热凸部，所述第一流道与所述第二流道彼此迭设，第二流体适于沿所述第二流道流动而调整所述第一流体的温度。8.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述至少一载台包括至少一弹性密封件，所述至少一弹性密封件配置于所述底座与所述上盖之间且围绕所述第一流道。9.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述底座包括座体、可动件及至少一弹性件，所述至少一弹性件连接于所述座体与所述可动件之间，所述观测区对位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李信宏，李正宇，
申请(专利权)人：邑流微测股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71