冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒制造技术

提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。一种冷阴极电离真空计，其特征在于，具有：阳极；筒状的阴极，其以包围阳极的方式配置；密封部，其密封阴极的一侧的开口；第1构件，其在阴极的内部与密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由阴极、密封部以及第1构件围成的空间分隔成第1构件所面对的第1空间和密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于分隔部或第2空间，并且，发出电磁波，在分隔部的外周部的至少一部分与阴极之间形成有间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒
本专利技术涉及一种冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。
技术介绍
冷阴极电离真空计用于对设置到测头容器内的放电空间的阳极与阴极之间施加高电压，产生自放电，从而使气体电离而测定压力。在对阳极与阴极之间施加电压之后不是立即产生放电，因此，优选促进放电开始。例如，在专利文献1中，设置辉光灯而向阴极照射电磁波、具体而言电磁放射线，利用光电效应从阴极产生电子，从而诱发放电。现有技术文献专利文献日本特开平06-26967号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，无法说以往的冷阴极电离真空计一定良好。例如，存在维护的周期比较短的情况，另外，存在无法在足够宽的压力范围内获得稳定的放电特性的情况。本专利技术的目的在于提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。用于解决问题的方案根据实施方式的一观点，提供一种冷阴极电离真空计，该冷阴极电离真空计的特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。根据实施方式的另一观点，提供一种冷阴极电离真空计用盒，该冷阴极电离真空计用盒以能够拆卸的方式配置于冷阴极电离真空计的阴极的内部，该冷阴极电离真空计具备：阳极；筒状的所述阴极，其以包围所述阳极的方式配置；以及密封部，其密封所述阴极的一侧的开口，该冷阴极电离真空计用盒的特征在于，该冷阴极电离真空计用盒具备：第1构件，其与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及筒状的连接部，其连结所述第1构件和所述分隔部，在所述连接部与所述分隔部之间设置有间隙。根据实施方式的又一观点，提供一种冷阴极电离真空计，其特征在于，该冷阴极电离真空计具备：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置，圆盘状的第1磁性构件，其位于所述阴极的内部，具有供所述阳极贯穿的贯通孔；以及圆盘状的第2磁性构件，其以与所述第1磁性构件相对的方式配置于所述阴极的内部，所述第1磁性构件和所述第2磁性构件中的至少一者的中心部的厚度比外周部的厚度厚。根据实施方式的又一观点，提供一种冷阴极电离真空计用盒，该冷阴极电离真空计用盒以能够拆卸的方式配置于冷阴极电离真空计的阴极的内部，该冷阴极电离真空计具有阳极和以包围所述阳极的方式配置的筒状的所述阴极，该冷阴极电离真空计用盒的特征在于，该冷阴极电离真空计用盒具备：圆盘状的第1磁性构件，其位于所述阴极的内部，具有供所述阳极贯穿的贯通孔；以及圆盘状的第2磁性构件，其以与所述第1磁性构件相对的方式配置于所述阴极的内部，所述第1磁性构件和所述第2磁性构件中的至少一者的中心部的厚度比外周部的厚度厚。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。附图说明图1是表示第1实施方式的真空处理装置的概略图。图2是表示第1实施方式的冷阴极电离真空计的剖视图。图3是表示第1实施方式的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。图4是表示比较例的冷阴极电离真空计的剖视图。图5是表示压力-放电电流特性的图表。图6是表示本实施方式的冷阴极电离真空计的压力-放电电流特性的图表。图7是表示比较例的冷阴极电离真空计的压力-放电电流特性的图表。图8是表示放电开始时间的图表。图9是表示第1实施方式的变形例(其1)的冷阴极电离真空计的剖视图。图10是表示第1实施方式的变形例(其2)的冷阴极电离真空计的剖视图。图11是表示第2实施方式的冷阴极电离真空计的剖视图。图12是表示第2实施方式的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。图13是表示第2实施方式的变形例(其1)的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。图14是表示第2实施方式的变形例(其2)的冷阴极电离真空计的测头的剖视图。具体实施方式[第1实施方式]使用附图对第1实施方式的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒进行说明。图1是表示本实施方式的真空处理装置的概略图。图1表示本实施方式的冷阴极电离真空计100安装到真空处理装置S的状态。真空处理装置S是例如成膜装置。作为该成膜装置，可列举出例如溅射装置、PVD装置、CVD装置等。另外，真空处理装置S也可以是灰化装置、干蚀刻装置等表面处理装置。如图1所示，冷阴极电离真空计100具备测头102和与测头102连接起来的冷阴极电离真空计控制部(真空计动作电路)13。真空处理装置S具备真空容器101。测头102以保持着气密的状态安装于真空容器101的壁面的开口部分。具体而言，测头102利用凸缘8与真空容器101连接。此外，冷阴极电离真空计控制部13和测头102既可以独立地设置，也可以一体化。图2是表示本实施方式的冷阴极电离真空计100的剖视图。冷阴极电离真空计100是例如倒置磁控管型真空计，但并不限定于此。测头102具备阳极2(anode)和构成阴极1(cathode)的测头容器(容器、壳体)103。构成阴极1的测头容器103被成形成大致圆筒状(大致管状)。阳极2被成形成棒状。大致圆筒状的阴极1以包围棒状的阳极2的方式定位。放电空间4由阳极2和阴极1形成。测头容器103由例如金属形成。作为测头容器103的材料，使用例如不锈钢等。阳极2由例如金属形成。形成磁场的磁体(磁性部件)3以包围测头容器103的方式设置成环状。作为磁体3，优选使用例如铁氧体磁体等永磁体。在测头容器103的一个端部12设置有绝缘构件6。测头容器103的一个端部(密封部)12被绝缘构件6密封。在绝缘构件6以保持着气密的状态贯通并固定有阳极2。作为绝缘构件6的材料，使用例如氧化铝陶瓷等。测头容器103的另一个端部17开口，与真空容器101连接。在测头容器103内配置有能够更换的测头用盒106。测头用盒106具备：极靴(构件)104、105，其用于调整磁场，并且包围放电空间4；壁部107，其被成形成沿着测头容器103的壁部103a这样的形状，并且包围放电空间4；板状体20；以及光源罩25，其配置于分隔部。将这样的能够更换的测头用盒106配置于测头容器103内的原因在于，阴极部分由于离子的碰撞而劣化。另外，其原因在于，在放电空间4中溅射的阴极构成粒子附着于覆盖光源15的罩25。极靴(第1构件)104固定于筒状的壁部(连接部)107的一端。极靴104位于测头容器103的另一个端部17与极靴(第2构件)105之间。极靴104既可以由磁性体形成，也可以由非磁性体形成。在使用了非磁性体作为极靴104的材料的情况下，磁力线相对于测头容器103的壁面弯曲，但在使用了磁性体作为极靴104的材料的情况下，磁力线与测头容器103的壁面平行。因此，出于抑制测头容器103内的电子的偏置的观点考虑，优选使用磁性体作为极靴104的材料。作为极靴104的材料，使用例如磁性体的不锈钢、非磁性体的不锈钢等。极靴104与测头容器1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷阴极电离真空计，其特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种冷阴极电离真空计，其特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。2.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述分隔部包括第2构件和配置到所述第2构件的靠所述第1空间的一侧的第3构件，所述光源的至少一部分配置于所述第2构件与所述第3构件之间。3.根据权利要求2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第2构件的外周部处的所述第2构件与所述第3构件之间的距离比所述第2构件的中心部处的所述第2构件与所述第3构件之间的距离大。4.根据权利要求2或3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述间隙形成于所述第3构件的外周部的至少一部分与所述阴极之间。5.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述分隔部由第2构件构成，所述光源的至少一部分配置于所述第2空间。6.根据权利要求2～5中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第2构件的中心部的厚度比所述第2构件的外周部的厚度厚。7.根据权利要求6所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第2构件的厚度从所述第2构件的外周部朝向所述第2构件的中心部连续地变化。8.根据权利要求1～7中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述光源与所述阴极之间的距离比所述光源与所述阳极之间的距离短。9.根据权利要求2～7中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第1构件和所述第2构件是磁性体。10.根据权利要求2～4中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第3构件由非磁性体形成。11.根据权利要求1～10中任一项所述的冷阴极...

【专利技术属性】
技术研发人员：川崎洋補，江野本至，望月勲，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP