冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒制造技术

提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。一种冷阴极电离真空计，其特征在于，具有：阳极；筒状的阴极，其以包围阳极的方式配置；密封部，其密封阴极的一侧的开口；第1构件，其在阴极的内部与密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由阴极、密封部以及第1构件围成的空间分隔成第1构件所面对的第1空间和密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于分隔部或第2空间，并且，发出电磁波，在分隔部的外周部的至少一部分与阴极之间形成有间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒
本专利技术涉及一种冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。
技术介绍
冷阴极电离真空计用于对设置到测头容器内的放电空间的阳极与阴极之间施加高电压，产生自放电，从而使气体电离而测定压力。在对阳极与阴极之间施加电压之后不是立即产生放电，因此，优选促进放电开始。例如，在专利文献1中，设置辉光灯而向阴极照射电磁波、具体而言电磁放射线，利用光电效应从阴极产生电子，从而诱发放电。现有技术文献专利文献日本特开平06-26967号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，无法说以往的冷阴极电离真空计一定良好。例如，存在维护的周期比较短的情况，另外，存在无法在足够宽的压力范围内获得稳定的放电特性的情况。本专利技术的目的在于提供一种良好的冷阴极电离真空计和冷阴极电离真空计用盒。用于解决问题的方案根据实施方式的一观点，提供一种冷阴极电离真空计，该冷阴极电离真空计的特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷阴极电离真空计，其特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种冷阴极电离真空计，其特征在于，该冷阴极电离真空计具有：阳极；筒状的阴极，其以包围所述阳极的方式配置；密封部，其密封所述阴极的一侧的开口；第1构件，其在所述阴极的内部与所述密封部相对，设置有贯通孔；分隔部，其将由所述阴极、所述密封部以及所述第1构件围成的空间分隔成所述第1构件所面对的第1空间和所述密封部所面对的第2空间；以及光源，其配置于所述分隔部或所述第2空间，并且，发出电磁波，在所述分隔部的外周部的至少一部分与所述阴极之间形成有间隙。2.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述分隔部包括第2构件和配置到所述第2构件的靠所述第1空间的一侧的第3构件，所述光源的至少一部分配置于所述第2构件与所述第3构件之间。3.根据权利要求2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第2构件的外周部处的所述第2构件与所述第3构件之间的距离比所述第2构件的中心部处的所述第2构件与所述第3构件之间的距离大。4.根据权利要求2或3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述间隙形成于所述第3构件的外周部的至少一部分与所述阴极之间。5.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述分隔部由第2构件构成，所述光源的至少一部分配置于所述第2空间。6.根据权利要求2～5中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第2构件的中心部的厚度比所述第2构件的外周部的厚度厚。7.根据权利要求6所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第2构件的厚度从所述第2构件的外周部朝向所述第2构件的中心部连续地变化。8.根据权利要求1～7中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述光源与所述阴极之间的距离比所述光源与所述阳极之间的距离短。9.根据权利要求2～7中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第1构件和所述第2构件是磁性体。10.根据权利要求2～4中任一项所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述第3构件由非磁性体形成。11.根据权利要求1～10中任一项所述的冷阴极...

【专利技术属性】
技术研发人员：川崎洋補，江野本至，望月勲，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP