喷淋装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种喷淋装置，能够用于液晶显示器的生产过程，设置于喷淋室内，其包括上机架、连接架、偏心轮和马达。所述偏心轮包括中心孔、多个偏心孔和连杆；所述中心孔与所述偏心轮固定连接；所述偏心孔设置于所述偏心轮上；所述连杆固定安装于所述偏心孔，所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接，所述马达带动所述偏心轮转动，所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。本发明专利技术通过带动喷淋机架进行往复运动喷淋，可实现喷淋机架进行30°‑60°不同幅度的摆动，可有效避免因个别喷嘴堵塞造成对基板喷淋不均匀现象，从而保证基板喷淋均匀，减少喷淋偏差，使得基板喷淋均匀，提高生产效率和产品质量。

Spray device

【技术实现步骤摘要】
喷淋装置
本专利技术涉及微电子加工设备
，尤其涉及一种用在液晶显示器生产过程中的喷淋装置。
技术介绍
在显示
，液晶显示器件(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管显示器件(OrganicLightEmittingDiode，OLED)等平板显示器件已经逐步取代阴极射线管(CathodeRayTube，CRT)显示器。LCD显示器件是由一片薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)与一片彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板贴合而成，且在TFT基板与CF基板之间灌入液晶，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。在TFT-LCD制造工艺中，ITO(IndiumTinOxide，氧化铟锡)凭借其自身优良的特性，被广泛用于制作透明显示电极。在ITO透明显示电极制作过程中，首先通过磁控溅射形成ITO薄膜，再经过光刻形成光刻胶图形，最后通过湿法刻蚀将ITO薄膜图案化，形成最终的透明显示电极。如图1所示，为现有技术用于ITO薄膜喷涂蚀刻的流程图。请参照图1，表面覆盖ITO薄膜的基板由入口单元(INCV)进入，在清洗腔(EUV)中去除表面的有机物，而后进入刻蚀腔(ETCH)。在刻蚀腔中，通过刻蚀液将基板上不需要保留的ITO薄膜(即未被光刻胶图形覆盖的ITO薄膜)去除。而后基板被送出，经由水洗单元(SWR)进行清洗，去除基板表面残留的刻蚀液，最后经干燥并由传送单元(NT)和出口单元(OUTCV)被传送出喷淋装置。但是，在清洗腔(EUV)、刻蚀腔(ETCH)和水洗单元(SWR)均使用固定安装的喷淋装置对基板进行喷淋，由于在清洗腔(EUV)和水洗单元(SWR)会冲洗除去杂质，在刻蚀腔(ETCH)会产生蚀刻液结晶，因此喷淋装置上的喷嘴在生产过程中会产生堵塞，或者其他原因导致喷洒偏差，从而基板喷淋不均匀，最终造成产品不良。
技术实现思路
鉴于上述技术问题，本专利技术提供了一种喷淋装置，通过带动喷淋机架进行往复运动喷淋，从而保证基板喷淋均匀，减少喷淋偏差，使得基板喷淋均匀，提高生产效率和产品质量。为了解决上述问题，本专利技术提供一种喷淋装置，能够用于液晶显示器的生产过程，设置于喷淋室内，其包括上机架、连接架、偏心轮和马达。具体地，所述上机架可活动安装于所述喷淋室顶部；所述上机架的下方均匀排布多个喷嘴；所述连接架设于所述上机架的一侧，通过一摇杆与所述偏心轮可转动连接；所述马达带动所述偏心轮转动；其中，所述偏心轮包括中心孔、多个偏心孔和连杆；所述中心孔与所述偏心轮固定连接；所述偏心孔设置于所述偏心轮上；所述连杆固定安装于所述偏心孔上，所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接，所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。进一步的，其中所述偏心轮和所述马达之间还包括齿轮箱，所述齿轮箱的一端通过第一齿轮与所述偏心轮的中心轴可转动连接，其另一端通过第二齿轮与所述马达可转动连接。进一步的，其中所述喷淋装置还包括下机架，所述下机架的上表面均匀排布多个喷嘴；所述下机架与所述上机架固定连接；所述下机架与所述上机架同步往复运动，对位于两者之间的基板进行喷淋。进一步的，其中所述上机架还包括多个导管和汇总导管，所述导管与所述喷嘴的进液口一一对应连接，所述汇总导管所述多个导管的另一端均连接于汇总导管。进一步的，其中所述上机架还包括至少一辊轮，设置于所述上机架的表面，可实现所述上机架相对于所述喷淋室顶部在往复运动方向上滑动。进一步的，其中所述辊轮位于所述上机架的下表面，且分布在往复运动方向上的所述上机架的两侧。进一步的，其中所述辊轮位于所述上机架的上表面，且分布在往复运动方向上的所述上机架的中心位置，所述辊轮可滑动安装于所述喷淋室顶部。进一步的，其中所述上机架还包括铰接杆，所述铰接杆的一端可转动设置于所述上机架的上表面，其另一端可转动设置于所述喷淋室顶部，可实现所述上机架相对于所述喷淋室顶部往复运动。进一步的，其中所述铰接杆可转动设置于所述上机架上表面的中心线处，所述中心线与往复运动的方向一致。进一步的，其中所述喷嘴喷射纯水或蚀刻液。本专利技术的有益效果在于，提供一种喷淋装置，通过带动喷淋机架进行往复运动喷淋，可实现喷淋机架进行30°-60°不同幅度的摆动，可有效避免因个别喷嘴堵塞造成对基板喷淋不均匀现象，从而保证基板喷淋均匀，减少喷淋偏差，使得基板喷淋均匀，提高生产效率和产品质量。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术用于ITO薄膜喷涂蚀刻的流程图；图2为本专利技术第一实施例所述喷淋装置的俯视图；图3为本专利技术第一实施例所述喷淋装置的主视图；图4为本专利技术第一实施例所述喷淋装置的右视图；图5为本专利技术第一实施例所述偏心轮的结构示意图；图6为本专利技术第一实施例所述偏心轮的摆动原理示意图；图7为本专利技术第二实施例所述喷淋装置的右视图。图中部件标识如下：1、上机架，2、连接架，3、偏心轮，4、马达，5、摇杆，6、齿轮箱，7、下机架，10、喷淋装置，11、喷嘴，12、导管，13、辊轮，14、铰接杆，15、汇总导管，20、喷淋室，30、基板，31、中心轴，32、中心孔，33、偏心孔，34、连杆，61、第一齿轮，62、第二齿轮。具体实施方式在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请参照图1，表面覆盖ITO薄膜的基板由入口单元(INCV)进入，在清洗腔(EUV)中去除表面的有机物，而后进入刻蚀腔(ETCH)。在刻蚀腔中，通过刻蚀液将基板上不需要保留的ITO薄膜(即未被光刻胶图形覆盖的ITO薄膜)去除。而后基板被送出，经由水洗单元(SWR)进行清洗，去除基板表面残留的刻蚀液，最后经干燥并由传送单元(NT)和出口单元(OUTCV)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷淋装置，能够用于液晶显示器的生产过程，设置于喷淋室内，其特征在于，所述喷淋装置包括上机架、连接架、偏心轮和马达；所述上机架可活动安装于所述喷淋室顶部；所述上机架的下方均匀排布多个喷嘴；所述连接架设于所述上机架的一侧，通过一摇杆与所述偏心轮可转动连接；所述马达带动所述偏心轮转动；其中，所述偏心轮包括：中心孔，设置于所述偏心轮的中心，所述中心轴贯穿中心孔与所述偏心轮固定连接；多个偏心孔，设置于所述偏心轮上；以及连杆，固定安装于所述偏心孔上，所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接，所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。

【技术特征摘要】
1.一种喷淋装置，能够用于液晶显示器的生产过程，设置于喷淋室内，其特征在于，所述喷淋装置包括上机架、连接架、偏心轮和马达；所述上机架可活动安装于所述喷淋室顶部；所述上机架的下方均匀排布多个喷嘴；所述连接架设于所述上机架的一侧，通过一摇杆与所述偏心轮可转动连接；所述马达带动所述偏心轮转动；其中，所述偏心轮包括：中心孔，设置于所述偏心轮的中心，所述中心轴贯穿中心孔与所述偏心轮固定连接；多个偏心孔，设置于所述偏心轮上；以及连杆，固定安装于所述偏心孔上，所述摇杆套设于所述连杆上实现可转动连接，所述连杆随所述偏心轮转动带动所述摇杆实现所述上机架做往复运动。2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述偏心轮和所述马达之间还包括：齿轮箱，其一端通过第一齿轮与所述偏心轮的中心轴可转动连接，其另一端通过第二齿轮与所述马达可转动连接。3.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，还包括：下机架，所述下机架的上表面均匀排布多个喷嘴；所述下机架与所述上机架固定连接；所述下机架与所述上机架同步往复运动，对位于两者之间的基板进行喷淋。4.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建锋，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42