基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种固化工艺及装置，具体涉及一种基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置。向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉正下方，将微波处理炉完全覆盖住光罩盒，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；开启微波炉侧面的进气门，启动热气流加热装置，使用热气流喷射光罩盒，关闭高压喷射气流，部件固化和表面缺陷消除完成。本发明专利技术避免引入挥发性有机物杂质，有效去除热塑成型工艺造成的部件表面缺陷，固化速度快，效率高，能耗低，均匀性好，安全性高；本发明专利技术同时提供其装置。

Curing technology and device of light cover box based on microwave treatment

【技术实现步骤摘要】
基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置
本专利技术涉及一种固化工艺及装置，具体涉及一种基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置。
技术介绍
光刻(photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆，还可以是其他金属层、介质层，例如玻璃、蓝宝石，碳化硅等材料，应用范围包括但不仅限于半导体(Semiconductor)行业，液晶显示行业(LED)或者平板显示行业(FPD)。光刻技术中最关键的耗材材料称为光罩，包括倍缩光掩模(英文：Reticle)和光掩模(英文：Mask或者Photomask)两种。目前最先进的极紫外光光刻技术用的是光掩模。光罩的材质包括石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉内，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；使用热气流喷射光罩盒，喷射完毕后，排气，处理完成。

【技术特征摘要】
1.一种基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉内，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；使用热气流喷射光罩盒，喷射完毕后，排气，处理完成。2.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：启动微波电源进行固化中微波电源的功率为2000W-5000W。3.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：使用热气流喷射光罩盒中的热气流温度为150-220℃，热气流喷射的速度为5L/min-25L/min，热气流喷射时间持续20s。4.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：碳材料与树脂材料的重量比介于1/1000和1/200之间。5.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：树脂材料为聚碳酯酸、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、聚偏氟乙稀或聚四氟乙烯的一种或多种；碳材料为碳黑、碳纳米管或碳纤维中的一种或多种。6.根据权利要求1-5任一所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：包括以下步骤：(1)向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒；(2)将光罩盒的温度冷却到室温；(3)将光罩盒放置于微波处理炉内；(4)启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；(5)打开进气口，使用150...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾杰，
申请(专利权)人：曾杰，
类型：发明
国别省市：新加坡,SG