一种半自动取片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半自动取片机，包括工作台、万向轮、旋转轴机构、陶瓷盘循环水、料盒放置机构、升降滑轨和感应器，四组所述万向轮分别两两对称安装在工作台的底部，所述旋转轴机构通过螺栓固定在工作台的上部一侧，所述旋转轴机构与陶瓷盘转动连接，所述喷水滑道设置在旋转轴机构的一侧，所述循环水设置在喷水滑道的另一侧，所述料盒放置机构通过螺栓固定在升降滑轨的底部，所述升降滑轨与壳体的一侧滑动连接，所述升降滑轨通过丝杆与升降电机传动连接，所述壳体的顶部通过螺栓固定有顶部板，所述感应器安装在顶部板的一端，所述升降滑轨的一侧设有控制面板，所述控制面板安装在壳体的内部，取片时，晶片直接进入cattle，无需加热取片工序。

【技术实现步骤摘要】
一种半自动取片机
本技术属于取片机
，具体涉及一种半自动取片机。
技术介绍
JLT-02型半自动取片机是根据国际半导体产业和蓝宝石产业的发展和市场需求而研发的半自动取片设备。主要用于硅片、蓝宝石片等类似材料的抛光后取片工序，取代传统的人工手动取片，具有速度快、不良少、效率高等特点，是半导体、蓝宝石行业加工工艺中必不可少的设备之一。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半自动取片机，取片时，晶片直接进入cattle，无需加热取片工序，提升产能，降低劳动强度，减少用人成本，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半自动取片机，包括工作台、万向轮、旋转轴机构、陶瓷盘、喷水滑道、循环水、料盒放置机构、升降滑轨和感应器，四组所述万向轮分别两两对称安装在工作台的底部，所述旋转轴机构通过螺栓固定在工作台的上部一侧，所述旋转轴机构与陶瓷盘转动连接，所述喷水滑道设置在旋转轴机构的一侧，所述循环水设置在喷水滑道的另一侧，所述料盒放置机构设置在循环水的内部，所述料盒放置机构通过螺栓固定在升降滑轨的底部，所述工作台的一侧通过螺栓固定有壳体，所述升降滑轨与壳体的一侧滑动连接，所述升降滑轨通过丝杆与升降电机传动连接，所述壳体的顶部通过螺栓固定有顶部板，所述感应器安装在顶部板的一端，所述升降滑轨的一侧设有控制面板，所述控制面板安装在壳体的内部，所述升降电机与控制面板电性连接，所述感应器与控制面板电性连接。优选的，所述工作台包括防护板和水槽，所述防护板通过螺栓固定在工作台的上部一侧，所述水槽设置在工作台的内部。优选的，所述旋转轴机构包括旋转座、旋转轴、轴承组和旋转台，所述旋转座的底部通过螺栓固定在工作台上，所述旋转轴通过轴承组安装在旋转座的内部，所述旋转台通过螺栓固定在旋转轴的上端。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、提升产能，降低劳动强度，减少用人成本；2、取片时，晶片直接进入cattle，无需加热取片工序；3、部件多采用进口产品，性能稳定可靠，故障少，维护成本低，占地空间小，操作方便。4、设备自带纯水循环系统，有效降低生产成本。附图说明图1为本技术的剖视图；图2为本技术的侧视图。图中：1、工作台；101、防护板；102、水槽；2、万向轮；3；旋转轴机构；301、旋转座；302、旋转轴；303、轴承组；304、旋转台；4、陶瓷盘；5、喷水滑道；6、循环水；7、料盒放置机构；8、升降滑轨；9、升降电机；10、顶部板；11、感应器；12、壳体；13、控制面板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种半自动取片机，包括工作台1、万向轮2、旋转轴机构3、陶瓷盘4、喷水滑道5、循环水6、料盒放置机构7、升降滑轨8和感应器11，四组所述万向轮2分别两两对称安装在工作台1的底部，所述旋转轴机构3通过螺栓固定在工作台1的上部一侧，所述旋转轴机构3与陶瓷盘4转动连接，所述喷水滑道5设置在旋转轴机构3的一侧，所述循环水6设置在喷水滑道5的另一侧，所述料盒放置机构7设置在循环水6的内部，所述料盒放置机构7通过螺栓固定在升降滑轨8的底部，所述工作台1的一侧通过螺栓固定有壳体12，所述升降滑轨8与壳体12的一侧滑动连接，所述升降滑轨8通过丝杆与升降电机9传动连接，所述壳体12的顶部通过螺栓固定有顶部板10，所述感应器11安装在顶部板10的一端，所述升降滑轨8的一侧设有控制面板13，所述控制面板13安装在壳体12的内部，所述升降电机9与控制面板13电性连接，所述感应器11与控制面板13电性连接。具体的，所述工作台1包括防护板101和水槽102，所述防护板101通过螺栓固定在工作台1的上部一侧，所述水槽102设置在工作台1的内部。具体的，所述旋转轴机构3包括旋转座301、旋转轴302、轴承组303和旋转台304，所述旋转座301的底部通过螺栓固定在工作台1上，所述旋转轴302通过轴承组303安装在旋转座301的内部，所述旋转台304通过螺栓固定在旋转轴302的上端，旋转台304呈一定角度倾斜，旋转台304的最低端与喷水滑道5靠近，喷水滑道5也呈一定角度倾斜，喷水滑道5的最低端与水槽102接近，取片机自带纯水循环系统，使用自来水需加装过滤器。工作原理：1、将空cattle安放到料盒放置机构7上固定好，按复位按钮，机台启动自动程序：纯水喷洒开始，cattle自动下降到第一工作位置；2、将载有晶片的陶瓷盘4放置于旋转轴机构3上，用铲刀将晶片剥离，使之顺喷水滑道5滑入cattle中，完成一次取片；3、晶片进入cattle后，触发检测传感器，cattle自动下降一个槽距的位置，为接收下一片做好准备；4、重复步骤二和三至cattle满载，按上升按钮，cattle升起脱离水面，完成一个取片循环。5、控制面板13上的下降按钮可以手动将cattle下降到指定槽位进行取片工作。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半自动取片机，包括工作台(1)、万向轮(2)、旋转轴机构(3)、陶瓷盘(4)、喷水滑道(5)、循环水(6)、料盒放置机构(7)、升降滑轨(8)和感应器(11)，其特征在于：四组所述万向轮(2)分别两两对称安装在工作台(1)的底部，所述旋转轴机构(3)通过螺栓固定在工作台(1)的上部一侧，所述旋转轴机构(3)与陶瓷盘(4)转动连接，所述喷水滑道(5)设置在旋转轴机构(3)的一侧，所述循环水(6)设置在喷水滑道(5)的另一侧，所述料盒放置机构(7)设置在循环水(6)的内部，所述料盒放置机构(7)通过螺栓固定在升降滑轨(8)的底部，所述工作台(1)的一侧通过螺栓固定有壳体(12)，所述升降滑轨(8)与壳体(12)的一侧滑动连接，所述升降滑轨(8)通过丝杆与升降电机(9)传动连接，所述壳体(12)的顶部通过螺栓固定有顶部板(10)，所述感应器(11)安装在顶部板(10)的一端，所述升降滑轨(8)的一侧设有控制面板(13)，所述控制面板(13)安装在壳体(12)的内部，所述升降电机(9)与控制面板(13)电性连接，所述感应器(11)与控制面板(13)电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种半自动取片机，包括工作台(1)、万向轮(2)、旋转轴机构(3)、陶瓷盘(4)、喷水滑道(5)、循环水(6)、料盒放置机构(7)、升降滑轨(8)和感应器(11)，其特征在于：四组所述万向轮(2)分别两两对称安装在工作台(1)的底部，所述旋转轴机构(3)通过螺栓固定在工作台(1)的上部一侧，所述旋转轴机构(3)与陶瓷盘(4)转动连接，所述喷水滑道(5)设置在旋转轴机构(3)的一侧，所述循环水(6)设置在喷水滑道(5)的另一侧，所述料盒放置机构(7)设置在循环水(6)的内部，所述料盒放置机构(7)通过螺栓固定在升降滑轨(8)的底部，所述工作台(1)的一侧通过螺栓固定有壳体(12)，所述升降滑轨(8)与壳体(12)的一侧滑动连接，所述升降滑轨(8)通过丝杆与升降电机(9)传动连接，所述壳体(12)的顶部通过螺栓固定有顶部板(10)，所述感应器(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢德元，
申请(专利权)人：苏州恒力翔自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32