一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体，所述储液瓶的出液端安装有导流管，所述导流管套接于导气管的内侧，所述导气管和导流管的端侧均安装有挡板，所述挡板的中部均匀等距开设有通孔，所述挡板的侧部安装有滑槽，所述滑槽的内部活接有滑块，所述滑块的上部安装有电动推杆，所述滑块的上部安装有卡块，所述电加热器安装于储液瓶的下部，所述箱体的下部安装有排液管，所述排液管的下部安装有收集箱，所述收集箱的侧部安装有喷嘴，所述收集箱的侧部安装有水泵。本实用新型专利技术简便的调节氢氟酸蒸汽喷入后与硅衬板的接触部位，达到有效的刻蚀，同时，有效的实现刻蚀后氢氟酸蒸汽的处理，避免影响环境。

An easy to control hydrofluoric acid steam etching device for silicon

【技术实现步骤摘要】
一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置
本技术涉及氢氟酸蒸汽刻蚀硅
，具体为一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置。
技术介绍
化学气相沉积、电子束和反应离子束刻蚀是常见的硅纳米结构制备方法，然而这些方法由于生长机制的限制，需要较高的温度或贵重设备，近年来提出的金属催化刻蚀技术可以在硅衬底表面刻蚀制备出大面积单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列，上述方法采用化学镀或物理沉积技术，在硅表面沉积一层银或金纳米颗粒薄膜，然后将处理过的硅衬底浸入含有硝酸银或双氧水的氢氟酸溶液中进行腐蚀，液相刻蚀技术不需要高温和复杂设备，但需要消耗大量的氢氟酸，用到的双氧水、硝酸银等强氧化剂毒性大且成本高，因而氢氟酸蒸汽刻蚀硅得到越来越广泛的应用。但是，现有的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置是将硅衬板放置在箱体的内部，然后通入氢氟酸蒸汽进行刻蚀，不能调节氢氟酸蒸汽喷入后与硅衬板的接触范围，导致在刻蚀过程中，影响刻蚀的速度和质量，另一方面，刻蚀完成后的氢氟酸蒸汽不能进行有效的处理，影响环境且容易导致操作人员中毒。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，简便的调节氢氟酸蒸汽喷入后与硅衬板的接触部位，达到有效的刻蚀，同时，有效的实现刻蚀后氢氟酸蒸汽的处理，避免影响环境，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体、储液瓶和电加热器，所述箱体的侧部安装有风机，所述风机的出气端通过导气管贯穿箱体的侧壁，所述储液瓶的出液端安装有导流管，所述导流管套接于导气管的内侧，所述导气管和导流管的端侧均安装有挡板，所述挡板的中部均匀等距开设有通孔，所述挡板的侧部安装有滑槽，所述滑槽的内部活接有滑块，所述滑块的上部安装有电动推杆，所述滑块的中部开有通槽，所述滑块的上部安装有卡块，所述电加热器安装于储液瓶的下部，所述箱体的下部安装有排液管，所述排液管的下部安装有收集箱，所述收集箱的侧部安装有喷嘴，所述收集箱的侧部安装有水泵，所述水泵的出水端与喷嘴连通。优选的，所述风机的出气端和储液瓶的出气端均安装有流量调节阀，且所述风机为变频风机。优选的，所述导流管为聚四氟乙烯导流管，所述挡板为聚四氟乙烯挡板，所述挡板向水平方向倾斜的角度在20°-30°。优选的，所述电动推杆的侧部通过支撑架安装于箱体的上部，所述电动推杆与滑块之间安装有筋条。优选的，所述卡块的侧壁覆盖有聚四氟乙烯密封圈，且所述卡块的侧截面呈凸字形设置。优选的，所述收集箱的下部安装有排污管，且所述收集箱为聚四氟乙烯收集箱。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、通过储液瓶储存氢氟酸，通过电加热器加热氢氟酸产生氢氟酸蒸汽，产生的氢氟酸蒸汽进入导流管，通过风机将空气鼓入导气管，并在通孔的作用下喷射到滑槽的内部，通过通槽放置硅衬板，通过卡块对硅衬板进行固定，通过电动推杆调节硅衬板与挡板相对的位置，进而实现对硅衬板不同部位的刻蚀；2、通过收集箱收集废弃的氢氟酸蒸汽，通过水泵将外界饱和的氢氧化钙经过喷嘴均匀的喷入收集箱，有效的对废弃的氢氟酸蒸汽进行处理，避免污染环境。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的挡板部分结构放大剖视图；图3为本技术图1中A部分结构放大剖视图。图中：1箱体、2储液瓶、3电加热器、4风机、5导气管、6导流管、7挡板、8通孔、9滑槽、10滑块、11电动推杆、12通槽、13卡块、14排液管、15收集箱、16喷嘴、17水泵、18流量调节阀、19支撑架、20筋条、21聚四氟乙烯密封圈、22排污管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体1、储液瓶2和电加热器3，所述箱体1的侧部安装有风机4，箱体1为聚四氟乙烯箱体，所述风机4的出气端通过导气管5贯穿箱体1的侧壁，导气管5是聚四氟乙烯导气管，所述储液瓶2的出液端安装有导流管6，所述导流管6套接于导气管5的内侧，所述导气管5和导流管6的端侧均安装有挡板7，所述挡板7的中部均匀等距开设有通孔8，通孔8方便空气和氢氟酸蒸汽的流出，所述挡板7的侧部安装有滑槽9，所述滑槽9的内部活接有滑块10，所述滑块10的上部安装有电动推杆11，所述滑块10的中部开有通槽12，通槽12用于放置硅衬板，所述滑块10的上部安装有卡块13，卡块13用于对硅衬板进行固定，所述电加热器3安装于储液瓶2的下部，所述箱体1的下部安装有排液管14，所述排液管14的下部安装有收集箱15，收集箱15用于收集氢氟酸蒸汽，所述收集箱15的侧部安装有喷嘴16，喷嘴16方便饱和氢氧化钠溶液的均匀喷出，保证较好的处理效果，所述收集箱15的侧部安装有水泵17，所述水泵17的出水端与喷嘴16连通。具体的，所述风机4的出气端和储液瓶2的出气端均安装有流量调节阀18，且所述风机4为变频风机，流量调节阀18为气体流量调节阀，流量调节阀18的阀体为聚四氟乙烯阀体，便于对空气量和氢氟酸蒸汽量进行调节。具体的，所述导流管6为聚四氟乙烯导流管，所述挡板7为聚四氟乙烯挡板，所述挡板7向水平方向倾斜的角度在20°-30°，保证装置的正常使用，并有效的实现对硅衬板刻蚀部位的刻蚀。具体的，所述电动推杆11的侧部通过支撑架19安装于箱体1的上部，所述电动推杆11与滑块10之间安装有筋条20，支撑架19便于对电动推杆11固定，筋条20增加电动推杆11与滑块10之间的连接强度。具体的，所述卡块13的侧壁覆盖有聚四氟乙烯密封圈21，且所述卡块13的侧截面呈凸字形设置，聚四氟乙烯密封圈21有效的实现密封，避免氢氟酸蒸汽的泄漏。具体的，所述收集箱15的下部安装有排污管22，且所述收集箱15为聚四氟乙烯收集箱，排污管22方便处理完成后的排污。工作原理：使用时，通过储液瓶2储存氢氟酸，通过电加热器3加热氢氟酸产生氢氟酸蒸汽，产生的氢氟酸蒸汽进入导流管6，通过风机4将空气鼓入导气管5，并在通孔8的作用下喷射到滑槽9的内部，通过通槽12放置硅衬板，通过卡块13对硅衬板进行固定，通过电动推杆11调节硅衬板与挡板7相对的位置，进而实现对硅衬板不同部位的刻蚀，通过收集箱15收集废弃的氢氟酸蒸汽，通过水泵17将外界饱和的氢氧化钙经过喷嘴16均匀的喷入收集箱15，有效的对废弃的氢氟酸蒸汽进行处理，避免污染环境。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体(1)、储液瓶(2)和电加热器(3)，其特征在于：所述箱体(1)的侧部安装有风机(4)，所述风机(4)的出气端通过导气管(5)贯穿箱体(1)的侧壁，所述储液瓶(2)的出液端安装有导流管(6)，所述导流管(6)套接于导气管(5)的内侧，所述导气管(5)和导流管(6)的端侧均安装有挡板(7)，所述挡板(7)的中部均匀等距开设有通孔(8)，所述挡板(7)的侧部安装有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部活接有滑块(10)，所述滑块(10)的上部安装有电动推杆(11)，所述滑块(10)的中部开有通槽(12)，所述滑块(10)的上部安装有卡块(13)，所述电加热器(3)安装于储液瓶(2)的下部，所述箱体(1)的下部安装有排液管(14)，所述排液管(14)的下部安装有收集箱(15)，所述收集箱(15)的侧部安装有喷嘴(16)，所述收集箱(15)的侧部安装有水泵(17)，所述水泵(17)的出水端与喷嘴(16)连通。

【技术特征摘要】
1.一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体(1)、储液瓶(2)和电加热器(3)，其特征在于：所述箱体(1)的侧部安装有风机(4)，所述风机(4)的出气端通过导气管(5)贯穿箱体(1)的侧壁，所述储液瓶(2)的出液端安装有导流管(6)，所述导流管(6)套接于导气管(5)的内侧，所述导气管(5)和导流管(6)的端侧均安装有挡板(7)，所述挡板(7)的中部均匀等距开设有通孔(8)，所述挡板(7)的侧部安装有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部活接有滑块(10)，所述滑块(10)的上部安装有电动推杆(11)，所述滑块(10)的中部开有通槽(12)，所述滑块(10)的上部安装有卡块(13)，所述电加热器(3)安装于储液瓶(2)的下部，所述箱体(1)的下部安装有排液管(14)，所述排液管(14)的下部安装有收集箱(15)，所述收集箱(15)的侧部安装有喷嘴(16)，所述收集箱(15)的侧部安装有水泵(17)，所述水泵(17)的出水端与喷嘴(16)连通。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈训海，
申请(专利权)人：福建省顺昌富宝腾达化工有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35