压电陶瓷元件的制备方法技术

一种制备压电陶瓷元件的方法，包括如下步骤：(1)对长方体形的压电陶瓷片的两条对角棱进行圆角处理；(2)对经过步骤(1)处理后的压电陶瓷片的表面进行金属化；(3)对步骤(2)得到的压电陶瓷片的、与经过圆角处理的两条对角棱平行的另外两条对角棱进行倒角处理；(4)整合步骤(3)得到的压电陶瓷片，形成带有圆角槽和倒角槽的压电陶瓷堆；(5)对所述圆角槽进行导电保护并且对所述倒角槽进行绝缘保护；(6)对经过步骤(5)处理后的压电陶瓷堆的表面进行金属化，以形成导电层；(7)去掉经过步骤(6)处理后的压电陶瓷堆的上表面和下表面处具有倒角的位置处的导电层。本发明专利技术的方法不需要过多焊接，增加了压电陶瓷元件的安全性。

Preparation of piezoelectric ceramic elements

【技术实现步骤摘要】
压电陶瓷元件的制备方法
本专利技术属于压电陶瓷
具体地，本专利技术涉及一种可实现任意极化方向压电陶瓷元件的制备方法。
技术介绍
随着机电一体化的发展，压电陶瓷驱动元件在机电转换中起到越来越重要的作用，比如作为扫描隧道显微镜中步进电机的驱动器。但单片的压电陶瓷往往效率很低，尤其是低温下，压电陶瓷的压电系数显著地下降，因此由多层压电陶瓷构成的压电陶瓷元件得到更加广泛的应用。此外，由于单片压电陶瓷的偏移量过小，往往不能满足使用的需求，因此多层压电陶瓷协同工作成为最常见的使用形式。对于纵向极化的压电陶瓷可以在烧结之前把电极加入，烧结后加电压极化的方法做成压电陶瓷堆。现在对于纵向极化压电陶瓷元件的制作工艺通常是先布置好需要的电极，然后混入压电陶瓷粉，最后再烧结，这样可以制作出所需的电极形式，最后在电极间加高压进行极化。但这种工艺由于是最后极化，因此只适用于纵向极化的压电陶瓷元件。对于切向极化的压电陶瓷由于要在垂直于厚度方向加电场极化，因此不能用纵向极化的烧结电极的方法处理，之前的方法只有把已经极化的压电陶瓷切角焊线或者在已经极化的压电陶瓷中间加导电片而连接电极。这两种方法均会使得压电陶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备压电陶瓷元件的方法，包括如下步骤：(1)对长方体形的压电陶瓷片的两条对角棱进行圆角处理；(2)对经过步骤(1)处理后的压电陶瓷片的表面进行金属化，以形成导电层；(3)对步骤(2)得到的压电陶瓷片的、与经过圆角处理的两条对角棱平行的另外两条对角棱进行倒角处理；(4)整合步骤(3)得到的压电陶瓷片，形成带有圆角槽和倒角槽的压电陶瓷堆；所述整合是在相邻压电陶瓷片的极化方向相反、相邻压电陶瓷片的圆角与圆角相接且相邻压电陶瓷片的倒角与倒角相接的条件下进行的；(5)对所述圆角槽进行导电保护并且对所述倒角槽进行绝缘保护；(6)对经过步骤(5)处理后的压电陶瓷堆的表面进行金属化，以形成导电层；(7...

【技术特征摘要】
1.一种制备压电陶瓷元件的方法，包括如下步骤：(1)对长方体形的压电陶瓷片的两条对角棱进行圆角处理；(2)对经过步骤(1)处理后的压电陶瓷片的表面进行金属化，以形成导电层；(3)对步骤(2)得到的压电陶瓷片的、与经过圆角处理的两条对角棱平行的另外两条对角棱进行倒角处理；(4)整合步骤(3)得到的压电陶瓷片，形成带有圆角槽和倒角槽的压电陶瓷堆；所述整合是在相邻压电陶瓷片的极化方向相反、相邻压电陶瓷片的圆角与圆角相接且相邻压电陶瓷片的倒角与倒角相接的条件下进行的；(5)对所述圆角槽进行导电保护并且对所述倒角槽进行绝缘保护；(6)对经过步骤(5)处理后的压电陶瓷堆的表面进行金属化，以形成导电层；(7)去掉经过步骤(6)处理后的压电陶瓷堆的上表面和下表面处具有倒角的位置处的导电层。2.根据权利要求1所述的方法，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立民，潘庶亨，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11