基板支撑台制造技术

本发明专利技术提供可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。由基台(10a)和支撑板(10b)构成，支撑板(10b)为具有从表面突出并用于支撑基板(PO)的多个凸部(11)的板状的部件，且该支撑板(10b)由显示面板所使用的材料、例如玻璃基板(GS)及绝缘膜所使用的有机材料(10b1)构成，并可更换地安装在基台(10a)上。

Base plate support platform

【技术实现步骤摘要】
基板支撑台
本专利技术涉及设置于显示面板的制造所使用的各种装置并用于支撑构成该显示面板的基板的基板支撑台。
技术介绍
在制造液晶面板、有机EL面板等显示面板的工序中，对构成该显示面板的基板进行各种处理。在进行该各种处理的装置中，往往设置有用于支撑基板的基板支撑台。例如，下述专利文献1所记载的基板支撑台在避免异物向基板的背面的附着的目的下，构成为在板状部件的表面设置有多个凸部，由上述多个凸部的前端支撑基板。此外，下述专利文献1所记载的基板支撑台通过在支撑基板的面粘贴多个树脂突起物而形成有多个凸部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-28622号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题如上述专利文献1所记载的基板支撑台那样，在为由多个凸部支撑基板那样的结构的情况下，上述多个凸部由于与基板的接触引起的磨损、等离子体/化学液体等而老化，例如，存在产生基板的粘附、剥离带电、曝光不良、向基板背面的划伤等的担忧。因此，在多个凸部老化的情况下，需要维修基板支撑台。上述专利文献1所记载的基板支撑台通过剥落多个树脂突起物并粘贴新的多个树脂突起物，由此能够维修多个凸部。然而，上述专利文献1所记载的基板支撑台必须制造多个树脂突起物来进行准备，另外，需要粘贴这些树脂突起物这样的格外的作业。本专利技术是鉴于这样的实际情况所做出的，课题在于提供在多个凸部老化的情况下等可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。为了解决上述课题，本专利技术的基板支撑台用于支撑构成显示面板的基板，其特征在于，构成为包括：基台；和支撑板，其为具有从表面突出并用于支撑上述基板的多个凸部的板状的部件，且该支撑板由上述显示面板所使用的材料构成，并可更换地安装在上述基台上。根据为这样的结构的基板支撑台，由于支撑板由显示面板所使用的材料形成，因此不需要为了制作该支撑板而使用新的材料，从而能够抑制维修所花费的成本。另外，仅通过更换由该显示面板所使用的材料形成的支撑板，便完成基板支撑台的维修，因此能够缩短维修所需的时间，换言之，能够缩短将显示面板的制造停止的时间。另外，在该结构的基板支撑台中，使用显示面板的制造所使用的各种装置、方法，例如，通过利用光刻法在玻璃基板上对构造物进行图案化的方法等，能够容易地形成支撑板的多个凸部。此外，在该结构的基板支撑台中，用于支撑板的材料没有特别地限定，希望多个凸部由不划伤基板的背面那样的材料、例如树脂系的材料等比基板柔软的材料形成。另外，关于支撑板所使用的材料，可以考虑各种观点来选定能够减轻多个凸部的劣化的材料、不易因多个凸部的磨损而产生尘埃等的材料等。进一步，支撑板可以由单独的材料形成，也可以由两种以上的材料形成。专利技术效果根据本专利技术，能够在多个凸部老化的情况下等，提供可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。附图说明图1是示意性地表示具备本专利技术的实施方式的基板支撑台的基板处理装置的图。图2是构成为包含本专利技术的实施方式的基板支撑台所支撑的基板的显示面板的俯视图。图3是表示图2所示的显示面板的像素阵列的俯视图。图4是图2所示的显示面板的剖视图(图3中的A-A截面)。图5是本专利技术的实施方式的基板支撑台的立体图。图6是将本专利技术的实施方式的基板支撑台放大表示的剖视图。图7是用于说明图1所示的支撑板的制造过程的图。图8是用于说明图1所示的支撑板向基台的安装的图。具体实施方式作为本专利技术的实施方式的基板支撑台10设置于在液晶面板的制造工序中进行针对构成该液晶面板的基板的处理的各种基板处理装置。图1为该基板处理装置之一、为进行绝缘膜的成膜的CVD装置12，以该CVD装置12为例对本实施方式的基板支撑台10进行说明。＜基板处理装置的结构＞虽然后文详细进行说明，但构成液晶面板的基板通过利用已知的光刻法来在玻璃基板上依次将构成各种配线等的各导电膜及各绝缘膜成膜并图案化而制造。而且，CVD装置12在上述导电膜、绝缘膜等的成膜时，利用化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)法进行成膜处理。CVD装置12构成为包括：处理室14，其收纳玻璃基板等处理对象物PO；减压部16，其对该处理室14内进行减压；压力调整阀18，其与该减压部16连接并调整处理室14内的压力；膜材料供给部20，其供给膜的材料；以及CVD成膜部22，其配置在处理室14内并且在处理对象物PO上使膜的材料化学气相沉积。详细而言，在处理室14中的底侧设置有支撑处理对象物PO的本实施方式的基板支撑台10。在处理室14中的顶板侧设置有以与本基板支撑台10对置的形式配置并且将从膜材料供给部20供给的膜的材料向处理室14内喷出的喷头24。在该喷头24一体地设置有与交流电源AC连接的上部电极。膜材料供给部20经由配管20a连接为能够对喷头24分别供给混合气体及绝缘膜材料的状态。另外，在膜材料供给部20的配管20a的中途设置有用于调整膜的材料的供给量的膜材料供给量调整阀20b，通过其开度被电控制，而能够对向处理室14内供给的材料的供给量进行微调整。另一方面，虽后文详细说明，但本基板支撑台10构成为包括基台10a、和被固定在该基台10a上并用于支撑处理对象物PO的板状的部件亦即支撑板10b。在该基台10a一体地设置有与地线GND连接的下部电极，通过在该下部电极与设置于喷头24的上部电极之间形成电场，能够促进针对处理对象物PO的膜的材料的蒸镀。而且，通过包含本基板支撑台10及喷头24而构成CVD成膜部22。减压部16经由排气配管16a与处理室14连接，并具有抽吸处理室14内的空气的真空泵。压力调整阀18设置在排气配管16a的中途，其开度被电控制，从而能够对处理室14内的压力进行微调整。另外，在本基板支撑台10的基台10a内置有在支撑板10b上使处理对象物PO升降的基板升降装置26。该基板升降装置26构成为包含多个升降销26a、和使上述多个升降销26a沿上下方向移动的马达(省略图示)。在基台10a形成有收纳升降销26a的销收纳凹部10a1，升降销26a通常待机在从基台10a的上表面下陷的位置(待机位置)。基板升降装置26通过使升降销26a移动至从该待机位置向支撑板10b上突出的规定的高度位置(交接位置)，而能够将处理对象物PO以从支撑板10b抬起的状态支撑。由此，能够与外部的机器人手臂(未图示)之间实现处理对象物PO的交接。具体地，在将处理对象物PO收纳在处理室14内时，若利用机器人手臂将处理对象物PO搬入处理室14内，则通过将该处理对象物PO载置在逐渐上升至交接位置的升降销26a上而向基板支撑台10侧交接，通过使升降销26a下降并位于待机位置而使处理对象物PO载置在基板支撑台10的支撑板10b上。另一方面，在将处理对象物PO向处理室14外取出时，使升降销26a上升来将处理对象物PO从基板支撑台10抬起并使其位于交接位置，机器人手臂接收该处理对象物PO并向处理室14外搬出。＜显示面板的结构＞接下来，参照图2～图4对作为包含本基板支撑台10所支撑的基板而构成的显示面板的液晶面板30进行说明。此外，成为本实施方式的基板支撑台10的支撑的对象的基板并不限于液晶面板的基板，也可以是有机EL面板等的基板。如图2所示，液晶面板30整体呈横长的方形。液晶面板30的显示面被划分为显示图像的显示区域(有源区域)A本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板支撑台，用于支撑构成显示面板的基板，其特征在于，构成为包括：基台；和支撑板，其为具有从表面突出而形成并用于支撑所述基板的多个凸部的板状的部件，且所述支撑板由所述显示面板所使用的材料构成，并可更换地安装在所述基台上。

【技术特征摘要】
2018.04.02 JP 2018-0707221.一种基板支撑台，用于支撑构成显示面板的基板，其特征在于，构成为包括：基台；和支撑板，其为具有从表面突出而形成并用于支撑所述基板的多个凸部的板状的部件，且所述支撑板由所述显示面板所使用的材料构成，并可更换地安装在所述基台上。2.根据权利要求1所述的基板支撑台，其特征在于，构成所述显示面板的所述基板为在玻璃基板上层叠有多个膜的构成，所述支撑板在所述玻璃基板上通过所述多个膜的至少一个所使用的材料而形成有所述多个凸部。3.根据权利要求2所述的基板支撑台，其特征在于，所述多个凸部使用在形成所述多个膜时所使用的光掩膜来在所述玻璃基板上进行图案化。4.根据权利要求3所述的基板支撑台，其特征在于，构成所述显示面板的所述基板通过在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本龙儿，须能翼，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP