【技术实现步骤摘要】
一种镭射调阻机
本技术涉及机械领域,特别涉及一种镭射调阻机。
技术介绍
激光调阻工艺已经成熟应用在厚膜、薄膜及半导体电路中,现今由于人们对器件的微型化要求越来越高甚至到苛刻的地步,电路的微型化要求也越来越高,在一些精密的厚、薄膜电路以及一些半导体电路中,对精密激光调阻机有着相当高的要求,而且这些电路的工艺只有激光调阻才能解决。激光调阻机是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,通过实时测量电路能够实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,使厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值。当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻的过程。现有的激光调阻机的工作台罩有两种形式:上拉式或侧拉式。上拉式工作台罩的工作门沉重,当向上开启工作门时,需要较大气力,开启和关闭过程均不方便。侧拉式工作台罩的工作门为侧向开门方式,占用较大空间,开启后,如不小心依靠工作门,容易致使工作门变形,无法回位,同时,可能伤及工作人员。另外,由于激 ...
【技术保护点】
1.一种镭射调阻机,包括机体(1)、罩体(2)、设置在罩体(2)内部的激光发射筒机构(5)和激光器分步动作控制系统运动系统(6),其特征在于:所述激光发射筒机构(5)包括一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)对称倾斜设置,所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的内部均设置有激光发射器(17),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的两个侧壁上均开设有螺孔,该螺孔内均通过螺纹连接有锁紧螺栓(18),所述激光发射器(17)均通过锁紧螺栓(18)微调位置。
【技术特征摘要】
1.一种镭射调阻机,包括机体(1)、罩体(2)、设置在罩体(2)内部的激光发射筒机构(5)和激光器分步动作控制系统运动系统(6),其特征在于:所述激光发射筒机构(5)包括一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)对称倾斜设置,所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的内部均设置有激光发射器(17),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的两个侧壁上均开设有螺孔,该螺孔内均通过螺纹连接有锁紧螺栓(18),所述激光发射器(17)均通过锁紧螺栓(18)微调位置。2.根据权利要求1所述的一种镭射调阻机,其特征在于:所述激光器分步动作控制系统运动系统(6)包括驱动电机(9)和二号环形电磁铁(11),所述驱动电机(9)的外围固定有一圈一号环形电磁铁(10),所述二号环形电磁铁(11)设置在一号环形电磁铁(10)的外侧,且所述驱动电机(9)通过一号环形电磁铁(10)和二号环形电磁铁(11)相互间的斥力悬浮在空中。3.根据权利要求1所述的一种镭射调阻机,其特征在于:所述罩体(2)的前侧设置有前罩门(4),所述罩体(2)的两侧壁为侧框架(3),一个侧框架(3)的内部底端的一角设置有一号主动轮(12),该侧框架(3)的内部其他三角处均设置有从动轮(13),且该一号主动轮(12)...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙标,
申请(专利权)人:安徽翔胜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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