一种负压检测装置和监控设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种负压检测装置和监控设备。一种负压检测装置，包括：连接于所述化学气相沉膜设备上的吹气结构；连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处的检测管，引导化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置来检测对应位置的气压；缠绕包裹在所述检测管表面的加热带，加热所述检测管。在化学气相沉膜设备工作过程中会产生一些粉末，粉末会随着气体进入到检测管中，然后会粘附在检测管的管壁上，随着慢慢的积累会将检测管堵塞，现在在检测管外侧设置一个加热带，对加热管进行加热，使管壁温度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞检测管。

A Negative Pressure Detection Device and Monitoring Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种负压检测装置和监控设备
本技术涉及显示
，尤其涉及一种负压检测装置和监控设备。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用来提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。在镀膜的过程中，检测管路容易堵住，导致机械停机，造成产能下降和人力作业分配浪费。
技术实现思路
鉴于现有技术的上述缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种防止检测管堵塞的负压检测装置和监控设备。为实现上述目的，本技术提供了一种负压检测装置，应用于化学气相沉膜设备，包括：连接于所述化学气相沉膜设备上的吹气结构；连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处的检测管，引导所述化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置检测对应位置的气压；缠绕包裹在所述检测管表面的加热带，加热所述检测管。可选的，所述检测管垂直于所述吹气结构的吹气方向设置。可选的，所述加热带完全包覆所述检测管的外表面。可选的，所述加热带包括加热芯和包裹布，所述加热芯设置在所述包裹布内，再由所述包裹布包裹在检测管上。可选的，所述包裹布包括魔术贴，所述魔术贴设置在所述包裹布的内外表面上。可选的，所述检测管包括过滤网，所述过滤网设置于所述检测管的入口端。可选的，所述过滤网以可拆卸方式设置在所述检测管开口处。可选的，所述加热芯的加热面为圆弧面。本技术还公开了一种负压检测装置，应用于化学气相沉膜设备，包括：连接于所述化学气相沉膜设备上的吹气结构；连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处的检测管，引导所述化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置检测对应位置的气压；缠绕包裹在所述检测管表面的加热带，加热所述检测管；所述检测管垂直于所述吹气结构的吹气方向设置；所述加热带完全包覆所述检测管的外表面；所述加热带包括加热芯和包裹布，所述加热芯设置在所述包裹布内，再由所述包裹布包裹在检测管上；所述包裹布包括魔术贴，所述魔术贴设置在所述包裹布的内外表面上；所述加热芯的加热面为圆弧面。本技术还公开了一种监控设备，所述监控设备包括上述的负压检测装置。本技术的有益效果是：在化学气相沉膜设备工作过程中会产生一些粉末，粉末会随着气体进入到检测管中，然后会粘附在检测管的管壁上，随着慢慢的积累会将检测管堵塞，现在在检测管外侧设置一个加热带，对加热管进行加热，使管壁温度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞检测管。附图说明所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本技术实施例的一种气体流向的示意图；图2是本技术实施例的一种检测装置结构的示意图；图3是本技术实施例的一种包裹加热带和不包裹加热带对比的示意图；图4是本技术实施例的一种检测管入口端处结构的示意图；图5是本技术实施例的一种加热带包裹检测管的示意图；图6是本技术实施例的一种加热带截面结构的示意图；图7是本技术实施例的一种包裹布摊开结构的示意图；图8是本技术实施例的一种监控设备的示意图。其中，10、负压检测装置；11、检测管；12、加热带；13、吹气结构；14、过滤网；15、加热芯；16、包裹布；17、魔术贴；18、加热面；20、化学气相沉膜设备；21、制程反应腔；22、真空泵；23、滤清器；30、监控设备。具体实施方式这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本技术的示例性实施例的目的。但是本技术可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。下面结合附图和可选的实施例对本技术作进一步说明。如图1所示，在化学气相沉膜设备20的制程反应腔21产生的气体，会由真空泵22抽出，之后排出到滤清器23就行过滤。如图2至图5所示，本技术实施例公布了一种负压检测装置10，应用于化学气相沉膜设备20，包括：连接于化学气相沉膜设备20上的吹气结构13；连接于吹气结构13与化学气相沉膜设备20的连接处的检测管11，引导化学气相沉膜设备20中的气体进入负压监测装置10来检测对应位置的气压；缠绕包裹在检测管11表面的加热带12，加热检测管11。在化学气相沉膜设备20工作过程中会产生一些粉末，粉末会随着气体进入到检测管11中，然后会粘附在检测管11的管壁上，随着慢慢的积累会将检测管11堵塞，现在在检测管11外侧设置一个加热带12，对加热管进行加热，使管壁温度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞检测管11。本实施例可选的，检测管11垂直于所述吹气结构13的吹气方向设置。在吹气结构13附近，会有较大的气流，将一些粉末在进入检测管11前吹走，防止粉末进入检测管11造成堵塞，延长造成检测管11堵塞所需的时间。本实施例可选的，加热带12完全包覆住检测管11的外表面。加热带12完全包覆住检测管11，全方面进行加热，使加热更加均匀。本实施例可选的，检测管11包括过滤网14，过滤网14本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种负压检测装置，应用于化学气相沉膜设备，其特征在于，包括：吹气结构，连接于所述化学气相沉膜设备上；检测管，连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处，引导所述化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置检测对应位置的气压；加热带，缠绕包裹在所述检测管表面，加热所述检测管。

【技术特征摘要】
1.一种负压检测装置，应用于化学气相沉膜设备，其特征在于，包括：吹气结构，连接于所述化学气相沉膜设备上；检测管，连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处，引导所述化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置检测对应位置的气压；加热带，缠绕包裹在所述检测管表面，加热所述检测管。2.如权利要求1所述的一种负压检测装置，其特征在于，所述检测管垂直于所述吹气结构的吹气方向设置。3.如权利要求1所述的一种负压检测装置，其特征在于，所述加热带完全包覆所述检测管的外表面。4.如权利要求1所述的一种负压检测装置，其特征在于，所述加热带包括加热芯和包裹布，所述加热芯设置在所述包裹布内，再由所述包裹布包裹在所述检测管上。5.如权利要求4所述的一种负压检测装置，其特征在于，所述包裹布包括魔术贴，所述魔术贴设置在所述包裹布的内外表面上。6.如权利要求1所述的一种负压检测装置，其特征在于，所述检测管包括过滤网，所述过滤网设置于所述检测管的入口端。7.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王青敬，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44