【技术实现步骤摘要】
一种用于扫描式电沉积的阳极机构
本技术涉及一种用于扫描式电沉积的阳极机构，属于电沉积领域。
技术介绍
电沉积是在电场作用下把金属离子还原为原子，并在工件表面或基底上堆砌形成金属镀层或零件的一种常用工艺技术，几乎在所有的工业领域中都有应用。电沉积层厚度均匀性的好坏是决定产品性能优良与否的关键指标之一。目前，电沉积技术通常采用挂镀模式，然而，采用这种模式所得到的沉积层的厚度均匀性往往较差。为此，申请号为201810453008.1的专利技术专利公布了一种线阳极扫描式电沉积装置。在该装置中，横截面为四边形（边长均约为0.1mm）的直线状阳极固定在搅拌桨底面，并在搅拌桨的带动下作往复直线运动，接通电源后，即可进行扫描式电沉积。使用该装置进行电沉积，可以大大提高沉积层的厚度均匀性。然而，该装置仍存在一些不够理想的地方。这是因为，在电沉积过程中，阴、阳两极表面均可能产生大量气泡，而极间间距较小，不利于气泡的排出，从而使沉积层的形貌和质量降低。此外，搅拌桨与装置为整体式布局，不可拆装，再构性较差，不便于适应不同的应用场合。为此，本专利提出了一种用于扫描式电沉积的新的阳极机构。技...
【技术保护点】
1.一种用于扫描式电沉积的阳极机构，包括阳极（8）、搅拌桨（4），其特征在于：还包括限位销（3）和设有通孔（2）的挂架（1）；所述的搅拌桨（4）上设有排气孔（5）、卡槽（6）和限位孔（7）；所述的排气孔（5）对称地且均匀地排布在阳极（8）的两侧；所述的挂架（1）与卡槽（6）可滑动配合联接；所述的限位销（3）通过通孔（2）置于限位孔（7）内。
【技术特征摘要】
1.一种用于扫描式电沉积的阳极机构，包括阳极（8）、搅拌桨（4），其特征在于：还包括限位销（3）和设有通孔（2）的挂架（1）；所述的搅拌桨（4）上设有排气孔（5）、卡槽（6）和限位孔（7）；所述的排气孔（5）对称地且均匀地排布在阳极（8）的两侧；所述的挂架（1）与卡槽（6）可滑动配合联接；所述的限位销（3）通过通孔（2）置于限位孔（7）内。2.根据权利要求1所述的一种用于扫描式电沉积的阳极机构，其特征在于：所述的排气孔（5）为通孔。3.根据权利要求1所述的一种用于扫描式电沉积的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘筱笛，明平美，侯亚楠，张峻中，宋旭东，李欣潮，王伟，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：新型
国别省市：河南,41
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