弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上，在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6)，并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有：第一部分(41)，在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠；第二部分(42)，在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠；以及台阶部(431)，在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。

Elastic wave device

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置
本专利技术一般地涉及弹性波装置，更详细地，涉及具有支承基板和压电膜的弹性波装置。
技术介绍
以往，作为弹性波装置，已知在支承基板上设置有包括压电薄膜(压电膜)的多层膜的弹性波装置(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置具备支承基板、压电薄膜、IDT电极(功能电极)、绝缘层、布线电极、电极焊盘、支承构件(间隔层)、覆盖件(覆盖层)、凸块下金属层(贯通电极)以及金属凸块(外部连接端子)。在上述弹性波装置中，在支承基板上，在设置有多层膜的区域的外侧设置有绝缘层。布线电极从压电膜上经过多层膜的侧面而到达绝缘层上。在到达该绝缘层上的部分中，与布线电极一体地设置有电极焊盘。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2015/098678号在上述弹性波装置被安装于线膨胀系数与支承基板不同的电路基板的电子部件模块中，存在如下的问题，即，在热冲击试验中，存在产生上述弹性波装置的布线电极中的沿着多层膜的侧面形成的部分(台阶部)等的断线的情况。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于，提供一种能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。用于解决课题的技术方案本专利技术的一个方式涉及的弹性波装置具备支承基板、压电膜、功能电极、布线电极、间隔层、覆盖层以及贯通电极。所述压电膜直接或间接地形成在所述支承基板上。所述功能电极直接或间接地形成在所述压电膜上。所述布线电极与所述功能电极电连接。所述间隔层直接或间接地形成在所述支承基板上，在从所述支承基板的厚度方向俯视的情况下，形成在所述压电膜的外侧。所述覆盖层形成在所述间隔层上。所述贯通电极贯通所述间隔层和所述覆盖层，并与所述布线电极电连接。所述布线电极具有：在从所述厚度方向的俯视下与所述贯通电极重叠的第一部分；在从所述厚度方向的俯视下与所述压电膜重叠的第二部分；以及在所述第一部分与所述第二部分之间形成所述厚度方向上的台阶的台阶部。所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部进入到所述覆盖层。专利技术效果本专利技术的一个方式涉及的弹性波装置能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高。附图说明图1是本专利技术的实施方式1涉及的弹性波装置的剖视图。图2是关于实施方式1涉及的弹性波装置省略了保护膜以及覆盖层的俯视图。图3是示出实施方式1涉及的弹性波装置的热冲击循环试验的结果的图表。图4是本专利技术的实施方式2涉及的电子部件模块的剖视图。图5是本专利技术的实施方式3涉及的电子部件模块的剖视图。图6是本专利技术的实施方式4涉及的电子部件模块的剖视图。图7是本专利技术的实施方式5涉及的电子部件模块的剖视图。附图标记说明100、100a、100b、100c、100d：弹性波装置，1、1d：支承基板，11：表面，12：背面，2：压电膜，20、20a：多层膜，21：高声速膜，22：低声速膜，23：保护膜，3：IDT电极(功能电极)，31：汇流条(第一汇流条)，32：汇流条(第二汇流条)，33：电极指(第一电极指)，34：电极指(第二电极指)，4：布线电极，41：第一部分，42：第二部分，43：弯曲部，431：台阶部(第一台阶部)，432：第二台阶部，5：间隔层，51：端部，52：端部，55：贯通孔，6：覆盖层，61：第一层，62：第二层，63：第一主面，64：凹部，65：第二主面，7：贯通电极，8：外部连接端子，9：绝缘层，17：外部连接电极，18：安装用电极，D1：厚度方向，S1：空间。具体实施方式以下，参照附图对实施方式1～5涉及的弹性波装置进行说明。在以下的实施方式1～5中参照的图1、2、4～7均为示意性的图，图中的各构成要素的大小、厚度各自之比不一定反映实际的尺寸比。(实施方式1)(1.1)弹性波装置的整体结构以下，参照附图对实施方式1涉及的弹性波装置100进行说明。实施方式1涉及的弹性波装置100具备支承基板1、压电膜2、IDT电极(IDT：InterdigitalTransducer，叉指换能器)3、布线电极4、间隔层5、覆盖层6以及贯通电极7。压电膜2间接地形成在支承基板1上。IDT电极3是直接形成在压电膜2上的功能电极。布线电极4与IDT电极3电连接。间隔层5间接地形成在支承基板1上。在从支承基板1的厚度方向D1俯视的情况下，间隔层5形成在IDT电极3的外侧。覆盖层6形成在间隔层5上。贯通电极7贯通间隔层5和覆盖层6，并与布线电极4电连接。布线电极4具有：在从厚度方向D1的俯视下与贯通电极7重叠的第一部分41；以及在从厚度方向D1的俯视下与压电膜2重叠的第二部分42。弹性波装置100还具备外部连接端子8。外部连接端子8与贯通电极7电连接。此外，弹性波装置100还具备形成在支承基板1上的绝缘层9。在弹性波装置100中，布线电极4的一部分形成在绝缘层9上。此外，在弹性波装置100中，间隔层5形成在布线电极4上以及绝缘层9上。此外，在弹性波装置100中，贯通电极7形成在布线电极4上。(1.2)弹性波装置的各构成要素接着，参照附图对弹性波装置100的各构成要素进行说明。(1.2.1)支承基板如图1所示，支承基板1对包括压电膜2和IDT电极3的层叠体进行支承。支承基板1具有在其厚度方向D1上处于相互相反侧的表面11以及背面12。支承基板1的俯视形状(从厚度方向D1观察支承基板1时的外周形状)为长方形，但是并不限于长方形，例如也可以是正方形。支承基板1为硅基板。例如，支承基板1的厚度例如为120μm。支承基板1并不限于硅基板，例如，也可以是锗基板、金刚石基板、类金刚石碳基板、钽酸锂基板、铌酸锂基板等。因此，支承基板1的材料并不限于硅，例如，也可以是锗、金刚石、类金刚石碳等。(1.2.2)IDT电极IDT电极3能够由Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以这些金属中的任一者为主体的合金等适当的金属材料形成。此外，IDT电极3也可以具有将由这些金属或合金构成的多个金属膜层叠的构造。如图2所示，IDT电极3包括一对汇流条31、32(以下，也称为第一汇流条31以及第二汇流条32)、多个电极指33(以下，也称为第一电极指33)、以及多个电极指34(以下，也称为第二电极指34)。第一汇流条31以及第二汇流条32是将与支承基板1的厚度方向D1(第一方向)正交的一个方向(第二方向)作为长边方向的长条状。在IDT电极3中，第一汇流条31和第二汇流条32在与支承基板1的厚度方向D1(第一方向)和第二方向的双方正交的第三方向上彼此对置。多个第一电极指33与第一汇流条31连接并朝向第二汇流条32延伸。在此，多个第一电极指33从第一汇流条31起沿着与第一汇流条31的长边方向(第二方向)正交的方向(第三方向)延伸。多个第一电极指33的前端与第二汇流条32分离。例如，多个第一电极指33彼此的长度以及宽度相同。多个第二电极指34与第二汇流条32连接并朝向第一汇流条31延伸。在此，多个第二电极指34从第二汇流条32起沿着与第二汇流条32的长边方向正交的方向延伸。多个第二电极指34各自的前端与第一汇流条31分离。例如，多个第二电极指34彼此的长度以及宽度相同。在图2的例子中，多个第二电极指34的长度以及宽度与多个第一电极指33的长度以及宽度分别相同。在IDT电极3中，多个第一电极指33和多个第二电极指34在与第一汇本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：支承基板；压电膜，直接或间接地形成在所述支承基板上；功能电极，直接或间接地形成在所述压电膜上；布线电极，与所述功能电极电连接；间隔层，直接或间接地形成在所述支承基板上，在从所述支承基板的厚度方向俯视的情况下，形成在所述压电膜的外侧；覆盖层，形成在所述间隔层上；以及贯通电极，贯通所述间隔层和所述覆盖层，并与所述布线电极电连接，所述布线电极具有：第一部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述贯通电极重叠；第二部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述压电膜重叠；以及台阶部，在所述第一部分与所述第二部分之间形成所述厚度方向上的台阶，所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部进入到所述覆盖层。

【技术特征摘要】
2018.03.19 JP 2018-0506011.一种弹性波装置，具备：支承基板；压电膜，直接或间接地形成在所述支承基板上；功能电极，直接或间接地形成在所述压电膜上；布线电极，与所述功能电极电连接；间隔层，直接或间接地形成在所述支承基板上，在从所述支承基板的厚度方向俯视的情况下，形成在所述压电膜的外侧；覆盖层，形成在所述间隔层上；以及贯通电极，贯通所述间隔层和所述覆盖层，并与所述布线电极电连接，所述布线电极具有：第一部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述贯通电极重叠；第二部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述压电膜重叠；以及台阶部，在所述第一部分与所述第二部分之间形成所述厚度方向上的台阶，所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部进入到所述覆盖层。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述覆盖层包括：第一层；以及第二层，直接或间接地形成在所述第一层上，所述第一层形成在比所述第二层靠所述支承基板侧，所述第一层的杨氏模量大于所述第二层的杨氏模量。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，在所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部中，进入到所述覆盖层的深度为所述第一层的厚度以下。4.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：林泰伸，山根毅，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP