一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备技术方案

本发明专利技术提供了矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备，方法包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于第一串扰校准件的第一参数和第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，主串扰误差项和次串扰误差项用于校准矢量网络分析仪。通过主串扰误差项，在矢量网络分析仪测量被测件的在片S参数时进行修正，解决了测量时探针与探针之间的主要串扰误差，通过次串扰误差项，解决了主串扰误差项修正不完善引起的剩余误差，提高了在片S参数校准的准确度。

A Calibration Method, System and Equipment for On-Chip S Parameters of Vector Network Analyser

【技术实现步骤摘要】
一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备
本专利技术属于半导体
，尤其涉及一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备。
技术介绍
12-term系统误差模型和8-term系统误差模型分别对系统源/负载匹配、反射/传输跟踪、方向性、隔离等不理想进行了表征，在低频在片领域(50GHz以下)、同轴和波导领域具有很高的准确度，因而得到了广泛的应用。随着在片测试频率的升高，一些在低频段可以忽略的系统误差在高频段不可忽略，传统的12-term系统误差模型或者8-term误差模型，在高频段对在片S参数校准时误差较大，校准不准确。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了矢量网络分析仪在片S参数的校准方法、系统及设备，以解决目前系统误差模型在高频段对在片S参数校准不准确的问题。本专利技术实施例的第一方面提供了一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；获取矢量网络分析本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪，所述次串扰误差项是主串扰误差项修正不完善的第一探针与第二探针之间的剩余串扰误差。

【技术特征摘要】
1.一种矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，包括：获取矢量网络分析仪测量的第一串扰校准件的第一参数；基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项，所述主串扰误差项为矢量网络分析仪测量被测件时第一探针和第二探针之间的串扰误差；获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数；基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，所述主串扰误差项和所述次串扰误差项用于校准所述矢量网络分析仪，所述次串扰误差项是主串扰误差项修正不完善的第一探针与第二探针之间的剩余串扰误差。2.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述第一串扰校准件的第一参数为所述矢量网络分析仪基于主误差模型对所述第一串扰校准件进行测量获得的，所述主误差模型为利用非串扰校准件对所述矢量网络分析仪进行模型校准获得的8-term误差模型或12-term误差模型。3.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述基于所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数获得主串扰误差项包括：基于主串扰误差项模型，通过所述第一串扰校准件的第一参数和所述第一串扰校准件的标定参数，获得主串扰误差项，所述主串扰误差项模型为：其中，YC11、YC12、YC21、YC22为四个主串扰误差项；YT11、YT12、YT21、YT22为所述第一串扰校准件的第一参数；YA11、YA12、YA21、YA22为所述第一串扰校准件的标定参数。4.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述获取矢量网络分析仪基于主串扰误差项测量的第二串扰校准件的第二参数，包括：获取矢量网络分析仪测量的第二串扰校准件的初始参数，所述第二串扰校准件的初始参数为所述矢量网络分析仪基于主误差模型对所述第二串扰校准件进行测量获得的，所述主误差模型为利用非串扰校准件对所述矢量网络分析仪进行模型校准获得的8-term误差模型或12-term误差模型；通过所述主串扰误差项对所述初始参数进行修正，获得第二参数。5.如权利要求1所述的矢量网络分析仪在片S参数的校准方法，其特征在于，所述基于所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项包括：基于次串扰误差项模型，通过所述第二串扰校准件的第二参数和所述第二串扰校准件的标定参数获得次串扰误差项，其中所述次串扰误差项模型为：其中：Smxy为所述第二串扰校准件的第二参数；Saij为...

【专利技术属性】
技术研发人员：王一帮，吴爱华，梁法国，刘晨，邹学锋，胡志富，曹健，霍晔，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北,13