树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。根据本发明专利技术，即便在仅对成形对象物的单面进行树脂密封的情况下，也抑制成形对象物的变形量。树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置，且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部，树脂成形装置包括：气体供给部，对凹部内供给气体；气压测量部，进行与凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于气压测量部的测量结果来控制气体供给部的气体供给量，以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。

Resin Forming Device and Manufacturing Method of Resin Forming Products

【技术实现步骤摘要】
树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法
本专利技术涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。
技术介绍
例如，日本专利特开2017-94521号公报(专利文献1)中，记载有一种对将多个半导体芯片搭载于基板两面的工件进行压缩成形的压缩方法以及压缩装置。在专利文献1记载的压缩方法以及压缩装置中，在一次的树脂成型(model)工序中对两面进行树脂成型。
技术实现思路
在专利文献1记载的压缩方法以及压缩装置中，在仅对基板的单面进行树脂成形的情况下，有因其成形压力而成形对象物的变形量变大的可能性。本专利技术的一个实施方式的树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置，且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部，树脂成形装置包括：气体供给部，对凹部内供给气体；气压测量部，进行与凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于气压测量部的测量结果来控制气体供给部的气体供给量，以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。本专利技术的另一实施方式的树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置，且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部，树脂成形装置包括：气体供给部，对凹部内供给气体；驱动机构，用于将第一模与第二模合模(mold-clamping)；压力测量部，进行与成形对象物的第二面侧的压力相关的测量；以及控制部，基于压力测量部的测量结果来控制驱动机构，以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。本专利技术的另一实施方式的树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置，且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部，树脂成形装置包括：驱动机构，用于将第一模与第二模合模；压力测量部，进行与成形对象物的第二面侧的压力相关的测量；气体供给部，对凹部内供给气体；气压测量部，进行与凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于压力测量部的测量结果及气压测量部的测量结果，控制驱动机构的合模力(clampingforce)及所述气体供给部的气体供给量。本专利技术的另一实施方式的树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置，且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部，树脂成形装置包括：气体供给部，对凹部内供给气体；减压机构，可对包含成形模的密闭空间进行减压；以及连通路径，可将第一模的凹部与密闭空间连通，当利用减压机构对密闭空间进行减压时，打开连通路径以使凹部与密闭空间连通，当对成形对象物的第二面施加压力时，关闭连通路径以阻断凹部与密闭空间。本专利技术的一个实施方式的树脂成形品的制造方法是使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形品的制造方法包括：进行关于与成形对象物的第一面相向的第一模的凹部内的气压的测量的工序；以及基于与气压相关的测量的结果，在控制气体的供给量的同时对凹部内供给气体以降低成形对象物的第一面侧及第二面侧的压力差，并且将成形对象物合模的工序。本专利技术的另一实施方式的树脂成形品的制造方法是使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形品的制造方法包括：进行与成形对象物的第二面侧的压力相关的测量的工序；以及基于与压力相关的测量的结果，在控制合模力的同时将成形对象物合模以降低成形对象物的第一面侧及第二面侧的压力差的工序。本专利技术的另一实施方式的树脂成形品的制造方法是使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形品的制造方法包括：进行关于与成形对象物的第一面相向的第一模的凹部内的气压的测量的工序；进行与成形对象物的第二面侧的压力相关的测量的工序；以及基于与气压相关的测量的结果及与压力相关的测量的结果，一边控制气体的供给量及合模力，一边对凹部内供给气体，并且将成形对象物合模的工序。再者，本申请文件中所谓“阻断”并非指凹部与密闭空间的完全阻断，只要可使凹部内的气压上升来降低第一面侧与第二面侧的压力差，则也可在凹部与密闭空间之间产生少许气体的泄漏。根据本文所公开的实施方式，能够在仅对成形对象物的单面进行树脂成形的情况下，抑制成形对象物的变形量。本专利技术的所述及其他目的、特征、方面及优点将由与附图相关联而理解的与本专利技术有关的以下详细说明来阐明。附图说明图1是包含实施方式1、实施方式2的树脂成形装置的树脂成形系统的示意性平面图。图2是实施方式1的树脂成形装置的示意性截面图。图3是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其一)。图4是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其二)。图5是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其三)。图6是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其四)。图7是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其五)。图8是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其六)。图9是对实施方式1的树脂成形方法的一部分工序进行图解的示意性截面图(其七)。图10是表示实施方式1的树脂成形方法的各工序的流程的图。图11是实施方式2的树脂成形装置的示意性截面图。图12是用于说明成形对象物的变形的图(其一)。图13是用于说明成形对象物的变形的图(其二)。图14是用于说明成形对象物的变形的图(其三)。符号的说明1、1A：树脂成形装置2：上部固定盘3：下部固定盘4：可动盘5：支柱部6：驱动机构11：第一模12：上表面构件13、23：弹性构件14、24：侧面构件15：凹部16：间隙17：密闭空间21：第二模22：底面构件25：腔室31：第一模保持部32、42：侧壁部33、43：橡胶材(弹性材)34：上部加热板41：第二模保持部44：下部加热板50：合模压力测量部60：控制部70：气体供给部71：气压测量部72：气体排出部73：控制阀74：开闭阀75：通气路径80：减压机构81：通气路径90：连通路径91：开闭阀100、100A、100B：成形对象物(基板)101：第一面102：第二面110：树脂材料111：膜301：移动机构401：轨道501：分配器502：喷嘴601：供给部602：装料机701：收纳部702：卸料机1000：树脂成形系统1001：树脂供给模块1002A、1002B、1002C、1002D：成形模块1003：成形品供给·收纳模块A、B：箭头S10、S20、S30、S40、S50、S60、S70、S80：工序具体实施方式以下，对实施方式进行说明。再者，用于实施方式的说明的附图中，相同参照符号表示相同部分或相应部分。图1是包含后述的实施方式1、实施方式2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种树脂成形装置，能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形装置的特征在于，所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部，所述树脂成形装置包括：气体供给部，对所述凹部内供给气体；气压测量部，进行与所述凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于所述气压测量部的测量结果来控制所述气体供给部的气体供给量，以降低所述成形对象物的所述第一面侧与所述第二面侧的压力差。

【技术特征摘要】
2018.03.13 JP 2018-0456611.一种树脂成形装置，能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形装置的特征在于，所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部，所述树脂成形装置包括：气体供给部，对所述凹部内供给气体；气压测量部，进行与所述凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于所述气压测量部的测量结果来控制所述气体供给部的气体供给量，以降低所述成形对象物的所述第一面侧与所述第二面侧的压力差。2.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其特征在于，还包括：进行与所述成形对象物的所述第二面侧的压力相关的测量的压力测量部，所述控制部基于所述气压测量部的测量结果及所述压力测量部的测量结果来控制所述气体供给部的气体供给量。3.一种树脂成形装置，能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形装置的特征在于，所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部，所述树脂成形装置包括：气体供给部，对所述凹部内供给气体；驱动机构，用于将所述第一模与所述第二模合模；压力测量部，进行与所述成形对象物的所述第二面侧的压力相关的测量；以及控制部，基于所述压力测量部的测量结果来控制所述驱动机构，以降低所述成形对象物的所述第一面侧与所述第二面侧的压力差。4.根据权利要求3所述的树脂成形装置，其特征在于，还包括：进行与所述凹部内的气压相关的测量的气压测量部，所述控制部基于所述压力测量部的测量结果及所述气压测量部的测量结果来控制所述驱动机构的合模力。5.一种树脂成形装置，能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形装置的特征在于，所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部，所述树脂成形装置包括：驱动机构，用于将所述第一模与所述第二模合模；压力测量部，进行与所述成形对象物的所述第二面侧的压力相关的测量；气体供给部，对所述凹部内供给气体；气压测量部，进行与所述凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于所述压力测量部的测量结果及所述气压测量部的测量结果，来控制所述驱动机构的合模力及所述气体供给部的气体供给量。6.一种树脂成形装置，能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形，且所述树脂成形装置的特征在于，所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部，所述树脂成形装置包括：气体供给部，对所述凹部内供给气体；减压机构，能够对包含所述成形模的密闭空间进行减压；以及连通路径，能够将所述第一模的所述凹部与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤智行，花崎昌则，谷口翔一，岩田康弘，花坂周邦，
申请(专利权)人：东和株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP