【技术实现步骤摘要】
一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法
本专利技术涉及激光微纳制造
,具体涉及一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法。
技术介绍
随着电子设备和集成微/纳米机电系统(MEMS/NEMS)的规模的减小,纳米器件的电学性已经引起广泛的关注,其中纳米材料的电学性能在控制纳米/微器件的性能和稳定性方面起着至关重要的作用。在未来的MEMS/NEMS应用中,碳纳米管凭借着强度大、重量轻、电子结构特殊、稳定性高等特点,引起了研究的热潮。碳纳米管薄膜是碳纳米管应用的一种重要的形式,已经被广泛的应用到了场效应晶体管、电池电极、光电传感器等,这些应用的基础是碳纳米管薄膜的制备与其高的电学性能。目前,碳纳米管薄膜基本上都是随机分布的机械式搭连的薄膜,其相对较大的接触电阻阻碍其电学上的应用。因此迫切需要一种降低碳纳米管薄膜之间的接触电阻,改善其电学性能的方法。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提供一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,在不破坏多壁碳纳米管的本征结构前提下,用飞秒激光的能量去降低其接触电阻,改善多壁碳纳米管薄膜的电学性能,方法简单,方便大规模应用。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案为:一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,包括以下步骤:1)多壁碳纳米管水溶液的制备;2)多壁碳纳米管薄膜的制备;3)飞秒激光处理多壁碳纳米管薄膜。所述的步骤1)多壁碳纳米管水溶液的制备是将20mg多壁碳纳米管粉末在十二烷基硫酸钠水溶液中超声得到0.02mg/mL多壁碳纳米管水溶液。所述的多壁碳纳米 ...
【技术保护点】
1.一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)多壁碳纳米管水溶液的制备;2)多壁碳纳米管薄膜的制备;3)飞秒激光处理多壁碳纳米管薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)多壁碳纳米管水溶液的制备;2)多壁碳纳米管薄膜的制备;3)飞秒激光处理多壁碳纳米管薄膜。2.根据权利要求1所述的一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,其特征在于:所述的步骤1)多壁碳纳米管水溶液的制备是将20mg多壁碳纳米管粉末在十二烷基硫酸钠水溶液中超声得到0.2mg/mL的多壁碳纳米管水溶液。3.根据权利要求2所述的一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,其特征在于:所述的多壁碳纳米管粉末,其标称纯度大于70%,直径在30-50nm之间,长度在10-20μm之间。4.根据权利要求1所述的一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,其特征在于:所述的步骤2)多壁碳纳米管薄膜的制备是采用迈耶棒涂布的方法将多壁碳纳米管水溶液涂布成厚度为1.5μm的多壁碳纳米管薄膜。5.根据权利要求4所述的一种利用飞秒激光改善多壁碳纳米管薄膜电学性能的方法,其特征在于:所述的迈耶棒采用挤压式工艺生产,挤压式设备型号为OSP-1.5/400,其涂布出的薄膜厚度为1.5μm,有效涂布宽度为300mm。6.根据权利要求1所述的一种利用飞秒激光改善多壁碳...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔健磊,梅欢欢,梅雪松,王文君,张建伟,段文强,凡正杰,刘斌,
申请(专利权)人:西安交通大学,
类型:发明
国别省市:陕西,61
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