【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】太阳能电池单元的制造方法以及太阳能电池单元
本专利技术涉及太阳能电池单元的制造方法以及太阳能电池单元，特别涉及太阳能电池单元的电极形成。
技术介绍
关于以往的太阳能电池单元的制造，在专利文献1中采用如以下的步骤。首先，在硅等基板材料的表面，通过蚀刻等方法形成用于使太阳光在基板表面的反射角变化，使反射光进入到基板内的被称为纹理的凹凸构造。接下来，通过扩散等方法形成pn结，通过光干涉效果降低太阳光的反射，所以在该基板材料的至少一面形成由氮化硅膜等高折射率薄膜构成的防反射膜。接下来，在防反射膜上以成为期望的图案的方式涂敷作为电极材料的金属膏等导电性的膏，对膏进行加热而通过包含于该膏的玻璃使防反射膜熔融，实施用于与基板电气接合的烧成，形成电极。进而，在使玻璃成分溶解的蚀刻液中浸渍基板材料，使包含于电极的玻璃成分溶解来降低电极的电气电阻。电极材料一般被称为膏，主要由由金属粉构成的导电性材料、作为玻璃成分的无机材料、作为树脂成分的有机材料以及有机溶剂的组合构成。如上所述，膏通过网板印刷法等各种印刷法被成形为期望的电极形状，通过被称为烧成的加热工序用含有的玻璃成分使防反射膜熔融...
【技术保护点】
1.一种太阳能电池单元的制造方法，具备：在半导体基板上形成pn结而形成太阳能电池单元用基板的工序；以及电极形成工序，包括将包含作为电极材料的导电性材料的膏涂敷到所述太阳能电池单元用基板的电极形成面的涂敷工序、和对所涂敷的所述膏进行烧成的烧成工序，所述太阳能电池单元的制造方法的特征在于，所述涂敷工序包括：基板载置工序，将所述太阳能电池单元用基板载置到能够控制位置的载置台；第1方向控制工序，控制所述载置台的第1方向的位置；以及膏吐出工序，控制与所述第1方向正交的所述载置台的第2方向的位置，并且使用具备吐出所述膏的吐出喷嘴的液体涂敷装置，一边以来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.16 JP 2017-0268031.一种太阳能电池单元的制造方法，具备：在半导体基板上形成pn结而形成太阳能电池单元用基板的工序；以及电极形成工序，包括将包含作为电极材料的导电性材料的膏涂敷到所述太阳能电池单元用基板的电极形成面的涂敷工序、和对所涂敷的所述膏进行烧成的烧成工序，所述太阳能电池单元的制造方法的特征在于，所述涂敷工序包括：基板载置工序，将所述太阳能电池单元用基板载置到能够控制位置的载置台；第1方向控制工序，控制所述载置台的第1方向的位置；以及膏吐出工序，控制与所述第1方向正交的所述载置台的第2方向的位置，并且使用具备吐出所述膏的吐出喷嘴的液体涂敷装置，一边以来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量控制涂敷量，一边将所述膏涂敷到所述电极形成面。2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，在所述膏吐出工序中，将所述第2方向的第1位置处的来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量设为第1吐出量，将所述第2方向的第2位置处的来自所述吐出喷嘴的每单位时间的吐出量设为比所述第1吐出量多的第2吐出量。3.根据权利要求1或者2所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，在所述膏吐出工序中，将所述第2方向的第1位置处的所述载置...
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