【技术实现步骤摘要】
一种蒸发-沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构
本专利技术涉及微纳米传热学中微小空间的薄膜相变传热领域，具体涉及一种蒸发-沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构。
技术介绍
随着微处理器、太阳能电池、激光二极管以及射频功率放大器等各种电子设备的快速发展，电子器件迅速呈现微型化、集成化两大趋势。沸腾换热是通过大量汽泡的生成、成长和脱离将工质由液态转换到汽态的一种剧烈汽化过程，与传统的风冷和对流换热相比，换热系数具有量级的差别，因此是一种非常有效的散热方式。相变机理的基础研究表明，核态沸腾换热的主要机制在于三相接触线区的动态薄液膜的蒸发。而另外一种相变传热——薄膜蒸发也主要依赖于靠近三相接触线的延伸弯月面汽-液界面上一层薄膜(几微米)的相变，其能加速蒸发的原理是在减压条件下，液体形成薄膜而具有极大的汽化表面积，液体直接蒸发为汽体，实现了汽体脱离通道和液体供应通道的绝对分离，能够迅速带走热量，有潜力解决热通量超过1000W/cm2的散热问题。同时，目前狭小空间热管理设备主要包括毛细泵环、环路热管、脉动热管、微小型热管等，而作为核心器件的毛细芯或结构中都涉及蒸发-沸腾耦合换热，由于...
【技术保护点】
1.一种蒸发‑沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构，其特征在于，包括补液通道下基板(1)，蒸发‑沸腾毛细芯(2)，ITO加热膜(3)，绝热材料(4)，补液毛细芯(5)，补液通道上基板(6)，纳米蒸发膜(7)和补液通道(8)；补液通道下基板(1)的中部设置有第一凹槽，第一凹槽的中部设置有第二凹槽，第二凹槽的中部设置有槽道，蒸发‑沸腾毛细芯(2)的基底设置在第二凹槽中，蒸发‑沸腾毛细芯(2)的底部溅射有ITO加热膜(3)，绝热材料(4)布置在ITO加热膜(3)的底部，且绝热材料(4)设置于槽道中，补液毛细芯(5)设置在第一凹槽中，且补液毛细芯(5)布置在蒸发‑沸腾毛细芯(2)的四周...
【技术特征摘要】
1.一种蒸发-沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构，其特征在于，包括补液通道下基板(1)，蒸发-沸腾毛细芯(2)，ITO加热膜(3)，绝热材料(4)，补液毛细芯(5)，补液通道上基板(6)，纳米蒸发膜(7)和补液通道(8)；补液通道下基板(1)的中部设置有第一凹槽，第一凹槽的中部设置有第二凹槽，第二凹槽的中部设置有槽道，蒸发-沸腾毛细芯(2)的基底设置在第二凹槽中，蒸发-沸腾毛细芯(2)的底部溅射有ITO加热膜(3)，绝热材料(4)布置在ITO加热膜(3)的底部，且绝热材料(4)设置于槽道中，补液毛细芯(5)设置在第一凹槽中，且补液毛细芯(5)布置在蒸发-沸腾毛细芯(2)的四周，补液通道上基板(6)设置在补液毛细芯(5)上侧，补液通道上基板(6)的中部设置有通槽，通槽中设置有纳米蒸发膜(7)，且纳米蒸发膜(7)覆盖在蒸发-沸腾毛细芯(2)的上侧，补液通道下基板(1)和补液通道上基板(6)之间形成补液通道(8)，且补液通道(8)与补液毛细芯(5)的通道连通。2.根据权利要求1所述的一种蒸发-沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构，其特征在于，补液通道下基板(1)的高度h1为5mm-10mm，长度和宽度均为l1，且l1为40mm，第一凹槽的尺寸为(l1-2l2)×(l1-2l2)×h2，其中l2为2mm，h2＝0.5h1，第二凹槽的尺寸为l3×l3×h3，其中l3为16mm，h3为0.5mm，槽道的尺寸为l4×l4×(h1-h2-h3)，其中l4为10mm。3.根据权利要求2所述的一种蒸发-沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构，其特征在于，蒸发-沸腾毛细芯(2)包括尺寸为l3×l3×h3的正方形硅片，其中l3为16mm，h3为0.5mm，正方形硅板中心10mm×10mm的区域加工有微米级的圆柱微结构，圆柱微结构直径d1为30-300μm，高度h4为100-1000μm。4.根据权利要求3所述的一种蒸发-沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张永海，李瑞华，徐鹏卓，刘斌，魏进家，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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