【技术实现步骤摘要】
一种平衡热场的区熔线圈
本专利技术属于区熔线圈
,尤其是涉及一种平衡热场的区熔线圈。
技术介绍
区熔悬浮法拉晶过程中,作为热场的核心备件,线圈是区熔单晶生长的重要组成部分,其作用是在单晶生长过程中为其提供稳定的热场,针对成晶的重要性不言而喻。但随着使用时间的增加,现有的区熔线圈结构如图1所示,在其反复的升温降温的循环后,热场线圈各部分会有明显的不可修复形变,其所产生的热场变得不稳定,影响成晶。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术旨在提出一种平衡热场的区熔线圈,以解决上述问题的不足之处。为达到上述目的,本专利技术的技术方案是这样实现的:一种平衡热场的区熔线圈,包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部,且所述线圈水路两端位于线圈本体上部且分别 ...
【技术保护点】
1.一种平衡热场的区熔线圈,其特征在于:包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部,且所述线圈水路两端位于线圈本体上部且分别连接进水口和出水口。
【技术特征摘要】
1.一种平衡热场的区熔线圈,其特征在于:包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部,且所述线圈水路两端位于线圈本体上部且分别连接进水口和出水口。2.根据权利要求1所述的一种平衡热场的区熔线圈,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘琨,郝大维,楚占宾,陈玉桥,王克旭,代常雷,万静,王遵义,王聚安,
申请(专利权)人:天津中环领先材料技术有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
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